Termékek
Nagy tisztaságú SiC ostyatartó
  • Nagy tisztaságú SiC ostyatartóNagy tisztaságú SiC ostyatartó
  • Nagy tisztaságú SiC ostyatartóNagy tisztaságú SiC ostyatartó
  • Nagy tisztaságú SiC ostyatartóNagy tisztaságú SiC ostyatartó
  • Nagy tisztaságú SiC ostyatartóNagy tisztaságú SiC ostyatartó

Nagy tisztaságú SiC ostyatartó

A Vetek Semiconductor testreszabott magas tisztaságú SIC ostyahajót kínál. Magas tisztaságú szilícium -karbidból készült, résekkel rendelkezik, amelyek a ostya helyén tartják, megakadályozva, hogy a feldolgozás során csúszjon. A CVD SIC bevonat szükség esetén is rendelkezésre áll. Professzionális és erős félvezető gyártóként és beszállítójaként a Vetek Semiconductor magas tisztaságú SIC -hajó -hordozója versenyképes és magas színvonalú. A Vetek Semiconductor várja, hogy Kínában hosszú távú partnere legyen.

A VeTekSemi nagy tisztaságú SiC ostyatartó fontos csapágyalkatrész, amelyet izzítókemencékben, diffúziós kemencékben és egyéb berendezésekben használnak a félvezetőgyártási folyamatban. A nagy tisztaságú SiC ostyatartó általában nagy tisztaságú szilícium-karbid anyagból készül, és főként a következő részekből áll:


Csónakot támogató testület: konzolhoz hasonló szerkezet, kifejezetten szállításra szolgálszilícium ostyákvagy más félvezető anyagok.


Támogatószerkezet: Támogatási struktúrájának kialakítása lehetővé teszi, hogy magas hőmérsékleten nehéz terheléseket viseljen, és a magas hőmérsékletű kezelés során nem deformálódik vagy nem sérül meg.


silicon carbide material

szilícium -karbid anyag


Fizikai tulajdonságaiÚjrakristályosított szilícium-karbid


Ingatlan
Tipikus érték
Munkahőmérséklet (° C)
1600 ° C (oxigénnel), 1700 ° C (csökkentő környezet)
SiC tartalom
> 99,96%
Ingyenes Si tartalom
<0,1%
Ömlesztett sűrűség
2,60-2,70 g/cm3
Látszólagos porozitás
< 16%
Kompressziós szilárdság
> 600 MPa
Hideg hajlítószilárdság
80-90 MPa (20 ° C)
Forró hajlítási szilárdság
90-100 MPa (1400 ° C)
Hőtágulás 1500°C-on
4.70*10-6/° C
Hővezetőképesség @1200°C
23 w/m • k
Rugalmassági modulus
240 GPA
Hőütésállóság
Rendkívül jó

Ha a gyártási folyamat követelményei magasabbak,CVD SIC bevonatelvégezhető a nagy tisztaságú SiC ostyahajón, hogy a tisztaság elérje a 99,99995%-ot, tovább javítva a magas hőmérsékleti ellenállást.


A CVD SIC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai:


Ingatlan
Tipikus érték
Kristályszerkezet
FCC β fázisú polikristályos, főleg (111) orientált
Sűrűség
3,21 g/cm³
Keménység
2500 Vickers keménység (500 g terhelés)
Szemcseméret
2 ~ 10 mm
Kémiai tisztaság
99,99995%
Hőkapacitás
640 J · kg-1· K-1
Szublimációs hőmérséklet
2700 ℃
Hajlító szilárdság
415 MPa RT 4 pontos
Young modulusa
430 GPA 4pt Bend, 1300 ℃
Hővezető képesség
300W·m-1· K-1
Hőtágulás (CTE)
4,5 × 10-6K-1

A magas hőmérsékletű kezelés során a magas tisztaságú SIC ostyacsónak hordozója lehetővé teszi a szilícium ostya egyenletes melegítését, hogy elkerüljék a helyi túlmelegedést. Ezenkívül a szilícium -karbid anyag magas hőmérsékleti ellenállása lehetővé teszi, hogy a szerkezeti stabilitást 1200 ° C hőmérsékleten vagy még magasabb hőmérsékleten tartsa fenn.working principle of High purity SiC wafer boat carrier


A diffúziós vagy lágyítási folyamat során a konzolos lapát és a nagy tisztaságú SIC ostyacsónak hordozó együtt működik. Akonzolos lapátlassan betolja a szilícium ostyát hordozó nagy tisztaságú SiC ostyatartót a kemencekamrába, és megállítja a feldolgozásra kijelölt helyen. 


A magas tisztaságú SIC ostyacsónak -hordozó fenntartja a kapcsolatot a szilícium ostyával, és a hőkezelési folyamat során egy meghatározott helyzetben van rögzítve, míg a konzolos lapát segít a teljes szerkezet megfelelő helyzetben tartásában, miközben biztosítja a hőmérsékleti egységességet.


A magas tisztaságú SIC ostyacsónak hordozója és a konzolos lapát együtt működik a magas hőmérsékleti folyamat pontosságának és stabilitásának biztosítása érdekében.


A VeTek Semiconductor testreszabott, nagy tisztaságú SiC ostyatartót biztosít az Ön igényeinek megfelelően. Várom érdeklődését.


VeTek SemiconductorMagas tisztaságú SIC ostya hajó hordozó üzletek:

VeTek Semiconductor High purity SiC wafer boat carrier shops

Hot Tags: Magas tisztaságú SIC ostyacsónak vivő
Kérdés küldése
Elérhetőségei
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Cookie-kat használunk, hogy jobb böngészési élményt kínáljunk, elemezzük a webhely forgalmát és személyre szabjuk a tartalmat. Az oldal használatával Ön elfogadja a cookie-k használatát.Adatvédelmi szabályzat