Termékek
Nagy tisztaságú SiC ostyatartó
  • Nagy tisztaságú SiC ostyatartóNagy tisztaságú SiC ostyatartó
  • Nagy tisztaságú SiC ostyatartóNagy tisztaságú SiC ostyatartó
  • Nagy tisztaságú SiC ostyatartóNagy tisztaságú SiC ostyatartó
  • Nagy tisztaságú SiC ostyatartóNagy tisztaságú SiC ostyatartó

Nagy tisztaságú SiC ostyatartó

A Vetek Semiconductor testreszabott magas tisztaságú SIC ostyahajót kínál. Magas tisztaságú szilícium -karbidból készült, résekkel rendelkezik, amelyek a ostya helyén tartják, megakadályozva, hogy a feldolgozás során csúszjon. A CVD SIC bevonat szükség esetén is rendelkezésre áll. Professzionális és erős félvezető gyártóként és beszállítójaként a Vetek Semiconductor magas tisztaságú SIC -hajó -hordozója versenyképes és magas színvonalú. A Vetek Semiconductor várja, hogy Kínában hosszú távú partnere legyen.

A VeTekSemi nagy tisztaságú SiC ostyatartó fontos csapágyalkatrész, amelyet izzítókemencékben, diffúziós kemencékben és egyéb berendezésekben használnak a félvezetőgyártási folyamatban. A nagy tisztaságú SiC ostyatartó általában nagy tisztaságú szilícium-karbid anyagból készül, és főként a következő részekből áll:


Csónakot támogató testület: konzolhoz hasonló szerkezet, kifejezetten szállításra szolgálszilícium ostyákvagy más félvezető anyagok.


Támogatószerkezet: Támogatási struktúrájának kialakítása lehetővé teszi, hogy magas hőmérsékleten nehéz terheléseket viseljen, és a magas hőmérsékletű kezelés során nem deformálódik vagy nem sérül meg.


silicon carbide material

szilícium -karbid anyag


Fizikai tulajdonságaiÚjrakristályosított szilícium-karbid


Ingatlan
Tipikus érték
Munkahőmérséklet (° C)
1600 ° C (oxigénnel), 1700 ° C (csökkentő környezet)
SiC tartalom
> 99,96%
Ingyenes Si tartalom
<0,1%
Ömlesztett sűrűség
2,60-2,70 g/cm3
Látszólagos porozitás
< 16%
Kompressziós szilárdság
> 600 MPa
Hideg hajlítószilárdság
80-90 MPa (20 ° C)
Forró hajlítási szilárdság
90-100 MPa (1400 ° C)
Hőtágulás 1500°C-on
4.70*10-6/° C
Hővezetőképesség @1200°C
23 w/m • k
Rugalmassági modulus
240 GPA
Hőütésállóság
Rendkívül jó

Ha a gyártási folyamat követelményei magasabbak,CVD SIC bevonatelvégezhető a nagy tisztaságú SiC ostyahajón, hogy a tisztaság elérje a 99,99995%-ot, tovább javítva a magas hőmérsékleti ellenállást.


A CVD SIC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai:


Ingatlan
Tipikus érték
Kristályszerkezet
FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált
Sűrűség
3,21 g/cm³
Keménység
2500 Vickers keménység (500 g terhelés)
Szemcseméret
2 ~ 10 mm
Kémiai tisztaság
99,99995%
Hőkapacitás
640 J · kg-1· K-1
Szublimációs hőmérséklet
2700 ℃
Hajlító szilárdság
415 MPa RT 4 pontos
Young modulusa
430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Hővezető képesség
300W·m-1· K-1
Hőtágulás (CTE)
4,5 × 10-6K-1

A magas hőmérsékletű kezelés során a magas tisztaságú SIC ostyacsónak hordozója lehetővé teszi a szilícium ostya egyenletes melegítését, hogy elkerüljék a helyi túlmelegedést. Ezenkívül a szilícium -karbid anyag magas hőmérsékleti ellenállása lehetővé teszi, hogy a szerkezeti stabilitást 1200 ° C hőmérsékleten vagy még magasabb hőmérsékleten tartsa fenn.working principle of High purity SiC wafer boat carrier


A diffúziós vagy lágyítási folyamat során a konzolos lapát és a nagy tisztaságú SIC ostyacsónak hordozó együtt működik. Akonzolos lapátlassan betolja a szilícium ostyát hordozó nagy tisztaságú SiC ostyatartót a kemencekamrába, és megállítja a feldolgozásra kijelölt helyen. 


A magas tisztaságú SIC ostyacsónak -hordozó fenntartja a kapcsolatot a szilícium ostyával, és a hőkezelési folyamat során egy meghatározott helyzetben van rögzítve, míg a konzolos lapát segít a teljes szerkezet megfelelő helyzetben tartásában, miközben biztosítja a hőmérsékleti egységességet.


A magas tisztaságú SIC ostyacsónak hordozója és a konzolos lapát együtt működik a magas hőmérsékleti folyamat pontosságának és stabilitásának biztosítása érdekében.


A VeTek Semiconductor testreszabott, nagy tisztaságú SiC ostyatartót biztosít az Ön igényeinek megfelelően. Várom érdeklődését.


VeTek SemiconductorMagas tisztaságú SIC ostya hajó hordozó üzletek:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops

Hot Tags: Magas tisztaságú SIC ostyacsónak vivő
Kérdés küldése
Elérhetőségei
Ha kérdése van a szilícium-karbid bevonattal, a tantál-karbid bevonattal, a speciális grafittal vagy az árlistával kapcsolatban, kérjük, hagyja nekünk e-mail-címét, és 24 órán belül felvesszük Önnel a kapcsolatot.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept