Szilícium-karbid kerámia

A VeTek Semiconductor az Ön innovatív partnere a félvezető-feldolgozás területén. Félvezető minőségű szilícium-karbid kerámia anyagkombinációk, alkatrészgyártási képességeink és alkalmazásmérnöki szolgáltatásaink kiterjedt portfóliójával jelentős kihívások leküzdésében tudunk segíteni. A mérnöki műszaki szilícium-karbid kerámiákat rendkívüli anyagteljesítményük miatt széles körben alkalmazzák a félvezetőiparban. A VeTek Semiconductor ultra-tiszta szilícium-karbid kerámiáját gyakran használják a félvezetőgyártás és -feldolgozás teljes ciklusa során.

DIFFÚZIÓS ÉS LPCVD FELDOLGOZÁS

A VeTek Semiconductor tervezett kerámia alkatrészeket kínál, amelyeket kifejezetten a szakaszos diffúziós és LPCVD követelményekhez terveztek, beleértve:

• Terelők és tartók
• Injektorok
• Bélések és technológiai csövek
• Szilícium-karbid konzolos lapátok
• Ostyahajók és talapzatok

SiC konzolos lapát SiC folyamatcsövek Szilícium-karbid technológiai cső SiC függőleges ostyahajó SiC vízszintes ostyahajó SiC horizontals quare ostyahajó SiC LPCVD ostyahajó SiC vízszintes lemezes hajó SiC kerámia tömítőgyűrű

MARATÁSI FOLYAMAT ALKATRÉSZEI

Minimalizálja a szennyeződést és a nem tervezett karbantartást a nagy tisztaságú alkatrészekkel, amelyeket a plazmamaratási feldolgozás szigorú követelményeihez terveztek, beleértve:

GYORS TERMIKUS FELDOLGOZÁS ÉS EPITAXIÁLIS FOLYAMAT ALKATRÉSZEI

A VeTek Semiconductor fejlett anyagkomponenseket kínál a félvezetőipar magas hőmérsékletű hőfeldolgozási alkalmazásaihoz. Ezek az alkalmazások magukban foglalják az RTP-t, az Epi-eljárásokat, a diffúziót, az oxidációt és az izzítást. Műszaki kerámiáinkat úgy tervezték, hogy ellenálljanak a hősokkoknak, megbízható és egyenletes teljesítményt nyújtva. A VeTek Semiconductor alkatrészeivel a félvezetőgyártók hatékony és jó minőségű hőfeldolgozást érhetnek el, hozzájárulva a félvezetőgyártás általános sikeréhez.