CVD TaC bevonatú grafitgyűrű

Általános termékinformációk

A termék üzleti feltételei

Alkalmazás: A Veteksemicon CVD TaC bevonatú gyűrűt kifejezetten ehhez fejlesztették kiSiC kristálynövekedési folyamatok. A magas hőmérsékletű reakciókamrában kulcsfontosságú teherhordó komponensként egyedülálló TaC bevonata hatékonyan izolálja a szilíciumgőz korróziót, megakadályozza a szennyeződések szennyeződését, és biztosítja a szerkezeti stabilitást hosszú távú magas hőmérsékletű környezetben, megbízható garanciát nyújtva a kiváló minőségű kristályok előállítására.

Nyújtható szolgáltatások: ügyfélalkalmazási forgatókönyv elemzés, anyagok egyeztetése, műszaki problémamegoldás.

Cégprofile：A Veeteksemicon 2 laboratóriummal, 20 éves anyagi tapasztalattal rendelkező szakértői csapattal rendelkezik, K+F és gyártási, tesztelési és ellenőrzési képességekkel.

A Veteksemicon CVD TaC bevonatú gyűrű egy mag-fogyóeszköz, amelyet fejlett félvezető anyagok, különösen a szilícium-karbid magas hőmérsékletű kémiai gőzleválasztására és kristálynövekedésére terveztek. Egyedülálló, optimalizált kémiai gőzleválasztási technológiát alkalmazunk a sűrű, egyenletes réteg lerakásáratantál-karbid bevonatnagy tisztaságú grafit hordozón. Kivételes magas hőmérsékleti ellenállásával, kiváló korrózióállóságával és rendkívül hosszú élettartamával ez a termék hatékonyan védi a kristályminőséget és jelentősen csökkenti a teljes gyártási költséget, így elengedhetetlen választás a folyamatstabilitást és a legnagyobb hozamot igénylő folyamatokhoz.

Műszaki paraméterek:

Veteksemicon CVD TaC bevonatú gyűrű mag előnyei

Páratlan tisztaság és stabilitás

A SiC kristálynövekedés szélsőséges környezetében, ahol a hőmérséklet meghaladja a 2000°C-ot, még a nyomokban lévő szennyeződések is tönkretehetik az egész kristály elektromos tulajdonságait. A miénkCVD TaC bevonat, kivételes tisztaságával alapvetően eltávolítja a gyűrűből a szennyeződést. Ezen túlmenően kiváló magas hőmérsékleti stabilitása biztosítja, hogy a bevonat ne bomlik le, ne párologjon el, és ne reagáljon a technológiai gázokkal hosszan tartó magas hőmérsékleten és termikus ciklusban, így tiszta és stabil gőzfázisú környezetet biztosít a kristálynövekedéshez.

Kiváló korróziós éserózióállóság

A grafit szilíciumgőz általi korróziója a hagyományos grafitgyűrűk meghibásodásának és részecskeszennyeződésének elsődleges oka. A rendkívül alacsony szilíciummal való kémiai reakcióképességével rendelkező TaC bevonat hatékonyan blokkolja a szilíciumgőzt, védve az alatta lévő grafit hordozót az eróziótól. Ez nemcsak magának a gyűrűnek az élettartamát jelentősen meghosszabbítja, hanem, ami még fontosabb, jelentősen csökkenti a szubsztrátum korróziója és repedezése során keletkező részecskék mennyiségét, közvetlenül javítva a kristálynövekedés hozamát és a belső minőséget.

Kiváló mechanikai teljesítmény és élettartam

A CVD eljárással kialakított TaC bevonat rendkívül nagy sűrűséggel és Vickers keménységgel rendelkezik, így rendkívül ellenálló a kopással és a fizikai behatásokkal szemben. Gyakorlati alkalmazásokban termékeink 3-8-szorosára növelhetik az élettartamot a hagyományos grafitgyűrűkhöz vagy pirolitikus szén/szilícium-karbid bevonatú gyűrűkhöz képest. Ez kevesebb leállást jelent a csere során, és magasabb a berendezések kihasználtsága, ami jelentősen csökkenti az egykristálygyártás összköltségét.

Kiváló bevonatminőség

A bevonat teljesítménye nagymértékben függ annak egyenletességétől és kötési szilárdságától. Optimalizált CVD-eljárásunk lehetővé teszi, hogy a legösszetettebb gyűrűgeometriákon is rendkívül egyenletes bevonatvastagságot érjünk el. Ennél is fontosabb, hogy a bevonat erős kohászati ​​kötést képez a nagy tisztaságú grafit szubsztrátummal, hatékonyan megakadályozva a hámlást, repedést vagy hámlást, amelyet a hőtágulási együtthatók különbségei okoznak a gyors fűtési és hűtési ciklusok során, biztosítva a folyamatos megbízható teljesítményt a termék teljes életciklusa során.

Az ökológiai lánc ellenőrzésének jóváhagyása

A Veteksemicon CVD TaC Coated Ring ökológiai láncellenőrzése kiterjed a nyersanyagokra a gyártásig, átesett a nemzetközi szabványos tanúsítványon, és számos szabadalmaztatott technológiával rendelkezik, amelyek biztosítják megbízhatóságát és fenntarthatóságát a félvezető- és az új energiaterületeken.

A részletes műszaki leírásokért, tanulmányokért vagy a vizsgálati mintákért kérjükforduljon műszaki támogatási csapatunkhozhogy feltárja, hogyan javíthatja a Veteksemicon a folyamatok hatékonyságát.