CVD SIC bevonatú ostyahordó

A fém szerves kémiai gőzlerakódás (MOCVD) a legforróbb epitaxiális növekedési technológia, amelyet széles körben használnak félvezető lézerek és LED -ek, különösen a GaN Epitaxy gyártásában. Az epitaxia egy másik kristályfilm növekedésére utal egy kristályszubsztráton. Az epitaxi technológia biztosítja, hogy az újonnan termesztett kristályfilm szerkezetileg igazodik a mögöttes kristályszubsztráthoz. Ez a technológia lehetővé teszi a szubsztráton lévő specifikus tulajdonságokkal rendelkező filmek növekedését, ami elengedhetetlen a nagy teljesítményű félvezető eszközök gyártásához.

Az ostyahordó tartó az epitaxiális növekedési kemence kulcsfontosságú eleme. A CVD SIC bevonó ostya tartót széles körben használják különféle CVD epitaxiális növekedési kemencékben, különösen a MOCVD epitaxiális növekedési kemencékben.

Funkciók és FeA CVD SIC bevonattal ellátott ostyahordó tartók

● Szubsztrátok hordozása és fűtése: A CVD SIC bevonatú hordószövet szubsztrátok hordozására és a szükséges melegítés biztosítására szolgál a MOCVD folyamat során. A CVD SIC bevonattal ellátott ostyahordó-tartó nagy tisztaságú grafitból és SIC bevonatból áll, és kiváló teljesítményű.

● egységesség: A MOCVD folyamat során a grafithordó tartó folyamatosan forog, hogy elérje az epitaxiális réteg egyenletes növekedését.

● Termikus stabilitás és termikus egységesség: A SIC bevonatú hordószövet SIC bevonatának kiváló termikus stabilitása és termikus egységessége van, ezáltal biztosítva az epitaxiális réteg minőségét.

● Kerülje a szennyeződést: A CVD SIC bevonatú ostya hordójának kiváló stabilitása van, így nem okoz szennyező anyagokat, amelyek működése során leesnek.

● Rendkívül hosszú szolgálati élettartam: A SIC bevonat miatt a CVD SIC bevonatú BAz Arrel Susceptor továbbra is elegendő tartóssággal rendelkezik a MOCVD magas hőmérséklete és korrozív gázkörnyezetében.

A hordó CVD reaktor vázlata

A Vetek Semiconductor CVD SIC bevonatú ostya hordójának legnagyobb tulajdonsága

● A legmagasabb testreszabás: A grafit szubsztrát anyagösszetétele, a SIC bevonat anyagösszetétele és vastagsága, valamint az ostya -tartó szerkezete mind az ügyfelek igényei szerint testreszabható.

● A többi beszállítók előtt állni: A Vetek Semiconductor SIC bevonatú grafithordó -érzelme az EPI -hez is testreszabható az ügyfelek igényei szerint. A belső falon összetett mintákat készíthetünk az ügyfelek igényeire.

Létrehozása óta a Vetek Semiconductor elkötelezte magát a SIC bevonási technológia folyamatos feltárása mellett. Manapság a Vetek Semiconductor rendelkezik az iparág vezető SIC bevonási termékének erősségével. A Vetek Semiconductor várja, hogy partnerévé váljon a CVD SIC bevonattal ellátott ostya hordótermékekben.

A CVD SIC bevonó film kristályszerkezetének SEM adatai

A CVD SIC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai