Web menü

Termékkeresés

Nyelv

Termékek

Tömör szilícium-karbid

A VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide fontos kerámiakomponens a plazmamarató berendezésekben, a szilárd szilícium-karbid (CVD szilícium-karbid) a maratóberendezés alkatrészei tartalmazzákfókuszáló gyűrűk, gázzuhanyfej, tálca, élgyűrűk stb. A szilárd szilícium-karbid (CVD szilícium-karbid) alacsony reakciókészsége és vezetőképessége klór- és fluortartalmú maratógázokkal szemben ideális anyag plazmamaratási berendezések fókuszgyűrűihez és egyéb alkatrészek.


Például a fókuszgyűrű fontos rész, amely az ostyán kívül van elhelyezve, és közvetlenül érintkezik az ostyával, mivel feszültséget ad a gyűrűre a gyűrűn áthaladó plazma fókuszálásához, ezáltal a plazmát az ostyára fókuszálja, hogy javítsa az ostya egyenletességét. feldolgozás. A hagyományos fókuszgyűrű szilikonból, illkvarc, vezetőképes szilícium, mint gyakori fókuszgyűrűs anyag, közel a szilícium lapkák vezetőképességéhez, de hiánya gyenge maratási ellenállás a fluortartalmú plazmában, maratási gépalkatrészek anyagában gyakran használt egy ideig, komoly lesz korróziós jelenség, amely jelentősen csökkenti a termelés hatékonyságát.


Svoltak SiC Focus RingMűködési elv：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


Az Si alapú fókuszáló gyűrű és a CVD SiC fókuszgyűrű összehasonlítása:

Az Si-alapú fókuszgyűrű és a CVD SiC fókuszáló gyűrű összehasonlítása
Tétel És CVD SiC
Sűrűség (g/cm3) 2.33 3.21
Sávköz (eV) 1.12 2.3
Hővezetőképesség (W/cm℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
Rugalmassági modulus (GPa) 150 440
Keménység (GPa) 11.4 24.5
Kopás- és korrózióállóság Szegény Kiváló


A VeTek Semiconductor fejlett szilárd szilícium-karbid (CVD szilícium-karbid) alkatrészeket kínál, például SiC fókuszáló gyűrűket a félvezető berendezésekhez. Szilárd szilícium-karbid fókuszáló gyűrűink felülmúlják a hagyományos szilíciumot mechanikai szilárdság, vegyszerállóság, hővezető képesség, magas hőmérsékleti tartósság és ionmaratással szembeni ellenállás tekintetében.


ÉsC fókuszáló gyűrűink fő jellemzői a következők::

Nagy sűrűség a csökkentett marási sebességért.

Kiváló szigetelés nagy sávszélességgel.

Magas hővezető képesség és alacsony hőtágulási együttható.

Kiváló mechanikai ütésállóság és rugalmasság.

Magas keménység, kopásállóság és korrózióállóság.

felhasználásával gyártvaplazmával javított kémiai gőzleválasztás (PECVD)ÉsC fókuszáló gyűrűink megfelelnek a félvezetőgyártás maratási folyamatainak növekvő igényeinek. Úgy tervezték, hogy ellenálljanak a nagyobb plazmateljesítménynek és -energiának, különösen a belső térbenkapacitív csatolású plazma (CCP)rendszerek.

A VeTek Semiconductor SiC fókuszáló gyűrűi kivételes teljesítményt és megbízhatóságot biztosítanak a félvezető eszközök gyártásában. Válassza SiC alkatrészeinket a kiváló minőség és hatékonyság érdekében.


View as  
 
Magas tisztaságú CVD SIC nyersanyag

Magas tisztaságú CVD SIC nyersanyag

A CVD által készített nagy tisztaságú CVD SIC nyersanyag a legjobb forrásanyag a szilícium -karbid kristálynövekedéshez a fizikai gőz szállításával. A vetek félvezető által szállított nagy tisztaságú CVD SIC nyersanyag sűrűsége magasabb, mint a SI és C-tartalmú gázok spontán égése által képződött kis részecskék, és nem igényel dedikált szinterelő kemencét, és szinte állandó párolgási sebességgel rendelkezik. Rendkívül kiváló minőségű SIC egykristályokat termeszthet. Várom a kérdését.
Mutass többet >> Kérdés küldése >>
Szilárd SIC ostyahordozó

