Hogyan javítja a TaC bevonat a grafit alkatrészek élettartamát? - VeTek félvezető

CVD tantalum karbid bevonata tantalum karbid (TAC) gőzlerakódásával állítják elő a nagy tisztaságú grafit szubsztrát felületén, Vetek Semiconductor védett kémiai gőzlerakódási (CVD) eljárásának felhasználásával.

A tantál-karbid (TaC) bevonatok jelentősen megnövelik az élettartamotgrafit alkatrészekTöbb mechanizmus révén, különösen a magas hőmérsékleten, erősen korrozív környezetben, például a félvezető gyártásában és a kristálynövekedésben. 

Itt vannak a konkrét okokTac bevonatokFokozza a grafit alkatrészek tartósságát:

● Javított magas hőmérsékleti ellenállás

Rendkívül magas hőstabilitás: A TaC bevonatok rendkívül magas, 2000°C-ot meghaladó hőmérsékleten is stabilak maradnak, és akár 2200°C-on is hatékonyan működnek. Ez a magas hőmérséklet-tűrés lehetővé teszi, hogy a bevonat ellenálljon az olvadt fémek és kémiai gázok eróziójának a félvezetőgyártás során, ezáltal meghosszabbítja a grafit alkatrészek élettartamát.

●  Kiváló korrózióállóság

Kémiai eróziós rezisztencia: A TAC bevonatok erősen ellenállnak a korrozív gázok, például a hidrogén, az ammónia és a szilíciumgőzök ellen, amelyek hatékonyan megakadályozzák ezeket a gázokat a grafit szubsztrát korrodálásában, és csökkenthetik a grafit alkatrészek károsodásának kockázatát a kemény környezetben. Ez azt jelenti, hogy a kristálynövekedés során a bevonat gátolhatja a szennyeződés migrációját, és javíthatja a kristály minőségét és a hozamot.

●  Javított mechanikai tulajdonságok

Jó tapadás és hősokkállóság: A TaC bevonatok erősen tapadnak a grafit hordozóhoz, biztosítva, hogy a bevonat ne hámozódjon el vagy váljon ki a magas hőmérsékletű műveletek során. Ezen kívül kiváló hősokkállósága repedés vagy hámlás nélkül képes ellenállni a gyors hőmérsékletváltozásoknak, tovább növelve a grafit alkatrészek élettartamát.

● Csökkentse a szennyeződés szennyeződését

Rendkívül magas tisztaság: A TAC bevonatok rendkívül alacsony szennyeződés tartalma van, ami elősegíti a magas hőmérsékleti körülmények között előforduló szennyeződés problémáit. A nem kívánt szennyeződések megakadályozásával az epitaxiális rétegbe való vándorlás, a TAC bevonatok jelentősen javítják a kristálynövekedés folyamatát és minőségét.

●  Optimalizálja a hőkezelést

Javítsa a hővezető képességet és a fajlagos ellenállást: A TaC bevonatok viszonylag alacsony hővezető képességgel és ellenállással rendelkeznek, ami lehetővé teszi fűtőberendezésekben és más hőkezelési komponensekben való alkalmazását az energiahatékonyság javítása és az energiaveszteség csökkentése érdekében. Ez a funkció nem csak a működési hatékonyságot javítja, hanem csökkenti az anyag kifáradását és a túlmelegedés okozta károsodást is.