Nagy tisztaságú sic konzolos lapát

A magas tisztaságú SIC konzolos lapát egy kulcsfontosságú elem, amelyet félvezető feldolgozó berendezésekben használnak. A termék nagy tisztaságú szilícium-karbid (sIC) anyagból készül.  Az ügyfelek szabadon választhatnak szinterelt SIC anyagot vagy átkristályosított SIC anyagot. A nagy tisztaság, a nagy hőstabilitás és a korrózióállóság kiváló tulajdonságainak segítségével széles körben használják olyan folyamatokban, mint például az ostyaátvitel, a támogatás és a magas hőmérsékleten történő feldolgozás, megbízható garanciát biztosítva a folyamat pontosságának és a termékminőségnek.

A nagy tisztaságú SIC konzolos lapát a következő konkrét szerepeket játszik a félvezető feldolgozási folyamatában:

Ostyaátvitel: A magas tisztaságú SIC konzolos lapátot általában ostyátviteli eszközként használják magas hőmérsékletű diffúziós vagy oxidációs kemencékben. Magas keménysége miatt a hosszú távú használat során kopásálló és nem könnyű deformálódni, és biztosíthatja, hogy az ostya pontosan elhelyezkedjen az átadási folyamat során. A magas hőmérsékletű és korrózióállóságával kombinálva biztonságosan átviheti az ostyákat a kemencecsőbe és a kemencecsőből magas hőmérsékletű környezetben anélkül, hogy bármilyen szennyeződést vagy az ostya károsodását okozná.

Ostya támogatás: A SIC anyagnak alacsony a termikus tágulási együtthatója, ami azt jelenti, hogy mérete kevésbé változik, amikor a hőmérséklet megváltozik, ami elősegíti a pontos ellenőrzést a folyamatban. A kémiai gőzlerakódás (CVD) vagy a fizikai gőzlerakódás (PVD) folyamatok során a SIC konzolos lapátot használják az ostya támogatására és rögzítésére, hogy az ostya stabil és lapos maradjon a lerakódási folyamat során, ezáltal javítva a film egységességét és minőségét.

Magas hőmérsékleti folyamatok alkalmazása: A SIC konzolos lapát kiváló hőstabilitással rendelkezik, és akár 1600 ° C -ig terjedő hőmérsékletet képes ellenállni. Ezért ezt a terméket széles körben használják a magas hőmérsékletű lágyításban, oxidációban, diffúzióban és egyéb folyamatokban.

A nagy tisztaságú SIC konzolos lapát alapvető fizikai tulajdonságai:

Nagy tisztaságú sic konzolos lapátüzletek:

A félvezető chip -epitaxia ipari láncának áttekintése: