TAC bevonat

Vetek Semiconductor TAC -bevonatú susceptor ésTac bevontgyűrűDolgozzon együtt az LPE szilícium -karbid epitaxiális növekedési reaktorban:

● Magas hőmérsékleti ellenállás: ATac bevonatA Susceptor kiváló magas hőmérsékleti ellenállással rendelkezik, képes ellenállni a szélsőséges hőmérsékleteknek 1500 ° C-ig aLPE reaktor- Ez biztosítja, hogy a berendezések és az alkatrészek ne deformálódjanak vagy nem sérüljenek meg a hosszú távú működés során.

● kémiai stabilitás: A TAC bevonat -érzékeny kivételesen jól teljesít a korrozív szilícium -karbid növekedési környezetben, hatékonyan megvédve a reaktor összetevőit a korrozív kémiai támadásoktól, ezáltal meghosszabbítva szolgálati élettartamukat.

● Hőstabilitás: A TAC bevonó-érzékenység jó hőstabilitással rendelkezik, megőrizve a felület morfológiáját és érdességét a reaktor hőmérsékleti mezőjének egységességének biztosítása érdekében, ami előnyös a szilícium-karbid-epitaxiális rétegek magas színvonalú növekedéséhez.

● A szennyeződés elleni küzdelem: A sima TAC bevonatú felület és a kiváló TPD (hőmérsékleten programozott deszorpció) teljesítménye minimalizálhatja a részecskék és szennyeződések felhalmozódását és adszorpcióját a reaktorban, megakadályozva az epitaxiális rétegek szennyeződését.

Összefoglalva: a TAC bevonatú Susceptor és a gyűrű kritikus védőszerepet játszik az LPE szilícium-karbid epitaxiális növekedési reaktorban, biztosítva a berendezés hosszú távú stabil működését és az epitaxiális rétegek magas színvonalú növekedését.