Szilícium -nitrid

1. Kiváló kémiai stabilitás

A szilícium -nitrid -kerámia kiváló kémiai stabilitással rendelkezik, és képes ellenállni a különféle erős savaknak, lúgoknak és korrozív gázoknak. A félvezető gyártási folyamatban gyakran korrozív vegyi anyagokkal kell foglalkozniuk, a szilícium-nitrid kerámia hosszú távú stabil teljesítménygaranciát nyújthat.

2. Kiváló mechanikai tulajdonságok

A szilícium -nitrid -kerámia nagy keménységgel, kiváló nyomószilárdsággal és kopásállósággal rendelkezik, amelyek képesek ellenállni a mechanikai feszültségnek és a felszíni kopásnak, nem könnyű deformációt vagy repedést. Ez a mechanikus tulajdonság nagyon alkalmas anyagként a félvezető berendezések szerkezeti és feldolgozási alkatrészeire.

3. Magas hőmérsékleti stabilitás

A szilícium-nitrid-kerámia fenntarthatja a stabilitást a magas hőmérsékletű környezetben, nem könnyű lágyítani vagy megolvadni, és ellenáll a magas hőmérsékletű feldolgozásnak és a kezelésnek a félvezető gyártási folyamatában. Ez lehetővé teszi, hogy felhasználhassa a magas hőmérsékletű feldolgozási berendezések kulcsfontosságú elemeinek, például a megfogók, a reakció kamra alkatrészeinek és így tovább előállításában.

4. Kiváló szigetelő tulajdonságok

A szigetelő tulajdonságok kritikusak a félvezető eszközök gyártásában. A szilícium -nitrid -kerámia jó szigetelő tulajdonságokkal rendelkezik, amelyek hatékonyan elkülöníthetik és megvédhetik az áramköri alkatrészeket az áramszivárgás vagy az elektromágneses interferencia ellen, elősegítve az eszköz stabilitásának és megbízhatóságának javítását.

5. hővezető képesség és hővezető képesség

A szilícium -nitrid -kerámia magas hővezetőképességgel rendelkezik, hatékonyan viselkedik és eloszlathatja az eszköz által generált hőt, elősegítve az eszköz hőmérsékleti stabilitásának fenntartását a működési folyamatban. Ez kritikus jelentőségű a félvezető eszközök nagy teljesítményű működése szempontjából.

1.

A szilícium -nitrid kerámiát gyakran használják az elektrosztatikus chucks és a maratási kamra alkatrészekhez a félvezető gyártásában, kiváló kémiai stabilitásuk és magas hőmérsékleti ellenállásuk miatt. Az elektrosztatikus chuck-okat használják az ostyák vagy szubsztrátok rögzítésére és stabilizálására, míg a maratási kamra alkatrészeit a korrozív gázok és a magas hőmérsékletű környezet ellenállására használják.

2. Gázelosztási lemezek és reflektorok

A szilícium -nitrid -kerámiákat szintén használják a félvezető berendezések gyártásában a gázelosztási lemezekben és a reflektorokban. A gázelosztási lemezeket a reaktív vagy védőgázok egyenletes eloszlására használják a reakciókamrába, míg a reflektorokat a reakciókamrán belüli fény eloszlásának és tükrözésének optimalizálására használják a reakció hatékonyságának és egységességének javítása érdekében.

3. Tartók és termikus alkatrészek

A szilícium -nitrid -kerámiákat gyakran használják tartóként és termálkezelő alkatrészekként a félvezető gyártó berendezésekben. Ezeknek az alkatrészeknek jó mechanikai szilárdsággal, kopásállósággal és hővezető képességgel kell rendelkezniük a stabil berendezések működésének és az eszközök feldolgozásának pontosságának biztosítása érdekében.

4. Kémiai mechanikus polírozó (CMP) párnák

A szilícium -nitrid kerámia széles körben használják pad anyagként a kémiai mechanikus polírozási (CMP) folyamatban. Kiváló lapos és kopásállósággal rendelkezik, és stabil támogatást nyújthat a polírozási folyamat során, hogy biztosítsa a félvezető ostya felületének síkosságát és pontosságát.