Szilárd SIC ostyahordozó

A Vetek Semiconductor szilárd SIC ostya hordozóját magas hőmérsékletű és korrózióálló környezethez tervezték félvezető epitaxiális folyamatokban, és minden típusú ostya -gyártási folyamatokhoz alkalmas, magas tisztasági követelményekkel. A Vetek Semiconductor a Kínában vezető ostyahordozó szállítója, és várja, hogy hosszú távú partnerévé váljon a félvezető iparban.
Mutass többet >> Kérdés küldése >>
Szilárd SIC lemez alakú zuhanyfej

Szilárd SIC lemez alakú zuhanyfej

A Vetek Semiconductor egy vezető félvezető berendezés gyártója Kínában, valamint a szilárd SIC-alakú zuhanyfej professzionális gyártója és szállítója. A lemez alakú zuhanyfejünket széles körben használják a vékony fóliatelepítés előállításában, például a CVD -eljárásban, hogy biztosítsák a reakciógáz egyenletes eloszlását, és ez a CVD kemence egyik alapvető alkotóeleme.
Mutass többet >> Kérdés küldése >>
SIC tömítő rész

SIC tömítő rész

Fejlett SIC tömítés alkatrész -gyártó és gyár Kínában. A Vetek Semiconducto SIC tömítő része nagy teljesítményű tömítő alkatrész, amelyet széles körben használnak a félvezető feldolgozásában és más szélsőséges magas hőmérsékleten és magas nyomású folyamatokban. Üdvözöljük további konzultációját.
Mutass többet >> Kérdés küldése >>
Szilícium karbid zuhany fej

Szilícium karbid zuhany fej

A szilícium -karbid zuhanyfej kiválóan magas hőmérsékletű toleranciával, kémiai stabilitással, hővezető képességgel és jó gázeloszlású teljesítménygel rendelkezik, amelyek elérhetik az egységes gázeloszlást és javíthatják a film minőségét. Ezért általában magas hőmérsékleten, például kémiai gőzlerakódásban (CVD) vagy fizikai gőzlerakódási (PVD) folyamatokban használják. Üdvözöljük további konzultációját velünk, Vetek Semiconductor.
Mutass többet >> Kérdés küldése >>
Szilícium-karbid tömítőgyűrű

Szilícium-karbid tömítőgyűrű

Mint professzionális szilícium-karbid tömítőgyűrű termékgyártó és gyár Kínában, a VeTek Semiconductor szilícium-karbid tömítőgyűrűt széles körben használják a félvezető-feldolgozó berendezésekben, kiváló hőállósága, korrózióállósága, mechanikai szilárdsága és hővezető képessége miatt. Különösen alkalmas magas hőmérsékletű és reakcióképes gázokat, például CVD-t, PVD-t és plazmamaratot tartalmazó eljárásokhoz, és kulcsfontosságú anyagválasztás a félvezető-gyártási folyamatban. További kérdéseit szívesen fogadjuk.
Mutass többet >> Kérdés küldése >>
Professzionális Tömör szilícium-karbid gyártóként és beszállítóként Kínában van saját gyárunk. Függetlenül attól, hogy testreszabott szolgáltatásokra van szüksége a régió konkrét igényeinek kielégítéséhez, vagy a Kínában gyártott fejlett és tartós Tömör szilícium-karbid -et szeretne vásárolni, üzenetet hagyhat nekünk.
Hírek Ajánlások
Szilícium -karbid -epitaxia anyag
Szilícium -karbid -epitaxia anyagMutass többet >>
Mi az a forró sajtolt SIC kerámia?
Mi az a forró sajtolt SIC kerámia?Mutass többet >>
Mi a TAC bevonatú alkatrészek speciális alkalmazása a félvezető mezőben?
Mi a TAC bevonatú alkatrészek speciális alkalmazása a félvezető mezőben?Mutass többet >>
Termálmező kialakítása a SIC egykristálynövekedéshez
Termálmező kialakítása a SIC egykristálynövekedéshezMutass többet >>
ALD atomi réteges leválasztás receptje
ALD atomi réteges leválasztás receptjeMutass többet >>
Hogyan javítja a SIC bevonat a szén oxidációs rezisztenciáját?
Hogyan javítja a SIC bevonat a szén oxidációs rezisztenciáját?Mutass többet >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept