Mi a TAC bevonat? - Vetek félvezető

TAC bevonat (Tantalum karbid bevonat) egy nagyteljesítményű bevonó anyag, amelyet kémiai gőzlerakódás (CVD) eljárással állítanak elő. A TAC bevonat szélsőséges körülmények között történő kiváló tulajdonságai miatt széles körben használják a félvezető gyártási folyamatában, különösen olyan berendezésekben és alkatrészekben, amelyek magas hőmérsékletet és erős korrozív környezetet igényelnek. A TAC bevonatot általában a szubsztrátok (például grafit vagy kerámia) védelmére használják a magas hőmérséklet, a maró gázok és a mechanikus kopás miatt.

A TAC bevonat fizikai tulajdonságai

Termékjellemzők és az előnyök

● Rendkívül nagy hőstabilitás:

Jellemző leírás: A TAC bevonat olvadási pontja több mint 3880 ° C, és a stabilitást bomlás vagy deformáció nélkül képes fenntartani rendkívül magas hőmérsékleti környezetben.

Előny: Ez nélkülözhetetlen anyaggá teszi a magas hőmérsékletű, félvezető berendezésekben, például a CVD TAC bevonatban és a TAC bevonatú érzelmekben, különösen a MOCVD reaktorokban, például az AIXTRON G5 berendezésekben.

● Kiváló korrózióállóság:

Jellemző leírás: A TAC rendkívül erős kémiai inertitással rendelkezik, és hatékonyan ellenáll a korrozív gázok, például a kloridok és a fluoridok eróziójának.

Előnyök: Az erősen korrozív vegyi anyagokat érintő félvezető folyamatokban a TAC bevonat védi a berendezések alkatrészeit a kémiai támadásoktól, meghosszabbítja az élettartamot és javítja a folyamat stabilitását, különösen a szilícium karbid ostyacsónak és más kulcsfontosságú alkatrészek alkalmazásában.

● Kiváló mechanikai keménység:

Jellemző leírása: A TAC bevonat keménysége akár 9-10 mohs-ra is, ami ellenáll a mechanikus kopásnak és a magas hőmérsékleti feszültségnek.

Előny: A magas keménységű tulajdonság a TAC bevonatot különösen alkalmassá teszi a magas kopás és a nagy stressz környezetben való felhasználásra, biztosítva a berendezések hosszú távú stabilitását és megbízhatóságát durva körülmények között.

● Alacsony kémiai reakcióképesség:

Jellemző leírása: Kémiai tehetetlensége miatt a TAC bevonat fenntarthatja a magas hőmérsékletű környezetben alacsony reakcióképességet, és elkerülheti a reaktív gázokkal történő szükségtelen kémiai reakciókat.

Előny: Ez különösen fontos a félvezető gyártási folyamatában, mivel biztosítja a folyamat környezetének tisztaságát és az anyagok magas színvonalú lerakódását.

A TAC bevonat szerepe a félvezető feldolgozásban

● A kulcsfontosságú berendezések alkatrészeinek védelme:

Funkció leírása: A TAC bevonatot széles körben használják a félvezető gyártó berendezések, például a TAC bevonatú Susceptor kulcsfontosságú elemeiben, amelyeknek szélsőséges körülmények között kell működniük. A TAC -val történő bevonással ezek az alkatrészek hosszú ideig működhetnek magas hőmérsékleten és korrozív gázkörnyezetben anélkül, hogy sérülnének.

● Bővítse a berendezés élettartamát:

Funkció leírása: A MOCVD berendezésekben, például az AIXTRON G5 -ben a TAC bevonat jelentősen javíthatja a berendezés -alkatrészek tartósságát, és csökkentheti a berendezések karbantartásának és cseréjének szükségességét a korrózió és kopás miatt.

● Fokozza a folyamat stabilitását:

Funkció leírása: A félvezető gyártásban a TAC bevonat stabil magas hőmérsékleten és kémiai környezetnek biztosítja a lerakódási folyamat egységességét és konzisztenciáját. Ez különösen fontos az olyan epitaxiális növekedési folyamatokban, mint a szilícium -epitaxia és a gallium -nitrid (GAN).

● Javítsa a folyamat hatékonyságát:

Funkció leírása: A berendezés felületén lévő bevonat optimalizálásával a TAC bevonat javíthatja a folyamat általános hatékonyságát, csökkentheti a hibát, és növelheti a termék hozamát. Ez kritikus jelentőségű a nagy pontosságú, nagy tisztességes félvezető anyagok előállításához.

A nagy hőstabilitás, a kiváló korrózióállóság, a mechanikai keménység és az alacsony kémiai reakcióképesség, amelyet a TAC bevonat mutat a félvezető feldolgozása során, ideális választás a félvezető gyártó berendezések alkatrészeinek védelmére. Mivel a félvezető iparág magas hőmérsékleten, a magas tisztaságú és a hatékony gyártási folyamatok iránti kereslete továbbra is növekszik, a TAC bevonat széles körű alkalmazási kilátásokkal rendelkezik, különösen a CVD TAC bevonat, a TAC bevonatú Susceptor és az Aixtron G5 felszereléseiben.

A Vetek Semiconductor Technology Co., Ltd a félvezető ipar számára fejlett bevonó anyagok vezető szolgáltatója. Cégünk az iparág számára a legmodernebb megoldások fejlesztésére összpontosít.

Fő termékkínálatunk a közé tartozikCVD szilícium -karbid (sic) bevonatok, Tantalum karbid (TAC) bevonatok, ömlesztett SIC, SIC porok és nagy tisztességes SIC anyagok, SIC bevonatú grafit-susceptor, előmelegítő gyűrűk, TAC bevonatú elterelő gyűrű, Halfmoon alkatrészek stb.

A Vetek Semiconductor az élvonalbeli technológia és a termékfejlesztési megoldások fejlesztésére összpontosít a félvezető ipar számára.Őszintén reméljük, hogy Kínában hosszú távú partnerré válunk.