Milyen anyagokat használnak félvezető kerámia alkatrészekben?

Alumínium -oxid kerámia (al₂o₃) ‌

Az alumínium -oxid kerámia a kerámia alkatrészek gyártásának "munkáslánca". Kiváló mechanikai tulajdonságokkal, ultra-magas olvadási pontokkal és keménységgel, korrózióállósággal, erős kémiai stabilitással, nagy ellenállással és kiváló elektromos szigeteléssel rendelkeznek. Általában polírozási lemezek, vákuumfürdők, kerámia karok és hasonló alkatrészek gyártására használják.

‌Aluminum -nitrid kerámia (ALN)

Az alumínium -nitrid -kerámia nagy hővezetőképességgel, a szilíciumhoz illeszkedő termikus tágulási együtthatóval és az alacsony dielektromos állandóval és a veszteséggel rendelkezik. Az olyan előnyökkel, mint a magas olvadáspont, a keménység, a hővezető képesség és a szigetelés, elsősorban a hőkezelő szubsztrátokban, a kerámia fúvókákban és az elektrosztatikus chuck-okban használják.

‌Yttria kerámia (y₂o₃)

A Yttria kerámia magas olvadásponttal, kiváló kémiai és fotokémiai stabilitással, alacsony fonon energiával, nagy hővezető képességgel és jó átláthatósággal büszkélkedhet. A félvezetőiparban gyakran kombinálják őket alumínium -oxid -kerámiákkal - például a yttria bevonatokat alkalmazzák az alumínium -oxid kerámiára, hogy kerámia ablakokat állítsanak elő.

‌Silicon nitrid kerámia (si₃n₄) ‌

A szilícium -nitrid -kerámia nagy olvadáspont, kivételes keménység, kémiai stabilitás, alacsony hőtágulási együttható, nagy hővezető képesség és erős hőkanélküli -ellenállás jellemzi. Fenntartják a kiemelkedő ütközési ellenállást és az erőt az 1200 ° C alatt, így ideálisak kerámia szubsztrátokhoz, rakományt hordozó horgokhoz, helymeghatározó csapokhoz és kerámiacsövekhez.

‌Silicon Carbide Ceramics (sic) ‌

Szilícium karbid kerámia, hasonlít a gyémánt tulajdonságokban, könnyű, ultra-kemény és nagy szilárdságú anyagok. Kivételes átfogó teljesítmény, kopásállóság és korrózióállóság mellett széles körben használják a szelepülésekben, tolócsapágyakban, égőkben, fúvókákban és hőcserélőkben.

‌Zirconia kerámia (zro₂) ‌

A cirkónium -kerámia nagy mechanikai szilárdságot, hőállóságot, sav/lúgos rezisztenciát és kiváló szigetelést kínál. A cirkónium -os tartalom alapján a következő kategóriába sorolják:

• Precíziós kerámia (a 99,9%-ot meghaladó tartalom, amelyet integrált áramköri szubsztrátokhoz és magas frekvenciájú szigetelő anyagokhoz használnak).
• Rendes kerámia (általános célú kerámia termékekhez).

Szerkezeti tulajdonságaiFélvezető kerámia Alkatrészek

‌DENSE KERAMIKA‌

A sűrű kerámiát széles körben használják a félvezető iparban. A sűrűsítést a pórusok minimalizálásával érik el, és olyan módszerekkel készülnek, mint a reakció-szinterelés, a nyomás nélküli szinterelés, a folyadékfázisú szinterelés, a forró préselés és a forró izosztatikus sajtolás.

‌ porózus kerámia

A sűrű kerámiával ellentétben a porózus kerámia szabályozott mennyiségű üregeket tartalmaz. A pórusméret szerint mikropórusos, mezopórusos és makropórusos kerámiákba sorolják őket. Alacsony ömlesztett sűrűségű, könnyű szerkezet, nagy specifikus felület, hatékony szűrés/hőszigetelés/akusztikus csillapítási tulajdonságok és stabil kémiai/fizikai teljesítmény mellett különféle alkatrészek előállítására használják félvezető berendezésekben.