ICP/PSS maratási folyamat

A VeTek Semiconductor ICPPSS (induktív csatolású plazma fotoreziszt csíkozás) maratási folyamat A Wafer Carrier kifejezetten a félvezető ipar maratási folyamatainak szigorú követelményeinek való megfelelésre készült. Fejlett funkcióival optimális teljesítményt, hatékonyságot és megbízhatóságot biztosít a maratási folyamat során.

A VeTek Semiconductor ICP/PSS maratási folyamatú tapadók előnyei:

Fokozott kémiai kompatibilitás: Az ostyahordozó olyan anyagokból készült, amelyek kiváló kémiai kompatibilitást mutatnak a maratási folyamat kémiájával. Ez biztosítja a kompatibilitást a maratószerekkel, ellenálló-eltávolító szerekkel és tisztítóoldatokkal, minimálisra csökkentve a kémiai reakciók és a szennyeződés kockázatát.

Magas hőmérséklettel szembeni ellenállás: Az ostyahordozót úgy tervezték, hogy ellenálljon a maratási folyamat során fellépő magas hőmérsékleteknek. Megőrzi szerkezeti integritását és mechanikai szilárdságát, megakadályozza a deformációt vagy sérülést még szélsőséges hőviszonyok között is.

Kiváló maratási egyenletesség: A hordozó pontosan megtervezett kialakítású, amely elősegíti a maratóanyagok és gázok egyenletes eloszlását az ostya felületén. Ez egyenletes maratási sebességet és kiváló minőségű, egységes mintákat eredményez, amelyek elengedhetetlenek a precíz és megbízható maratási eredmények eléréséhez.

Kiváló ostyastabilitás: A hordozó biztonságos ostyatartó mechanizmussal rendelkezik, amely biztosítja a stabil elhelyezést, és megakadályozza az ostya elmozdulását vagy elcsúszását a maratási folyamat során. Ez garantálja a pontos és megismételhető maratási mintákat, minimalizálva a hibákat és a hozamveszteséget.

Tisztatéri kompatibilitás: Az ostyatartót úgy tervezték, hogy megfeleljen a szigorú tisztatéri szabványoknak. Alacsony részecskeképződéssel és kiváló tisztasággal rendelkezik, amely megakadályozza a részecskék szennyeződését, amely veszélyeztetheti a maratási folyamat minőségét és hozamát. A szennyeződés 5 ppm alatt van.

Robusztus és tartós felépítés: A hordozót kiváló minőségű anyagok felhasználásával tervezték, amelyek tartósságukról és hosszú élettartamukról ismertek. Kibírja az ismételt használatot és a szigorú tisztítási folyamatokat anélkül, hogy a teljesítménye vagy szerkezeti integritása veszélyeztetné.

Testreszabható tervezés: Testreszabható lehetőségeket kínálunk az ügyfelek egyedi igényeinek kielégítésére. A hordozó testreszabható a különböző méretű, vastagságú lapkákhoz és a folyamatspecifikációkhoz, így biztosítva a kompatibilitást a különböző maratóberendezésekkel és folyamatokkal.

Tapasztalja meg a félvezetőipar maratási folyamatának optimalizálására tervezett ICP/PSS maratási folyamatú szelethordozónk megbízhatóságát és teljesítményét. Fokozott kémiai kompatibilitása, magas hőmérséklettel szembeni ellenállása, kiváló maratási egyenletessége, kiváló ostyastabilitása, tisztatérrel való kompatibilitása, robusztus felépítése és testreszabható kialakítása ideális választássá teszik maratási alkalmazásokhoz.

PSS rézkarc lemez ICP rézkarc lemez ICP rézkarc szuszceptor