Tantál-karbid bevonat

A VeTek semiconductor a tantál-karbid bevonóanyagok vezető gyártója a félvezetőipar számára. Fő termékkínálatunkban megtalálhatók a CVD-tantál-karbid bevonat alkatrészek, a szinterezett TaC bevonat alkatrészek SiC kristálynövekedéshez vagy félvezető epitaxiás folyamathoz. Az ISO9001 tanúsítvánnyal rendelkező VeTek Semiconductor jól szabályozza a minőséget. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy újítóvá váljon a tantál-karbid bevonat iparban az iteratív technológiák folyamatos kutatása és fejlesztése révén.

A fő termékek aTaC bevonatú vezetőgyűrű, CVD TaC bevonatú háromszirom vezetőgyűrű, Tantál-karbid TaC bevonatú Halfmoon, CVD TaC bevonatú planetáris SiC epitaxiális szuszceptor, Tantál-karbid bevonógyűrű, Tantál-karbid bevonatú porózus grafit, TaC bevonat rotációs szuszceptor, Tantál-karbid gyűrű, TaC bevonat forgólap, TaC bevonatú ostya szuszceptor, TaC bevonatú terelőgyűrű, CVD TaC bevonat fedél, TaC bevonatú tokmánystb., a tisztaság 5 ppm alatt van, megfelel az ügyfelek igényeinek.

A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel való bevonásával állítják elő szabadalmaztatott vegyi gőzleválasztásos (CVD) eljárással. Az előny az alábbi képen látható:

Excellent properties of TaC coating graphite

A tantál-karbid (TaC) bevonat magas, akár 3880°C-ig terjedő olvadáspontja, kiváló mechanikai szilárdsága, keménysége és hősokkállósága miatt keltett figyelmet, így vonzó alternatívája a magasabb hőmérsékleti igényű összetett félvezető epitaxiás eljárásoknak. mint például az Aixtron MOCVD rendszer és az LPE SiC epitaxiás eljárás. Széles körben alkalmazható a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatában is.

Főbb jellemzők:

●Hőmérséklet stabilitás

●Ultra magas tisztaságú

●Ellenállás H2, NH3, SiH4,Si

●Hőanyaggal szembeni ellenállás

●Erős tapadás a grafithoz

●Konform bevonat lefedettség

● Méret akár 750 mm átmérőig (az egyetlen gyártó Kínában eléri ezt a méretet)

Alkalmazások:

●Ostyahordozó

● Induktív fűtési szuszceptor

● Ellenállásos fűtőelem

●Műholdas lemez

●Zuhanyfej

●Vezetőgyűrű

●LED Epi vevő

●Befecskendező fúvóka

●Maszkoló gyűrű

● Hővédő pajzs

Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

A VeTek Semiconductor tantál-karbid bevonat paramétere:

A TaC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség	14,3 (g/cm³)
Fajlagos emissziós tényező	0.3
Hőtágulási együttható	6,3 10^-6/K
Keménység (HK)	2000 HK
Ellenállás	1×10^-5Ohm*cm
Hőstabilitás	<2500 ℃
A grafit mérete megváltozik	-10-20um
Bevonat vastagsága	≥20um tipikus érték (35um±10um)

TaC bevonat EDX adatok：

EDX data of TaC coating

TaC bevonat kristályszerkezeti adatok:

Elem	Atom százalék
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Átlagos
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
A M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC bevonatú tokmány TaC Coating Planetary Disk
TaC bevonatú lemez TaC bevonat forgólap TaC bevonat vevő CVD TaC bevonat fedél CVD TaC bevonógyűrű TaC bevonólemez

View as

TAC bevont grafit vezető gyűrű

A TAC-bevonatú grafit vezetőgyűrűk precíziós alapkomponensek a félvezető ostya gyártásához. Ezek egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátot tartalmaznak, amely kopásálló és kémiailag inert tantalum karbid (TAC) bevonattal van bevonva. Az olyan igényes folyamatokhoz tervezték, mint például az epitaxiális lerakódás és a plazma maratás, biztosítják a ostya pontos igazítását és stabilitását, a szennyeződést hatékonyan szabályozzák, és jelentősen meghosszabbítják az alkatrészek élettartamát. A Vetekchemon testreszabási szolgáltatásokat kínál a berendezések és a folyamatkövetelmények tökéletesen illeszkedéséhez.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

