Porózus grafit

A SIC szubsztrátgyártók általában egy tégelyes kialakítást használnak egy porózus grafithengerrel a forró terepi folyamathoz. Ez a kialakítás növeli a párolgási területet és a töltésmennyiséget. Új eljárást fejlesztettek ki a kristályhibák kezelésére, a tömegátvitel stabilizálására és a SIC kristály minőségének fokozására. Magában foglalja a vetőmag nélküli kristály tálca rögzítési módszerét a termikus táguláshoz és a stressz enyhítéséhez. A tégely és porózus grafit korlátozott piaci kínálata azonban kihívásokat jelent a SIC egykristályok minőségének és hozamának.

A Vetek félvezető porózus grafit legfontosabb jellemzői:

(

2.Stent Porositási Control - A Vetek Semiconductor fenntartja a szoros porozitás -szabályozást, biztosítva a következetes teljesítményt.

3.Altra -magas tisztaság - A használt porózus grafit anyag szigorú tisztítási folyamatok révén magas tisztaságot ér el.

4. Kiváló felületi részecskékkötési képesség - A Vetek félvezetője kiváló felületi részecskékkötési képességgel és a por tapadásával szembeni ellenállással rendelkezik.

5.GAS szállítás, diffúzió és egységesség - A grafit porózus szerkezete megkönnyíti a hatékony gázszállítást és a diffúziót, ami javítja a gázok és a részecskék egységességét.

6. Kinőségi ellenőrzés és stabilitás - A Vetek félvezető hangsúlyozza a magas tisztaságot, az alacsony szennyeződés tartalmát és a kémiai stabilitást a kristálynövekedés minőségének biztosítása érdekében.

7.A hőmérséklet -szabályozás és egységesség - A porózus grafit hővezető képessége lehetővé teszi az egységes hőmérséklet -eloszlást, csökkentve a stresszt és a hibákat a növekedés során.

(