Termékek

Tantál-karbid bevonat

A VeTek semiconductor a tantál-karbid bevonóanyagok vezető gyártója a félvezetőipar számára. Fő termékkínálatunkban megtalálhatók a CVD-tantál-karbid bevonat alkatrészek, a szinterezett TaC bevonat alkatrészek SiC kristálynövekedéshez vagy félvezető epitaxiás folyamathoz. Az ISO9001 tanúsítvánnyal rendelkező VeTek Semiconductor jól szabályozza a minőséget. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy újítóvá váljon a tantál-karbid bevonat iparban az iteratív technológiák folyamatos kutatása és fejlesztése révén.


A fő termékek aTaC bevonatú vezetőgyűrű, CVD TaC bevonatú háromszirom vezetőgyűrű, Tantál-karbid TaC bevonatú Halfmoon, CVD TaC bevonatú planetáris SiC epitaxiális szuszceptor, Tantál-karbid bevonógyűrű, Tantál-karbid bevonatú porózus grafit, TaC bevonat rotációs szuszceptor, Tantál-karbid gyűrű, TaC bevonat forgólap, TaC bevonatú ostya szuszceptor, TaC bevonatú terelőgyűrű, CVD TaC bevonat fedél, TaC bevonatú tokmánystb., a tisztaság 5 ppm alatt van, megfelel az ügyfelek igényeinek.


A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel való bevonásával állítják elő szabadalmaztatott vegyi gőzleválasztásos (CVD) eljárással. Az előny az alábbi képen látható:


Excellent properties of TaC coating graphite


A tantál-karbid (TaC) bevonat magas, akár 3880°C-ig terjedő olvadáspontja, kiváló mechanikai szilárdsága, keménysége és hősokkállósága miatt keltett figyelmet, így vonzó alternatívája a magasabb hőmérsékleti igényű összetett félvezető epitaxiás eljárásoknak. mint például az Aixtron MOCVD rendszer és az LPE SiC epitaxiás eljárás. Széles körben alkalmazható a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatában is.


Főbb jellemzők:

 ●Hőmérséklet stabilitás

 ●Ultra magas tisztaságú

 ●Ellenállás H2, NH3, SiH4,Si

 ●Hőanyaggal szembeni ellenállás

 ●Erős tapadás a grafithoz

 ●Konform bevonat lefedettség

 Méret akár 750 mm átmérőig (az egyetlen gyártó Kínában eléri ezt a méretet)


Alkalmazások:

 ●Ostyahordozó

 ● Induktív fűtési szuszceptor

 ● Ellenállásos fűtőelem

 ●Műholdas lemez

 ●Zuhanyfej

 ●Vezetőgyűrű

 ●LED Epi vevő

 ●Befecskendező fúvóka

 ●Maszkoló gyűrű

 ● Hővédő pajzs


Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


A VeTek Semiconductor tantál-karbid bevonat paramétere:

A TaC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség 14,3 (g/cm³)
Fajlagos emissziós tényező 0.3
Hőtágulási együttható 6,3 10-6/K
Keménység (HK) 2000 HK
Ellenállás 1×10-5Ohm*cm
Hőstabilitás <2500 ℃
A grafit mérete megváltozik -10-20um
Bevonat vastagsága ≥20um tipikus érték (35um±10um)


TaC bevonat EDX adatok

EDX data of TaC coating


TaC bevonat kristályszerkezeti adatok:

Elem Atom százalék
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Átlagos
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
A M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
TAC bevonatgyűrű a SIC egyetlen kristály Pvt növekedéséhez

TAC bevonatgyűrű a SIC egyetlen kristály Pvt növekedéséhez

Mint Kínában az egyik vezető TAC bevonó termék-beszállító, a Vetek Semiconductor képes az ügyfelek számára kiváló minőségű TAC-bevonat testreszabott alkatrészeket biztosítani. A TAC bevonatú gyűrű a SIC egykristályának PVT növekedésére a Vetek Semiconductor egyik legkiemelkedőbb és érett terméke. Fontos szerepet játszik a SIC kristály folyamat PVT növekedésében, és segíthet az ügyfeleknek a kiváló minőségű SIC kristályok növekedésében. Várom a kérdését.
CVD TAC bevont hárompetál vezetőgyűrű

CVD TAC bevont hárompetál vezetőgyűrű

A Vetek Semiconductor sok éves technológiai fejlődést tapasztalt, és elsajátította a CVD TAC bevonat vezető folyamattechnológiáját. A CVD TAC bevont hárompetál vezetőgyűrű a Vetek Semiconductor egyik legérettebb CVD TAC bevonat-terméke, és fontos elem a SIC kristályok PVT módszerrel történő előállításához. A Vetek Semiconductor segítségével azt hiszem, hogy a SIC kristálytermelése simább és hatékonyabb lesz.
Tantalum karbid bevonatgyűrű

Tantalum karbid bevonatgyűrű

A vetek félvezető tantalum karbid bevonó gyűrűje nélkülözhetetlen elem a félvezető iparban, különös tekintettel a SIC ostyák maratására. A grafit alap és a TAC bevonat kombinációja biztosítja a kiváló teljesítményt a magas hőmérsékleten és a kémiailag agresszív környezetben. A fokozott hőstabilitás, a korrózióállóság és a gépi szilárdság mellett a tantalum karbid bevont gyűrű segít a félvezető gyártóknak a pontosság, megbízhatóság és jó minőségű eredmények elérésében termelési folyamataikban.
TaC bevonógyűrű

TaC bevonógyűrű

A TAC bevonó gyűrű egy nagy teljesítményű alkatrész, amelyet félvezető folyamatokhoz terveztek. Ahol a pontos ellenőrzés és tartósság elengedhetetlen a jó minőségű ostyák eléréséhez. Várjuk a további konzultációt.
TAC bevonat tégely

TAC bevonat tégely

Professzionális TAC -bevonat -tégelyes szállítóként és gyártóként Kínában a Vetek Semiconductor TAC bevonó -tégelye pótolhatatlan szerepet játszik a félvezetők egykristályos növekedési folyamatában, kiváló hővezető képességgel, kiemelkedő kémiai stabilitással és fokozott korrózióállósággal. Üdvözöljük további kérdéseit.
Tantál-karbid bevonatú vezetőgyűrű

Tantál-karbid bevonatú vezetőgyűrű

Kína vezető TAC bevonó útmutató gyűrű -beszállítója és gyártójaként a Vetek Semiconductor tantalum karbid bevont vezető gyűrű egy fontos elem a reaktív gázok áramlásának irányításához és optimalizálásához a PVT -ben (fizikai gőz szállítás). Elősegíti a SIC egykristályok egyenletes lerakódását a növekedési zónában azáltal, hogy beállítja a gázáramlás eloszlását és sebességét. A Vetek Semiconductor a TAC bevonó útmutató vezető gyártója és szállítója Kínában és még a világon, és várjuk a konzultációt.
Professzionális Tantál-karbid bevonat gyártóként és beszállítóként Kínában van saját gyárunk. Függetlenül attól, hogy testreszabott szolgáltatásokra van szüksége a régió konkrét igényeinek kielégítéséhez, vagy a Kínában gyártott fejlett és tartós Tantál-karbid bevonat -et szeretne vásárolni, üzenetet hagyhat nekünk.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept