CVD SIC bevonat fűtőelem

A CVD SIC bevonat fűtőelemet elsősorban a PVD (fizikai gőzlerakódás) berendezésekben használják. A párolgási folyamat során az anyagot felmelegítik, hogy elpárologjanak vagy porlasztást érjenek el, és végül egységes vékony fóliát képeznek a szubsztráton.

Ⅰ.Konkrét alkalmazás

Vékony film lerakódás: A CVD SIC bevonó fűtőelemet használják a párolgási forráshoz vagy a porlasztási forráshoz. Fűtéssel az elem melegíti a magas hőmérsékletre lerakódni kívánt anyagot, így az atomok vagy molekulák elválasztják az anyag felületétől, ezáltal gőzt vagy plazmát képezve. A fűtőelem alapú SIC bevonatunk közvetlenül melegítheti néhány fém- vagy kerámia anyagot, hogy elpárologtassa vagy szublimálja őket vákuum környezetben, hogy anyagi forrásként felhasználhassák a PVD -folyamatban. Mivel a szerkezet koncentrikus hornyokkal rendelkezik, jobban képes ellenőrizni az aktuális utat és a hőeloszlást, hogy biztosítsa a fűtés egységességét.

A párolgási PVD -folyamat vázlatos diagramja

Ⅱ.Működési elv

Ellenállási fűtés, amikor az áram áthalad a SIC bevonatú fűtés ellenállási útján, a joule hőt generálják, ezáltal elérve a fűtés hatását. A koncentrikus szerkezet lehetővé teszi az áram egyenletes eloszlását. A hőmérséklet -szabályozó eszköz általában az elemhez van csatlakoztatva a hőmérséklet megfigyeléséhez és beállításához.

Ⅲ.Anyagi és szerkezeti tervezés

A CVD SIC bevonat fűtőeleme nagy tisztaságú grafitból és SIC bevonatból készül, hogy megbirkózzon a magas hőmérsékletű környezettel. Maga a nagy tisztaságú grafitot széles körben használják termálmező anyagként. Miután a grafit felületére egy bevonatot alkalmaztak CVD módszerrel, annak magas hőmérsékleti stabilitása, korrózióállóság, hőhatékonyság és egyéb jellemzők tovább javulnak.

A koncentrikus hornyok kialakítása lehetővé teszi, hogy az áram egyenletes hurkot képezzen a lemez felületén. Eléri az egységes hőeloszlást, elkerüli a helyi túlmelegedést, amelyet bizonyos területeken a koncentráció okoz, csökkenti az áramkoncentráció által okozott további hőveszteséget, és ezáltal javítja a fűtési hatékonyságot.

A CVD SIC bevonat fűtőelem két lábból és egy testből áll. Minden lábnak van egy szála, amely csatlakozik az áramellátáshoz. A Vetek félvezető készíthet egyrészes alkatrészeket vagy osztott alkatrészeket, azaz a lábakat és a testet külön-külön készítik, majd összeállíthatják. Nem számít, milyen követelményei vannak a CVD SIC bevonattal ellátott fűtéshez, kérjük, olvassa el velünk. A Vetekemi biztosíthatja a szükséges termékeket.

A CVD SIC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai ：