Szilícium -karbid -epitaxia

A kiváló minőségű szilícium-karbid-epitaxia előkészítése a fejlett technológiától, valamint a berendezések és berendezések kiegészítőitől függ. Jelenleg a legszélesebb körben alkalmazott szilícium -karbid -epitaxia növekedési módszer a kémiai gőzlerakódás (CVD). Ennek előnyei vannak az epitaxiális film vastagságának és a dopping koncentrációjának pontos ellenőrzésének, a kevesebb hibának, a mérsékelt növekedési ütemnek, az automatikus folyamatvezérlésnek stb.

A szilícium -karbid CVD -epitaxia általában forró vagy meleg fali CVD berendezést fogad el, amely biztosítja a 4H kristályos SIC epitaxis réteg folytatását nagy növekedési hőmérsékleti körülmények között (1500 ~ 1700 ℃), a forró fal vagy a meleg fal CVD -t a fejlődés utáni fejlődés után, a reakciók és a függőleges szerkezetű reakciókra oszthatók.

A SIC epitaxiális kemence minőségének három fő mutatója van, az első az epitaxiális növekedési teljesítmény, beleértve a vastagság egységességét, a dopping egységességét, a hibamarát és a növekedési sebességet; A második a berendezés hőmérsékleti teljesítménye, beleértve a fűtési/hűtési sebességet, a maximális hőmérsékletet, a hőmérséklet egységességét; Végül maga a berendezés költségteljesítménye, beleértve az egyetlen egység árát és kapacitását.

Háromféle szilícium -karbid epitaxiális növekedési kemence és alapvető tartozékok különbségei

Forró fali vízszintes CVD (az LPE Company tipikus PE1O6 modellje), a Warm Wall Planetary CVD (tipikus AIXTRON G5WWC/G10 modell) és a kvázi-forró fal CVD (a Nuflare Company EpireVOS6 képviseli) a műszaki eszközök, amelyeket ezen a színpadon a kereskedelmi alkalmazásokban valósítottak meg. A három műszaki eszköznek megvan a maga tulajdonsága is, és a kereslet szerint választható. Szerkezetüket a következőképpen mutatják:

A megfelelő alapkomponensek a következők:

(a) Forró fal vízszintes típusú mag rész- A Half-Moon alkatrészek

Lefelé irányuló szigetelés

Fő szigetelés felsők

Felső félmoon

Upstream szigetelés

2. átmeneti darab

Átmeneti darab 1.

Külső levegő fúvóka

Kúpos légzőcső

Külső argon gázfúvóka

Argon gázfúvóka

Ostya -támogatási lemez

Központosító csap

Központi őrség

A bal oldali védelmi fedél lefelé

A jobb oldali jobb oldali védelmi fedél

A bal oldali védelmi fedél upstream

Felfelé irányuló jobb oldali védelmi fedél

Oldalfal

Grafitgyűrű

Védő filc

Támogató filc

Kapcsolattartó blokk

Gázkiadó henger

b) Meleg fal bolygó típusa

SIC bevonó bolygó lemez és TAC bevonatú bolygó lemez

(c) Kvázi-termikus fal álló típus

Nuflare (Japán): Ez a cég kettős kamrájú vertikális kemencéket kínál, amelyek hozzájárulnak a megnövekedett termelési hozamhoz. A berendezés nagysebességű forgással, akár 1000 fordulat / perc, ami nagyon előnyös az epitaxiális egységesség szempontjából. Ezenkívül a légáramlás iránya eltér a többi berendezéstől, függőlegesen lefelé, ezáltal minimalizálva a részecskék kialakulását és csökkenti a részecskepedeszek valószínűségét az ostyara. Biztosítunk ehhez a berendezéshez.

A SIC epitaxiális berendezések alkatrészeinek szállítójaként a Vetek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy kiváló minőségű bevonóelemeket biztosítson az ügyfeleknek a SIC epitaxia sikeres megvalósításának támogatására.

View as

Szilícium karbid bevonat ostya tartó

A Vetekchemon által a szilícium-karbid bevonó ostyavezető pontosságát és teljesítményét úgy tervezték, hogy fejlett félvezető folyamatokban, például MOCVD, LPCVD és magas hőmérsékletű lágyítás. Egységes CVD SIC bevonattal ez az ostya tartó biztosítja a kivételes hővezető képességet, a kémiai inertitást és a mechanikai szilárdságot-elengedhetetlen a szennyeződésmentes, magas hozamú ostya feldolgozásához.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

CVD SIC bevonatú ostya -érzékeny

A Vetekchemon CVD SIC bevonatú ostya-érzékenysége egy élvonalbeli megoldás a félvezető epitaxiális folyamatokhoz, amelyek rendkívül magas tisztaságot (≤100pp, ICP-E10 tanúsítvánnyal) és kivételes termikus/kémiai stabilitást kínálnak a GAN, SIC és szilikon alapú Epi-Layers szennyeződés-ellenálló növekedéséhez. A precíziós CVD technológiával fejlesztve támogatja a 6 ”/8”/12 ”-es ostyákat, biztosítja a minimális termikus feszültséget, és ellenáll a szélsőséges hőmérsékleteknek 1600 ° C -ig.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

