Szilárd szilícium -karbid felhasználása

A szilárd szilícium -karbid SIC egy fejlett kerámia anyag, amely szilíciumból (SI) és szénből (C) áll. Ez nem olyan anyag, amely széles körben megtalálható a természetben, és általában magas hőmérsékleti szintézist igényel. A fizikai és kémiai tulajdonságok egyedülálló kombinációja kulcsfontosságú anyaggá teszi, amely szélsőséges környezetben jól teljesít, különösen a félvezető gyártásában.

Ⅰ- A szilárd szilícium -karbid (szilárd SIC) legfontosabb fizikai tulajdonságai

▶ Magas keménység és kopásállóság:

A SIC Mohs keménysége körülbelül 9-9,5, csak a gyémánt. Ez kiváló karcolási és kopási ellenállást biztosít neki, és jól teljesít olyan környezetekben, amelyeknek ellenállniuk kell a mechanikai feszültségnek vagy a részecske -eróziónak.

▶ Kiváló, magas hőmérsékleti erő és stabilitás

1. A SIC rendkívül magas hőmérsékleten képes megőrizni mechanikai szilárdságát és szerkezeti integritását (1600 ° C -ig vagy még magasabb hőmérsékleten, a típustól és a tisztaságtól függően).

2. Alacsony hőtágulási együtthatója azt jelenti, hogy jó dimenziós stabilitása van, és nem hajlamos a deformációra vagy a repedésre, amikor a hőmérséklet drasztikusan változik.

▶ Magas hővezető képesség:

Sok más kerámia anyaggal ellentétben a SIC viszonylag magas hővezető képességgel rendelkezik. Ez lehetővé teszi, hogy hatékonyan viselkedjen és eloszlatja a hőt, ami kritikus jelentőségű az alkalmazásoknál, amelyek pontos hőmérséklet -szabályozást és egységességet igényelnek.

Kiváló kémiai tehetetlenség és korrózióállóság:

A SIC rendkívül erős ellenállást mutat a legtöbb erős savval, erős bázisokkal és korrozív gázokkal, amelyeket általában félvezető folyamatokban használnak (például fluor-alapú és klór-alapú gázok a plazma környezetben), még magas hőmérsékleten is. Ez kritikus fontosságú a folyamatkamra -összetevők korrodálásának vagy szennyezettségének megakadályozásában.

▶ A nagy tisztaság potenciálja:

Rendkívül magas tisztaságú SIC bevonatok vagy szilárd SIC alkatrészek előállíthatók specifikus gyártási folyamatok révén (például kémiai gőzlerakódás - CVD). A félvezető gyártás során az anyagi tisztaság közvetlenül befolyásolja az ostya szennyeződési szintjét és a végtermék hozamát.

▶ Magas merevség (Young modulusa):

A SIC -nek magas a Young modulusa, ami azt jelenti, hogy nagyon nehéz és nem könnyű deformálódni terhelés alatt. Ez nagyon fontos az alkatrészeknél, amelyeknek meg kell őrizniük a pontos alakot és méretüket (például ostyahordozók).

▶ Hangolható elektromos tulajdonságok:

Noha gyakran szigetelő vagy félvezetőként használják (annak kristályformájától és doppingjától függően), annak nagy ellenállása segít kezelni a plazma viselkedését, vagy megakadályozza a felesleges ív -kisülést egyes komponensek alkalmazásaiban.

Ⅱ- A szilárd szilícium -karbid (szilárd SIC) késztermékek specifikus alkalmazásai és előnyei félvezető gyártásban

A fenti fizikai tulajdonságok alapján a Solid SIC-t különféle precíziós komponensekké gyártják, és széles körben használják a félvezető front-end folyamatok több kulcsfontosságú linkjében.

1) Szilárd SIC ostyahordozó (szilárd SIC ostya hordozó / hajó):

Alkalmazás:

A szilícium ostyák hordozására és átvitelére használják magas hőmérsékletű folyamatokban (például diffúzió, oxidáció, LPCVD-alacsony nyomású kémiai gőzlerakódás).

Előnyök elemzése:

1. magas hőmérsékleti stabilitás: Az 1000 ° C -ot meghaladó hőmérsékleten a SIC hordozók nem lágyulnak, deformálódnak vagy leereszkednek olyan könnyen, mint a kvarc, és pontosan megőrzik az ostya távolságát a folyamat egységességének biztosítása érdekében.

2. Hosszú élettartam és alacsony részecské generáció: A SIC keménysége és kopásállósága messze meghaladja a kvarcot, és nem könnyű apró részecskéket előállítani az ostyák szennyeződésére. Szolgáltatási élettartama általában többször, vagy akár tucatnyi alkalommal is a kvarc hordozók számára, csökkentve a csere gyakoriságát és a karbantartási költségeket.

3. Kémiai inertitás: Ellenállhat a kémiai eróziónak a folyamat légkörében, és csökkentheti az ostya szennyeződését, amelyet a saját anyagok csapadéka okoz.

4. Hővezetőképesség: A jó hővezető képesség elősegíti a hordozók és ostyák gyors és egyenletes fűtését, valamint hűtését, javítva a folyamat hatékonyságát és a hőmérsékleti egységességet.

5. Magas tisztaság: A magas tisztaságú SIC hordozók gyárthatók, hogy megfeleljenek a szennyeződés-szabályozáshoz szükséges fejlett csomópontok szigorú követelményeinek.

Felhasználói érték:

Javítsa a folyamat stabilitását, növelje a termék hozamát, csökkentse az alkatrészek meghibásodása vagy szennyeződése által okozott leállási időt, és hosszú távon csökkentse a tulajdonjog teljes költségeit.

2) Szilárd SIC lemez alakú / gázzuhany fej:

Alkalmazás:

Telepítve a berendezéskamra tetejére, például a plazma maratás, a kémiai gőzlerakódás (CVD), az atomréteg -lerakódás (ALD) stb.

Előny elemzése:

1. plazmatolerancia: Nagy energiájú, kémiailag aktív plazmakörnyezetben a SIC zuhanyfej rendkívül erős ellenállást mutat a plazma bombázásokkal és a kémiai korrózióval szemben, amely jóval jobb, mint a kvarc vagy az alumínium-oxid.

2. Az egységesség és a stabilitás: A precíziós gépelt SIC zuhanyfej biztosítja, hogy a gázáram egyenletesen oszlik meg a teljes ostya felületén, ami kritikus fontosságú a film vastagságának, az összetétel egységességének vagy a maratási sebességnek az egységessége szempontjából. Jó hosszú távú stabilitással rendelkezik, és nem könnyű deformálódni vagy eltömíteni.

3. Hőgazdálkodás: A jó hővezető képesség elősegíti a hőmérséklet egységességének fenntartását a zuhanyfej felületén, ami kritikus jelentőségű sok hőérzékeny lerakódási vagy maratási folyamat szempontjából.

4. Alacsony szennyeződés: A magas tisztaság és a kémiai tehetetlenség csökkenti a zuhanyfej szennyeződését a folyamathoz.

Felhasználói érték:

Jelentősen javítja a folyamat eredményeinek egységességét és megismételhetőségét, meghosszabbítsa a zuhanyfej élettartamát, csökkentse a karbantartási időket és a részecskék problémáit, és támogassa a fejlettebb és szigorúbb folyamatfeltételeket.

3) Szilárd SIC maratás fókuszáló gyűrű (szilárd SIC maratás fókuszáló gyűrű / él gyűrű):

Alkalmazás:

Elsősorban a plazma maratási berendezések kamrájában (például kapacitásan kapcsolt plazma CCP vagy induktívan kapcsolt plazma ICP etcher) használják, általában a ostya körüli (Chuck) szélére helyezik, az ostya körül. Annak funkciója, hogy korlátozza és irányítsa a plazmát úgy, hogy az egyenletesebben hat az ostya felületén, miközben a kamra más alkotóelemeit védi.

Előny elemzése:

1. Erős ellenállás a plazma erózióval szemben: Ez a SIC fókuszáló gyűrű legszembetűnőbb előnye. Rendkívül agresszív maratási plazmákban (például fluor- vagy klór-tartalmú vegyi anyagokban) a SIC sokkal lassabban visel, mint a kvarc, alumínium-oxid vagy akár a yttrium-oxid), és rendkívül hosszú élettel rendelkezik.

2. A kritikus dimenziók fenntartása: A magas keménység és a nagy merevség lehetővé teszi a SIC fókuszáló gyűrűk számára, hogy jobban megőrizzék pontos alakjukat és méretüket hosszú felhasználási időszakokban, ami kritikus jelentőségű a plazma morfológiájának stabilizálása és a maratás egységességének biztosítása szempontjából.

3. Alacsony részecské generáció: A kopás ellenállása miatt nagymértékben csökkenti a komponensek öregedésével generált részecskéket, ezáltal javítva a hozamot.

4. Magas tisztaság: Kerülje el a fém vagy más szennyeződések bevezetését.

Felhasználói érték:

Nagymértékben meghosszabbítja az alkatrészek cseréjű ciklusait, jelentősen csökkenti a karbantartási költségeket és a berendezések leállását; javítja a maratási folyamatok stabilitását és megismételhetőségét; Csökkentse a hibákat és javítsa a csúcskategóriás chipgyártás hozamát.

Ⅲ.Összefoglalás

A szilárd szilícium -karbid a modern félvezető gyártás egyik nélkülözhetetlen kulcsfontosságú anyagává vált a fizikai tulajdonságok egyedi kombinációja miatt - nagy keménység, nagy olvadáspont, nagy hővezető képesség, kiváló kémiai stabilitás és korrózióállóság. Függetlenül attól, hogy az ostyák szállítója, a zuhanyfej a gázeloszlás ellenőrzéséhez, vagy a plazma irányításához fókuszáló gyűrű, a Solid SIC termékek segítenek a forgácsgyártóknak a kiváló teljesítményükkel és megbízhatóságukkal egyre szigorúbb folyamat kihívásaival, és ezáltal elősegítik a teljes félvezető ipar fenntartható fejlődését.

Kínában a szilárd szilícium -karbid termékek vezető gyártójaként és szállítójaként,Veteksemiconolyan termékei, mint példáulSzilárd SIC ostya / csónak, Szilárd SIC korong alakú / gázzuhany fej, Szilárd SIC maratás fókuszáló gyűrű / él gyűrűszéles körben értékesítik Európában és az Egyesült Államokban, és nagy dicséretet és elismerést nyertek ezekből az ügyfelekből. Őszintén várjuk, hogy Kínában hosszú távú partnerévé váljon. Üdvözöljük a konzultációban.

Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

E -mail: anny@veteksemi.com