Szilárd szilícium-karbamid maratott fókuszáló gyűrű

A VeTek Semiconductor nagy előrehaladást ért el a CVD Solid SiC technológiában, és mára már képes a Solid SiC maratású fókuszgyűrűt előállítani világelső szinten. A VeTek Semiconductor szilárd szilícium-karbonát maratott fókuszgyűrűje egy ultra-nagy tisztaságú szilícium-karbid anyagból készült termék, amelyet kémiai gőzleválasztási eljárással hoztak létre.

A szilárd SIC maratási fókuszáló gyűrűt félvezető gyártási folyamatokban használják, különösen a plazma maratási rendszerekben. A SIC fókusz gyűrű egy kritikus elem, amely elősegíti a szilícium -karbid (SIC) ostyák pontos és ellenőrzött maratásának elérését.

A plazmamaratási folyamat során a fókuszgyűrű több szerepet játszik, az alábbiak szerint:

● A plazma összpontosítása: A szilárd SIC maratás fókuszáló gyűrű segít a plazma kialakításában és koncentrálásában az ostya körül, biztosítva, hogy a maratási folyamat egyenletesen és hatékonyan zajlik. Segít a plazmának a kívánt területre korlátozásában, megakadályozva a kóbor maratást vagy a környező régiók károsodását.

●  A kamra falainak védelme: A fókuszáló gyűrű akadályként működik a plazma és a kamra falai között, megakadályozva a közvetlen érintkezést és a lehetséges károkat. A SIC nagyon ellenálló a plazma eróziója ellen, és kiváló védelmet nyújt a kamra falainak.

●  Tpazarlásvezérlés: A SIC fókuszgyűrű elősegíti az egyenletes hőmérséklet -eloszlás fenntartását az ostya között a maratási folyamat során. Segít a hő eloszlásában, és megakadályozza a lokalizált túlmelegedési vagy termikus gradienseket, amelyek befolyásolhatják a maratási eredményeket.

A szilárd SIC -t a gyűrűk fókuszálására választják kiemelkedő termikus és kémiai stabilitása, nagy mechanikai szilárdsága és a plazma erózió elleni ellenállás miatt. Ezek a tulajdonságok a SIC -t megfelelő anyaggá teszik a durva és igényes feltételekhez a plazma maratási rendszerekben.

Érdemes megjegyezni, hogy a gyűrűk fókuszálásának tervezése és specifikációi az adott plazma maratási rendszertől és a folyamatkövetelményektől függően változhatnak. A Vetek Semiconductor optimalizálja a fókuszáló gyűrűk alakját, méreteit és felületi jellemzőit az optimális maratási teljesítmény és a hosszú élettartam biztosítása érdekében. A szilárd SIC -t széles körben használják ostyahordozók, érzékenyek, dummy ostya, vezető gyűrűk, maratási folyamat, CVD folyamat stb. Alkatrészeihez.