SIC bevont tömítőgyűrű az epitaxishoz

A SIC bevonatú, az epitaxishoz tartozó tömítőgyűrűnk nagy teljesítményű tömítő komponens, amely grafit vagy szén-szén kompozitokon alapul, nagy tisztaságú szilícium-karbiddal (sIC) bevonva kémiai gőzlerakódással (CVD), amely ötvözi a grafit hőstabilitását a grafit stabilitásával és a SIC szélsőséges környezeti ellenállásához)

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Egyetlen ostya EPI grafit Undertaker

A Vetekchemon Single Wafer Epi grafitszövetségét nagy teljesítményű szilícium-karbid (SIC), gallium-nitrid (GAN) és más harmadik generációs félvezető epitaxiális folyamathoz tervezték, és a nagy pontosságú epitaxiális lap alapvető csapágy alkotóeleme a tömegtermelésben.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

CVD SIC fókusz gyűrű

A Vetek Semiconductor a CVD SIC fókuszgyűrűk vezető háztartási gyártója és szállítója, amelynek célja a nagy teljesítményű, nagy megbízható termékmegoldások biztosítására a félvezető ipar számára. A Vetek Semiconductor CVD SIC fókuszgyűrűi fejlett kémiai gőzlerakódási (CVD) technológiát használnak, kiváló hőmérsékleti ellenállással, korrózióállósággal és hővezető képességgel rendelkeznek, és széles körben használják a félvezető litográfiai folyamatokban. Érdeklődéseit mindig szívesen látjuk.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Aixtron G5+ mennyezeti alkatrész

A Vetek Semiconductor sok MOCVD berendezés fogyóeszközének szállítójává vált, kiváló feldolgozási képességeivel. Az Aixtron G5+ mennyezeti összetevő az egyik legújabb termékünk, amely majdnem megegyezik az eredeti Aixtron komponenssel, és jó visszajelzést kapott az ügyfelektől. Ha ilyen termékekre van szüksége, kérjük, vegye fel a kapcsolatot a Vetek Semiconductor -szal!

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Veteksemicon silicon carbide epitaxy is your advanced procurement option for producing high-performance 4H-SiC and 6H-SiC epitaxial layers used in wide bandgap semiconductor devices. SiC epitaxy enables the formation of defect-controlled, dopant-engineered epitaxial layers critical for high-power, high-frequency, and high-temperature electronic devices.

Our offering includes specialized components such as SiC epitaxial susceptors, SiC-coated wafer holders, and epitaxy process rings, tailored for use in horizontal and vertical MOCVD and CVD reactors, including platforms by Veeco, Aixtron, and LPE. Veteksemicon’s parts are coated with high-purity CVD SiC, ensuring chemical compatibility, temperature uniformity, and minimal contamination during epitaxial layer growth.

Silicon carbide epitaxy is essential for fabricating power MOSFETs, IGBTs, and RF components, particularly in automotive, energy, and aerospace applications. The epitaxial process requires extremely precise control over doping concentration, layer thickness, and crystallographic orientation, which is why substrate compatibility and thermal stability of reactor parts are critical.

Relevant terms in this category include 4H-SiC epitaxial wafer, low-defect-density epitaxy, SiC epi-ready substrates, and wide bandgap semiconductors. Veteksemicon supports both research-scale and volume production needs with stable, repeatable, and thermally robust component solutions.

To learn more about our silicon carbide epitaxy support materials, visit the Veteksemicon product detail page or contact us for detailed specifications and engineering support.

Professzionális Szilícium -karbid -epitaxia gyártóként és beszállítóként Kínában van saját gyárunk. Függetlenül attól, hogy testreszabott szolgáltatásokra van szüksége a régió konkrét igényeinek kielégítéséhez, vagy a Kínában gyártott fejlett és tartós Szilícium -karbid -epitaxia -et szeretne vásárolni, üzenetet hagyhat nekünk.

QR-kód

Rólunk

Termékek

Lépjen kapcsolatba velünk

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
Email
anny@veteksemi.com
Cím
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi megye, Jinhua City, Zhejiang tartomány, Kína

Web menü

Termékkeresés

Nyelv

Kilépés a menüből

Szilícium -karbid -epitaxia

Háromféle szilícium -karbid epitaxiális növekedési kemence és alapvető tartozékok különbségei

A megfelelő alapkomponensek a következők:

(a) Forró fal vízszintes típusú mag rész- A Half-Moon alkatrészek

b) Meleg fal bolygó típusa

(c) Kvázi-termikus fal álló típus

Szilícium karbid bevonat ostya tartó

CVD SIC bevonatú ostya -érzékeny

SIC bevont tömítőgyűrű az epitaxishoz

Egyetlen ostya EPI grafit Undertaker

CVD SIC fókusz gyűrű

Aixtron G5+ mennyezeti alkatrész

Kérdés küldése

QR-kód

Rólunk

Termékek

Lépjen kapcsolatba velünk

Telefon

Fax

Email

Cím