8 hüvelykes CVD szilícium-karbid (SiC) bevonatú epitaxy felső gyűrű

A 8 hüvelykes SiC Epi felső gyűrű főbb jellemzői

● Nagy tisztaság: minimum 99,9995%. A fém nem vándorol be az epi-rétegbe. Ez az ostyahordozó-koncentrációt ott tartja, ahol kell.

● Részecske-elnyomás: A CVD szerkezete sűrű. Nincsenek pórusok. A szerszám működése közben nem bocsát ki részecskéket. A gyárak így jobb hozamot látnak.

● Hőállóság: A gyűrű 1500°C-on stabil marad. Az alacsony CTE (hőtágulás) azt jelenti, hogy nincs vetemedés a gyors felfűtési/lehűlési ciklusok során.

● Kémiai stabilitás: A szilárd CVD SiC ellenáll a H2- és HCl-gázoknak. Az NH3-nak is ellenáll. Nincs rajta lehúzható bevonat. Nem romlik zord CVD környezetben.

● Alkatrész élettartama: A felület rendkívül kemény. Túléli az ismételt HF/HCl vegyszeres tisztítást. Ez csökkenti a csere gyakoriságát. Ez csökkenti az épület teljes birtoklási költségét is.

Műszaki előírások

A bevonat vastagságának egyenletességét a tételek között 10 um-ra szabályozzuk

Alkalmazások

A CVD SiC epi felső gyűrűt széles körben használják:

● Szilícium epitaxiás (Si Epi) reaktorok

● Szilícium-karbid epitaxia (SiC Epi)

● MOCVD rendszerek

● CVD-lerakó berendezés

Általában párosítva:

● Szuszceptorok

● Ostyahordozók

● A gyűrűk előmelegítése

● Epitaxiás reaktorok

Miért érdemes a VETEK SiC Epi felső gyűrűt használni?

● Teljes gyártási képesség: 

A nyersanyag-tisztítástól a precíziós megmunkálásig és a CVD-bevonatig a VETEK a teljes gyártási folyamatot ellenőrzi, hogy biztosítsa az egyenletes félvezető minőségű minőséget.

● Nagy pontosságú: 

Mikron szintű megmunkálást alkalmazunk. A CVD vastagsága nagyon egyenletes. Ezáltal minden gyűrű pontosan ugyanúgy működik.

GYIK

(1) Mit csinál a SiC epi felső gyűrű?

A gyűrű szabályozza a hő- és gázáramlást. Biztosítja, hogy a vékony film egyenletesen növekszik az ostyán.

(2) Miért jobb a CVD SiC, mint a grafit?

A grafit porózus. A grafitnak pórusai vannak, és gázokat bocsát ki. A szilárd CVD SiC sűrű és tiszta. Sokkal tovább tart a korrozív szerszámokban.

(3). Testreszabható a 8 hüvelykes SiC felső gyűrű?

Igen. Az Ön egyedi szerszámrajzai alapján készítjük. A geometriát az Ön folyamata alapján állíthatjuk be.

(4). Milyen iparágak használnak SiC epitaxia gyűrűket?

Főleg félvezetőgyártásban használják őket, ideértve a tápegységeket, az RF eszközöket és a SiC lapkák gyártását.