TAC bevonatgyűrű a SIC egyetlen kristály Pvt növekedéséhez

Mint Kínában az egyik vezető TAC bevonó termék-beszállító, a Vetek Semiconductor képes az ügyfelek számára kiváló minőségű TAC-bevonat testreszabott alkatrészeket biztosítani. A TAC bevonatú gyűrű a SIC egykristályának PVT növekedésére a Vetek Semiconductor egyik legkiemelkedőbb és érett terméke. Fontos szerepet játszik a SIC kristály folyamat PVT növekedésében, és segíthet az ügyfeleknek a kiváló minőségű SIC kristályok növekedésében. Várom a kérdését.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

CVD TAC bevont hárompetál vezetőgyűrű

A Vetek Semiconductor sok éves technológiai fejlődést tapasztalt, és elsajátította a CVD TAC bevonat vezető folyamattechnológiáját. A CVD TAC bevont hárompetál vezetőgyűrű a Vetek Semiconductor egyik legérettebb CVD TAC bevonat-terméke, és fontos elem a SIC kristályok PVT módszerrel történő előállításához. A Vetek Semiconductor segítségével azt hiszem, hogy a SIC kristálytermelése simább és hatékonyabb lesz.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Tantalum karbid bevonatgyűrű

A vetek félvezető tantalum karbid bevonó gyűrűje nélkülözhetetlen elem a félvezető iparban, különös tekintettel a SIC ostyák maratására. A grafit alap és a TAC bevonat kombinációja biztosítja a kiváló teljesítményt a magas hőmérsékleten és a kémiailag agresszív környezetben. A fokozott hőstabilitás, a korrózióállóság és a gépi szilárdság mellett a tantalum karbid bevont gyűrű segít a félvezető gyártóknak a pontosság, megbízhatóság és jó minőségű eredmények elérésében termelési folyamataikban.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

TaC bevonógyűrű

A TAC bevonó gyűrű egy nagy teljesítményű alkatrész, amelyet félvezető folyamatokhoz terveztek. Ahol a pontos ellenőrzés és tartósság elengedhetetlen a jó minőségű ostyák eléréséhez. Várjuk a további konzultációt.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

TAC bevonat tégely

Professzionális TAC -bevonat -tégelyes szállítóként és gyártóként Kínában a Vetek Semiconductor TAC bevonó -tégelye pótolhatatlan szerepet játszik a félvezetők egykristályos növekedési folyamatában, kiváló hővezető képességgel, kiemelkedő kémiai stabilitással és fokozott korrózióállósággal. Üdvözöljük további kérdéseit.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Professzionális Tantál-karbid bevonat gyártóként és beszállítóként Kínában van saját gyárunk. Függetlenül attól, hogy testreszabott szolgáltatásokra van szüksége a régió konkrét igényeinek kielégítéséhez, vagy a Kínában gyártott fejlett és tartós Tantál-karbid bevonat -et szeretne vásárolni, üzenetet hagyhat nekünk.

QR-kód

Rólunk

Termékek

Lépjen kapcsolatba velünk

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
Email
anny@veteksemi.com
Cím
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi megye, Jinhua City, Zhejiang tartomány, Kína

Web menü

Termékkeresés

Nyelv

Kilépés a menüből

Tantál-karbid bevonat

Főbb jellemzők:

Alkalmazások:

Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:

A VeTek Semiconductor tantál-karbid bevonat paramétere:

TaC bevonat EDX adatok：

TaC bevonat kristályszerkezeti adatok:

TAC bevont grafit vezető gyűrű

TAC bevonatgyűrű a SIC egyetlen kristály Pvt növekedéséhez

CVD TAC bevont hárompetál vezetőgyűrű

Tantalum karbid bevonatgyűrű

TaC bevonógyűrű

TAC bevonat tégely

Kérdés küldése

QR-kód

Rólunk

Termékek

Lépjen kapcsolatba velünk

Telefon

Fax

Email

Cím