Vetekchemicon terméke, aTantalum karbid (TAC) bevonatA SIC egykristály növekedési folyamatának termékei a szilícium -karbid (SIC) kristályok növekedési interfészével kapcsolatos kihívásokkal foglalkoznak, különös tekintettel a Crystal szélén felmerülő átfogó hibákra. A TAC bevonat alkalmazásával arra törekszünk, hogy javítsuk a kristálynövekedés minőségét és növeljük a Crystal központjának tényleges területét, amely elengedhetetlen a gyors és vastag növekedés eléréséhez.
A TAC bevonat alapvető technológiai megoldás a magas színvonalú növekedéshezSic egykristály növekedési folyamat- Sikeresen fejlesztettünk ki egy TAC bevonási technológiát a kémiai gőzlerakódás (CVD) felhasználásával, amely elérte a nemzetközileg előrehaladott szintet. A TAC kivételes tulajdonságokkal rendelkezik, beleértve a magas olvadáspontot, akár 3880 ° C -ig, kiváló mechanikai szilárdság, keménység és hőhatás ellenállás. Ezenkívül jó kémiai tehetetlenséget és hőstabilitást mutat, ha magas hőmérsékleteknek és anyagoknak, például ammóniának, hidrogénnek és szilíciumtartalmú gőznek van kitéve.
Veteksemicon'sTantalum karbid (TAC) bevonatMegoldást kínál a SIC egykristály növekedési folyamatának élekkel kapcsolatos problémáinak kezelésére, javítva a növekedési folyamat minőségét és hatékonyságát. A fejlett TAC bevonási technológiánkkal arra törekszünk, hogy támogassuk a harmadik generációs félvezető ipar fejlesztését és csökkentsük az importált kulcsfontosságú anyagoktól való függőséget.
PVT módszer SIC egykristályos növekedési folyamat pótalkatrészek:
A TAC bevonatú tégely, a TAC bevonattal ellátott vetőmag tartó, a TAC bevonó vezető gyűrű fontos részei a SIC -ben és az Ain egykristályos kemencében PVT módszerrel.
Kulcsfontosságú elem:
● Magas hőmérsékleti ellenállás
● A magas tisztaság, nem szennyezi a SIC nyersanyagokat és a SIC egykristályokat.
● Rezisztens az Al gőzzel és az n₂orrózióval szemben
● Magas eutektikus hőmérséklet (ALN -vel) a kristálykészítési ciklus lerövidítéséhez.
● Újrahasznosítható (legfeljebb 200h -ig) javítja az ilyen egyetlen kristályok előkészítésének fenntarthatóságát és hatékonyságát.
TAC bevonat jellemzői
A TAC bevonat tipikus fizikai tulajdonságai
|
A TAC bevonat fizikai tulajdonságai
|
|
Sűrűség
|
14.3 (g/cm³)
|
|
Specifikus emisszióképesség
|
0.3
|
|
Hőtágulási együttható
|
6.3 10-6/K
|
|
Keménység (HK)
|
2000 HK
|
|
Ellenállás
|
1 × 10-5Ohm*cm
|
|
Hőstabilitás
|
<2500 ℃
|
|
Grafit méretű változások
|
-10 ~ -20um
|
|
Bevonat vastagsága
|
≥20um tipikus érték (35um ± 10um)
|
