CVD TAC bevonat

A CVD TaC Coating (kémiai gőzleválasztásos tantál-karbid bevonat) egy főként tantál-karbidból (TaC) álló bevonat termék. A TaC bevonat rendkívül nagy keménységgel, kopásállósággal és magas hőmérséklettel szembeni ellenállással rendelkezik, így ideális választás a legfontosabb berendezések alkatrészeinek védelméhez és a folyamatok megbízhatóságának javításához. A félvezető feldolgozásban nélkülözhetetlen anyag.

A CVD TAC bevonó termékeket általában a reakció kamrákban, ostyahordozókban és maratási berendezésekben használják, és a következő kulcsszerepeket játszják bennük.

A CVD TaC bevonatot gyakran használják reakciókamrák belső alkatrészeinél, például szubsztrátumoknál, falpaneleknél és fűtőelemeknél. Kiváló magas hőmérséklet-állóságával kombinálva hatékonyan ellenáll a magas hőmérsékletű, korrozív gázok és plazma eróziójának, ezáltal hatékonyan meghosszabbítja a berendezés élettartamát és biztosítja a folyamat stabilitását és a termékgyártás tisztaságát.

Ezenkívül a TAC-bevonatú ostyahordozók (például kvarccsónakok, szerelvények stb.) Kiváló hőállósággal és kémiai korrózióállósággal rendelkeznek. Az ostyahordozó megbízható támogatást nyújthat az ostya számára magas hőmérsékleten, megakadályozhatja az ostya szennyeződését és deformációját, és ezáltal javíthatja az általános forgácshozamot.

Ezenkívül a Vetek Semiconductor TAC bevonatát széles körben használják különféle maratási és vékony fóliakerülési berendezésekben, például plazma maratók, kémiai gőzlerakódási rendszerek stb. , ezáltal biztosítva a folyamat pontosságát és megismételhetőségét.

Bármi is legyen az Ön konkrét követelménye, mi megtaláljuk a legjobb megoldást az Ön CVD TAC bevonattal kapcsolatos igényeihez, és bármikor várjuk konzultációját.

VeTek Semiconductor CVD TAC Coating termékek üzletei:

A félvezető chipek epitaxiás ipari láncának áttekintése: