A 4 "-es ostya moCVD epitaxiális érzékenységét 4" epitaxiális rétegnövelésre tervezték. A Vetek Semiconductor egy professzionális gyártó és beszállító, aki elkötelezett amellett, hogy kiváló minőségű moCVD epitaxiális susceptorot biztosítson 4 "-es ostya számára. Testreszabott grafit anyaggal és SIC bevonat-eljárással. Szakértői és hatékony megoldásokat tudunk biztosítani ügyfeleink számára. Üdvözöljük, hogy kommunikáljon velünk.
A VeTek Semiconductor egy professzionális vezető kínai MOCVD epitaxiális szuszceptor a 4"-os ostyához, kiváló minőségben és elfogadható áron. Üdvözöljük, lépjen velünk kapcsolatba. A MOCVD Epitaxial Susceptor for 4" ostya a fém-szerves kémiai gőzleválasztás (MOCVD) kritikus összetevője. eljárás, amelyet széles körben használnak kiváló minőségű epitaxiális vékonyrétegek, köztük gallium-nitrid előállítására (GaN), alumínium-nitrid (AlN) és szilícium-karbid (SiC). A szuszceptor platformként szolgál a szubsztrátum megtartásához az epitaxiális növekedési folyamat során, és döntő szerepet játszik az egyenletes hőmérséklet-eloszlás, a hatékony hőátadás és az optimális növekedési feltételek biztosításában.
A MOCVD Epitaxial Susceptor for 4" ostya általában nagy tisztaságú grafitból, szilícium-karbidból vagy más anyagokból készül, amelyek kiváló hővezető képességgel, kémiai tehetetlenséggel és hősokkállósággal rendelkeznek.
Alkalmazások:
A MOCVD epitaxiális érzelmek alkalmazásokat találnak a különféle iparágakban, ideértve a következőket is:
Erőteljesítmény-elektronika: a GaN-alapú nagy elektronmobilitású tranzisztorok (HEMT-k) terjedése nagy teljesítményű és nagyfrekvenciás alkalmazásokhoz.
Optoelektronika: GaN-alapú fénykibocsátó diódák (LED) és lézerdiódák terjedése a hatékony világítási és megjelenítési technológiák érdekében.
Érzékelők: Az ALN-alapú piezoelektromos érzékelők növekedése a nyomás, a hőmérséklet és az akusztikus hullámdetektálás érdekében.
Magas hőmérsékletű elektronika: A SIC-alapú teljesítménykészülékek növekedése a magas hőmérsékleten és a nagy teljesítményű alkalmazásokhoz.
A MOCVD epitaxiális szuszceptor termékparamétere 4" ostyához
Az izosztatikus grafit fizikai tulajdonságai
Ingatlan
Egység
Tipikus érték
Térfogatsűrűség
G/cm³
1.83
Keménység
HSD
58
Elektromos ellenállás
μΩ.m
10
Hajlító szilárdság
MPA
47
Nyomószilárdság
MPA
103
Szakítószilárdság
MPA
31
Young modulusa
GPA
11.8
Hőtágulás (CTE)
10-6K-1
4.6
Hővezető képesség
W · m-1· K-1
130
Átlagos gabonaméret
μm
8-10
Porozitás
%
10
Ash tartalom
ppm
≤10 (a tisztítás után)
Megjegyzés: A bevonat előtt az első tisztítást a bevonat után végezzük el a második tisztítást.
A CVD SiC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai
Ingatlan
Tipikus érték
Kristályszerkezet
FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Cookie-kat használunk, hogy jobb böngészési élményt kínáljunk, elemezzük a webhely forgalmát és személyre szabjuk a tartalmat. Az oldal használatával Ön elfogadja a cookie-k használatát. Adatvédelmi szabályzat