hírek

Mi az a CVD TAC bevonat? - Veteksemi

Mint mindannyian tudjuk,Tantalum Carbide (TAC)olvadáspontja akár 3880°C, nagy mechanikai szilárdság, keménység, hősokkállóság; jó kémiai közömbösség és termikus stabilitás ammóniával, hidrogénnel, szilíciumtartalmú gőzzel szemben magas hőmérsékleten.

Tantalum carbide coating on a microscopic cross-section picture

Tantalum karbid bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten


CVD TAC bevonat, kémiai gőzlerakódás (CVD)tantál-karbid (TaC) bevonat, egy eljárás nagy sűrűségű és tartós bevonat kialakítására hordozón (általában grafiton). Ez a módszer magában foglalja a TaC felhordását az aljzat felületére magas hőmérsékleten, ami kiváló hőstabilitású és vegyszerálló bevonatot eredményez.


A CVD TaC bevonatok fő előnyei a következők:


●  Rendkívül magas hőstabilitás: A tantalum karbid bevonat képes ellenállni a 2200 ° C -ot meghaladó hőmérsékleteknek.


●  Vegyi ellenállás: A CVD TaC bevonat hatékonyan ellenáll az olyan erős vegyszereknek, mint a hidrogén, az ammónia és a szilíciumgőz.


● Erős tapadás: A TaC bevonat hosszan tartó védelmet biztosít rétegvesztés nélkül.


● Magas tisztaság: Minimalizálja a szennyeződéseket, így ideális a félvezető alkalmazásokhoz.


A tantalum karbid bevonat fizikai tulajdonságai
TAC bevonat sűrűsége
14.3 (g/cm³)
Specifikus emisszióképesség
0.3
Hőtágulási együttható
6,3*10-6/K
Bevonat keménysége (HK)
2000 HK
Ellenállás
1 × 10-5Ohm*cm
Hőstabilitás
<2500 ℃
Grafit méretű változások
-10-20um
Bevonat vastagsága
≥20um tipikus érték (35um ± 10um)


Ezek a bevonatok különösen alkalmasak olyan környezetben, ahol nagy tartósságot és extrém körülményekkel szembeni ellenállást igényelnek, mint például a félvezetőgyártás és a magas hőmérsékletű ipari folyamatok.


Az ipari termelésben, a grafitban (szén-szén kompozit) a TaC bevonattal bevont anyagok nagy valószínűséggel helyettesítik a hagyományos, nagy tisztaságú grafitot, pBN bevonatot, SiC bevonat alkatrészeket stb. Ezen túlmenően a repülés területén a TaC nagy potenciállal rendelkezik a magas hőmérsékletű antioxidánsként való felhasználásra. és anti-ablációs bevonat, és széles körű alkalmazási kilátásokkal rendelkezik. A grafit felületén sűrű, egyenletes, pelyhesedésmentes TaC bevonat elkészítése és az ipari tömeggyártás elősegítése azonban még mindig sok kihívást jelent.


Ebben a folyamatban a bevonás védelmi mechanizmusának feltárása, a gyártási folyamat innovációja és a legfelső idegrendszeri verseny a harmadik generáció szempontjából döntő jelentőségűfélvezető kristályok növekedése és epitaxia.




A VeTek Semiconductor a CVD-tantál-karbid bevonat termékek professzionális kínai gyártója, és a TaC bevonat tisztasága 5 ppm alatt van, megfelel az ügyfelek igényeinek. A VeTekSemi fő CVD TaC bevonatos termékei közé tartozik CVD TAC bevonat tégely, CVD TAC bevonó ostyahordozó, CVD TaC bevonathordozóCVD TAC bevonat borítója,  CVD TAC bevonatgyűrű- A Vetek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy fejlett megoldásokat kínáljon a félvezető ipar különféle bevonási termékeire. A Vetek Semiconductor őszintén reméli, hogy Kínában hosszú távú partnerévé válik.


VeTek CVD TaC Coating CarrierVETEK CVD TaC Coating CoverVETEK CVD TaC Coating Crucible

VETEK CVD TaC Coating RingVETEK CVD TaC Coating Wafer CarrierCVD TAC Coating PARTS


Ha kérdése van, vagy további részletekre van szüksége, kérjük, ne habozzon kapcsolatba lépni velünk.

Mob/WhatsApp: +86-180 6922 0752

E-mail: anny@veteksemi.com

Kapcsolódó hírek
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept