SIC bevont ostyahordozó maratáshoz

A SIC bevonatú ostyahordozó alapvető alkalmazása a maratási folyamathoz

1.

A SIC bevonatú hordozókat (például a PSS maratási hordozót) használják a zafír szubsztrátok (mintás zafír -szubsztrát, PSS) támogatására LED -termelésben, és a Gallium -Nitrid (GAN) fóliák kémiai gőzlerakódását (MOCVD) magas hőmérsékleten. A hordozót ezután nedves maratási eljárással távolítják el, hogy felületi mikroszerkezetet képezzenek a fénykivonás hatékonyságának javítása érdekében.

Kulcsszerepe: Az ostyahordozónak akár 1600 ° C -ig kell ellenállnia a hőmérsékletnek és a kémiai korróziónak a plazma maratási környezetben. A magas tisztaság (99,9995%) és a SIC bevonat sűrűsége megakadályozza a fémszennyeződést, és biztosítja a GaN -film egységességét.

2. félvezető plazma/száraz maratási folyamat

-BenICP (induktívan kapcsolt plazma) maratás, A SIC bevonatú hordozók az optimalizált légáram kialakításán (például a lamináris áramlási mód) révén egyenletes hőeloszlást érnek el, elkerülik a szennyeződés diffúzióját és javítják a maratási pontosságot. Például a Vetekchemicon SIC bevonatú ICP maratási hordozója ellenáll 2700 ° C-os szublimációs hőmérsékleten, és alkalmas nagy energiájú plazma környezetre.

3.

A SIC hordozók jól teljesítenek a magas hőmérsékletű diffúzióban és a szilícium ostyák maratásában a fotovoltaikus mezőben. Alacsony termikus tágulási együtthatójuk (4,5 × 10⁻⁶/k) csökkenti a termikus stressz által okozott deformációt és meghosszabbítja az élettartamot.

A SIC bevonatú ostyahordozó fizikai tulajdonságai és előnyei a maratáshoz

1. Tolerancia a szélsőséges környezetekkel szemben:

Magas hőmérsékleti stabilitás:CVD SIC bevonat1600 ° C -os levegőben vagy 2200 ° C -os vákuumkörnyezetben működhet hosszú ideig, ami sokkal magasabb, mint a hagyományos kvarc vagy a grafithordozók.

Korróziós rezisztencia: A SIC kiválóan ellenáll a savakkal, lúgokkal, sókkal és szerves oldószerekkel szemben, és alkalmas félvezető gyártóvezetékekhez gyakori kémiai tisztítással.

2. Termikus és mechanikai tulajdonságok:

Nagy hővezető képesség (300 tömeg/mk): A gyors hőeloszlás csökkenti a hőgradienseket, biztosítja a ostya hőmérsékletét és elkerüli a film vastagságának eltérését.

Magas mechanikai szilárdság: A hajlítási szilárdság eléri a 415 MPa -t (szobahőmérséklet), és továbbra is több mint 90% -os szilárdságot tart fenn magas hőmérsékleten, elkerülve a hordozó repedését vagy a delaminációt.

Felületi kivitel: Az SSIC (nyomás -szinterelt szilícium -karbid) alacsony felületi érdességgel rendelkezik (<0,1 μm), csökkentve a részecskek szennyeződését és javítja az ostya hozamát.

3. Anyagi illesztés optimalizálás:

Alacsony termikus tágulási különbség a grafit szubsztrát és a SIC bevonat között: A bevonási folyamat (például a gradiens lerakódás) beállításával az interfész stressz csökken, és a bevonat megakadályozza a hámlást.

Magas tisztaság és alacsony hibák: A CVD -folyamat biztosítja a bevonat tisztaságát> 99,9999%, elkerülve az érzékeny folyamatok fémion -szennyeződését (például a SIC erőművek gyártását).

Majdc A CVD SIC bevonat fizikai tulajdonságai

CVD SIC bevonat film kristályszerkezet

Vet Sexemicon üzletek