szilícium -karbid kerámia bevonó grafitfűtés

VeTek Semiconductor Szilícium -karbid kerámia bevonó grafitfűtésEgyesíti a grafit kiváló elektromos és hővezetőképességét a magas hőmérséklet -ellenállással, a korrózióállósággal és a szilícium -szén kerámia bevonat kopásállóságával, és kemény félvezető gyártási környezetekhez tervezték. 

Szilícium -karbid kerámia bevonó grafitfűtésfőként vákuumbevonatban (párolgási) berendezésekben használják, és az általánosan alkalmazott módszerek a PCD (plazma kémiai szárítás) és a PVD (fizikai gőzlerakódás). Ez a termék fontos szerepet játszott a technológiai fejlődés előmozdításában és a termelési hatékonyság javításában a félvezető iparban.Őszintén várjuk, hogy további együttműködést végezzünk veled.

A szilícium -karbid kerámia bevonó grafitfűtés anyagi és szerkezeti jellemzői a következők:

Grafit szubsztrát: A grafit nagy hővezető képességéről és alacsony hőtágulási együtthatójáról ismert. Gyorsan reagálhat a hőmérsékleti változásokra és fenntarthatja a szerkezeti stabilitást magas hőmérsékleten.

Szilícium szén -kerámia bevonat: A SIC bevonat egyenletesen bevonódik a grafit felületén kémiai gőzlerakódás vagy más fejlett folyamatok révén. A SIC rendkívül magas keménységgel és kémiai korrózióállósággal rendelkezik, amely megvédi a grafit szubsztrátot a magas hőmérsékletű oxidációs és korrozív környezetektől.

A szilícium -karbid kerámia bevonó grafitfűtés speciális termék szerkezeti tervezése meghatározzaA termék pótolhatatlan termék előnyei a félvezető feldolgozási folyamatban:

Hatékony és egyenletes fűtés:

Hővezető képesség: A grafit nagy hővezetőképessége lehetővé teszi a fűtéshez, hogy gyorsan elérje és fenntartsa a szükséges hőmérsékletet, és a SIC bevonat biztosítja a hő egyenletes eloszlását. Ez különösen fontos a pontos hőmérséklet -szabályozást igénylő félvezető folyamatoknál, mint például a gyors termikus feldolgozás (RTP) és a kémiai gőzlerakódás (CVD).

Hőmérsékleti egységesség.

Korrózióellenes védelem:

Kémiai ellenállás: A SIC bevonat kémiai korróziós rezisztenciája lehetővé teszi a melegítő számára, hogy stabilan és hosszú ideig korrozív gáz- és kémiai környezetben működjön, elkerülve a grafit szubsztrát károsodását. Ez a tulajdonság különösen kritikus jelentőségű olyan folyamatokban, mint a kémiai gőzlerakódás (CVD) és a plazmával fokozott kémiai gőzlerakódás (PECVD).

Oxidációs ellenállás: Magas hőmérsékleten a SIC bevonat megakadályozhatja a grafit szubsztrát oxidációját, meghosszabbíthatja a fűtőkészülék élettartamát, és csökkentheti a berendezések fenntartásának gyakoriságát és költségeit.

Csökkentse a részecske -szennyeződést:

Felszíni stabilitás: A SIC bevonat nemcsak kopásálló, hanem megakadályozza a részecskék leesését az anyag felületéről a termikus ciklus vagy a kémiai reakciók miatt, ezáltal csökkentve ezzel a részecske-szennyeződés kockázatát, amely a félvezető gyártása során előfordulhat, és biztosítva a magas tisztasági folyamat környezetét.

Javítsa a folyamat megbízhatóságát és hatékonyságát:

Hosszú élettartamú kialakítás: A grafit mechanikai szilárdságának és a SIC bevonat kopásállóságának kombinációja miatt a szilícium-karbid kerámia bevonó grafitfűtés hosszú ideig tartja fenn a nagy hatékonyságú működést durva folyamat körülmények között, jelentősen javítva a berendezés általános megbízhatóságát.

Hatékony energiafelhasználás: A grafit magas hővezető képessége és a SIC bevonat magas hőmérsékletű stabilitása lehetővé teszi a fűtés számára, hogy csökkentse az energiafogyasztást, miközben javítja a hőmérséklet-szabályozási pontosságot, ezáltal javítva a félvezető termelés általános hatékonyságát.

Alapvető fizikai tulajdonságaiSzilícium -karbid kerámia bevonó grafitfűtés:

VeTek SemiconductorSzilícium -karbid kerámia bevonó grafitfűtésüzletek:

A félvezető chip -epitaxia ipari láncának áttekintése:

/Egyéb folyamat