CVD TaC bevonatú planetáris SiC epitaxiális szuszceptor

Az Aixtron bolygóreaktor az egyik legfejlettebbMOCVD berendezés. Sok reaktorgyártó tanulási sablonjává vált. A vízszintes lamináris áramlású reaktor elve alapján egyértelmű átmenetet biztosít a különböző anyagok között, és páratlanul szabályozza a lerakódási sebességet az egy atomi rétegű területen, meghatározott körülmények között egy forgó ostyára rakva. 

Ezek közül a legkritikusabb a többszörös forgási mechanizmus: a reaktor a CVD TaC bevonatú planetáris SiC epitaxiális szuszceptor többszörös forgatását veszi át. Ez a forgás lehetővé teszi, hogy az ostya egyenletesen ki legyen téve a reakciógáznak a reakció során, ezáltal biztosítva, hogy az ostyára felvitt anyag rétegvastagsága, összetétele és adalékolása kiváló egyenletes legyen.

A TaC kerámia egy nagy teljesítményű anyag, magas olvadásponttal (3880°C), kiváló hővezető képességgel, elektromos vezetőképességgel, nagy keménységgel és egyéb kiváló tulajdonságokkal, a legfontosabb a korrózióállóság és az oxidációállóság. A SiC és a III. csoportba tartozó nitrid félvezető anyagok epitaxiális növekedési körülményeihez a TaC kiváló kémiai tehetetlenséggel rendelkezik. Ezért a CVD-módszerrel készített CVD TaC bevonatú planetáris SiC epitaxiális szuszceptor nyilvánvaló előnyökkel rendelkezik aSiC epitaxiális növekedésfolyamat.

SEM kép a TaC bevonatú grafit keresztmetszetéről

●  Magas hőmérséklet-állóság: A SiC epitaxiális növekedési hőmérséklete eléri az 1500 ℃ - 1700 ℃ vagy még magasabb is. A TaC olvadáspontja körülbelül 4000 ℃. Miután aTaC bevonata grafit felületre kerül, agrafit alkatrészekképes fenntartani a jó stabilitást magas hőmérsékleten, ellenáll a SiC epitaxiális növekedés magas hőmérsékleti feltételeinek, és biztosítja az epitaxiális növekedési folyamat zökkenőmentes előrehaladását.

●  Javított korrózióállóság: A TaC bevonat jó kémiai stabilitással rendelkezik, hatékonyan elszigeteli ezeket a kémiai gázokat a grafittal való érintkezéstől, megakadályozza a grafit korrodálódását, és meghosszabbítja a grafit alkatrészek élettartamát.

●  Javított hővezető képesség: A TaC bevonat javíthatja a grafit hővezető képességét, így a hő egyenletesebben oszlik el a grafit részek felületén, stabil hőmérsékleti környezetet biztosítva a SiC epitaxiális növekedéséhez. Ez segít a SiC epitaxiális réteg növekedési egyenletességének javításában.

●  Csökkentse a szennyeződésekkel való szennyeződést: A TaC bevonat nem lép reakcióba a SiC-vel, és hatékony gátként szolgálhat annak megakadályozására, hogy a grafitrészekben lévő szennyeződések a SiC epitaxiális rétegbe diffundáljanak, ezáltal javítva a SiC epitaxiális lapka tisztaságát és teljesítményét.

A VeTek Semiconductor képes és jó a CVD TaC bevonatú planetáris SiC epitaxiális szuszceptor készítésére, és nagymértékben testreszabott termékeket kínál az ügyfeleknek. várjuk érdeklődését.

Fizikai tulajdonságaiTantál-karbid bevonat 

VeTek Félvezető gyártó műhelyek