Anyagok és tervezés

A megfelelő hordozó és bevonat kombináció kiválasztása kulcsfontosságú az alkatrészek idő előtti meghibásodásának megelőzésében, a részecskék szennyeződésének csökkentésében és a lapkahozam maximalizálásában. Személyre szabott anyag- és szerkezeti tervezési megoldásokat kínálunk az ügyfél konkrét folyamatablakai (üzemi hőmérséklet, reaktív gáz kémia, rámpa sebessége) körül.

Alapvető tervezési képességeink:

• Szigorú CTE stresszillesztés:A gyors hőciklus (>100 °C/perc) érdekében pontosan illesztjük a nagy tisztaságú grafit szubsztrátumok és CVD bevonatok CTE hőmérsékleti görbéit, alapvetően csökkentve a bevonat leválásának és mikrorepedésének kockázatát.
• Folyamat-forgatókönyv-specifikus bevonat kiválasztása:CVD SiC bevonat Si/SiC epitaxiás (Epi), MOCVD és plazmamaratási környezetekhez; CVD TaC bevonat magasabb hőmérsékletű és erősen korrozív körülményekhez (pl. SiC egykristályos PVT növekedés).
• Szabályozható ellenállás és hővezetőképesség optimalizálása:A szubsztrátum és a bevonat ömlesztett ellenállásának és hővezető képességének precíz szabályozása az RF, ESC elektrosztatikus tokmányok vagy fűtési zónák speciális elektromos és termikus térkövetelményeinek kielégítése érdekében.
• Szennyezésforrás ellenőrzése és CoO-csökkentés:A nagy tisztaságú CVD leválasztó rétegek sűrűn lezárják a porózus grafitot, jelentősen csökkentve a részecskék leválását, a fémszennyeződések ultranyomos diffúzióját és a magas hőmérsékletű gázkibocsátás kockázatát.

Tipikus bevonat kiválasztásának összehasonlítása (áttekintési útmutató)

Valódi eset és ügyfélelőnyök (tapasztalat):

A vezető SiC epitaxy (Epi) gyártó:Az eredeti alkatrész nem megfelelő CVD TaC bevonatot használt, ami túlzott határfelületi feszültséget és gyakori mikrorepedéseket eredményezett magas hőmérsékleten. Újra futtattuk a termodinamikai szimulációkat, és átváltottunk aCTE-vel illesztett speciális, nagy tisztaságú grafit hordozó + pufferréteg + CVD SiC bevonatmegoldás. Eredmény: az alkatrész átlagos élettartama 200 óráról 850 órára nőtt; a szerszámonkénti éves cseregyakoriság 40-ről 9-re csökkent; Az átfogó berendezések O&M költségmegtakarítása meghaladta az évi 650 000 RMB-t.

GDMS tisztasági elemzési jelentés TaC és SiC bevonatokhoz

GYIK

Kezdje el exkluzív szolgáltatását most