Termékek
Kémiai gőzlerakódás folyamat szilárd sic szélgyűrű

Kémiai gőzlerakódás folyamat szilárd sic szélgyűrű

A Vetek Semiconductor mindig is elkötelezte magát a fejlett félvezető anyagok kutatása és fejlesztése és gyártása iránt. Manapság a Vetek Semiconductor nagy előrelépést ért el a kémiai gőzlerakódási folyamatban, a szilárd SIC Edge gyűrűs termékek, és képesek biztosítani az ügyfelek számára, hogy nagyon testreszabott szilárd SIC Edge gyűrűt biztosítsanak. A szilárd SIC -gyűrűk jobb maratási egységességet és pontos ostya pozicionálást biztosítanak, ha elektrosztatikus Chuck -szal használják, biztosítva a következetes és megbízható maratási eredményeket. Várakozással tekint a kérdésedre, és egymás hosszú távú partnerévé válhat.

VAz ETEK félvezető kémiai gőzlerakódási eljárás A szilárd SIC Edge gyűrű egy élvonalbeli megoldás, amelyet kifejezetten a száraz maratási folyamatokhoz terveztek, kiváló teljesítményt és megbízhatóságot kínálva. Szeretnénk, ha kiváló minőségű kémiai gőzlerakódási feldolgozást biztosítunk Önnek a szilárd SIC szélgyűrű.

Alkalmazás:

A kémiai gőzlerakódási folyamat szilárd SIC élgyűrűt száraz maratásban használják a folyamatvezérlés javítása és a maratási eredmények optimalizálása érdekében. Alapvető szerepet játszik a plazmamenergia irányításában és korlátozásában a maratási folyamat során, biztosítva a pontos és egységes anyag eltávolítását. Fókuszáló gyűrűnk kompatibilis a száraz maratási rendszerek széles skálájával, és alkalmas az iparágak különböző maratási folyamatainak.


Anyag -összehasonlítás:


CVD folyamat szilárd SIC élgyűrű:


● Anyag: A fókuszáló gyűrű szilárd SIC-ből készül, nagy tisztaságú és nagy teljesítményű kerámia anyagból. Kémiai gőzlerakódással állítják elő. A szilárd SIC anyag kivételes tartósságot, magas hőmérsékleti ellenállást és kiváló mechanikai tulajdonságokat biztosít.

●  Előnyök: A CVD SIC gyűrű kiemelkedő hőstabilitást kínál, megőrizve annak szerkezeti integritását még a száraz maratási folyamatokban tapasztalt magas hőmérsékleten is. Magas keménysége biztosítja a mechanikai stressz és kopás ellenállását, ami kiterjesztett élettartamot eredményez. Ezenkívül a szilárd SIC kémiai tehetetlenséggel rendelkezik, megvédve azt a korróziótól és fenntartva teljesítményét az idő múlásával.

Chemical Vapor Deposition Process

CVD SIC bevonat:


●  Anyag: A CVD SIC bevonat a SIC vékony fóliájú lerakódása kémiai gőzlerakódás (CVD) technikákkal. A bevonatot egy szubsztrát anyagra, például grafitra vagy szilíciumra alkalmazzuk, hogy a SIC tulajdonságokat biztosítsák a felületre.

●  Összehasonlítás: Míg a CVD SIC bevonatok néhány előnyt kínálnak, például a komplex formákon és a hangolható filmtulajdonságok konformális lerakódását, előfordulhat, hogy nem felelnek meg a szilárd SIC robusztusságának és teljesítményének. A bevonat vastagsága, a kristályos szerkezet és a felületi érdesség a CVD -folyamat paramétereitől függően változhat, potenciálisan befolyásolva a bevonat tartósságát és teljes teljesítményét.


Összefoglalva: a vetek félvezető szilárd SIC fókuszáló gyűrűje kivételes választás a száraz maratásokhoz. Szilárd SIC-anyaga biztosítja a magas hőmérséklet-ellenállást, a kiváló keménységet és a kémiai inertitást, ezáltal megbízható és tartós oldatot. Míg a CVD SIC bevonat rugalmasságot kínál a lerakódásban, a CVD SIC gyűrű kiemelkedik a páratlan tartósság és teljesítmény biztosítása érdekében, amely a száraz maratási folyamatok igényéhez szükséges.


A szilárd SIC fizikai tulajdonságai


A szilárd SIC fizikai tulajdonságai
Sűrűség 3.21 G/cm3
Villamosenergia -ellenállás 102 Ω/cm
Hajlító szilárdság 590 MPA (6000 kgf/cm2)
Young modulusa 450 GPA (6000 kgf/mm2)
Vickers keménység 26 GPA (2650 kgf/mm2)
C.T.E. (RT-1000 ℃) 4.0 X10-6/K
Hővezető képesség (RT) 250 W/mk


Vetek Semiconductor CVD folyamat szilárd SIC Edge Ring gyártóüzlet

CVD Process Solid SiC Ring Production Shop


Hot Tags: Kémiai gőzlerakódás folyamat szilárd sic szélgyűrű
Kérdés küldése
Elérhetőségei
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Cookie-kat használunk, hogy jobb böngészési élményt kínáljunk, elemezzük a webhely forgalmát és személyre szabjuk a tartalmat. Az oldal használatával Ön elfogadja a cookie-k használatát.Adatvédelmi szabályzat