szilícium -karbid kerámia bevonófűtés

VeTek SemiconductorA szilícium -karbid kerámia bevonó fűtőberendezés egy magas hőmérsékletű és durva környezethez tervezett fűtés. A fűtőelem felületére egy réteg szilícium -szén kerámia bevonatot (sIC) bevon, így a berendezés kiváló hőállóság, korrózióállóság és hővezető képesség. 

Szilícium -karbid kerámia bevonófűtésfőként vákuumbevonat (párolgási) berendezésekben használják. A leggyakrabban használt módszerek a PCD (plazma kémiai szárítás) és a PVD (fizikai gőzlerakódás), amelyeket széles körben használnak félvezető gyártásában és más, nagy igényű ipari alkalmazásokban.

A szilícium-karbid kerámia bevonat fűtőberendezés nagy teljesítményű bevonatával kombinálva,Kiváló fűtési megoldást kínálhat a magas hőmérsékleti folyamatokhoz.

Kiváló termikus vezetőképesség: A SIC anyag kiváló hővezető képességgel rendelkezik, biztosítva, hogy a fűtőberendezés egyenletes hőeloszlást érjen el a munkaterületen és csökkentse a hőmérsékleti gradienseket.

Biztosítson egységes hőelosztást: A szilícium -karbid kerámia bevonófűtés a SIC anyag nagy hővezetőképességét használja az egységes hőmérsékleti eloszlás eléréséhez a fűtési területen. Ez kritikus fontosságú a félvezető ostyák egyenletes hőkezelésének biztosítása érdekében különféle magas hőmérsékletű folyamatokban, például a gyors termikus feldolgozásban (RTP), a diffúzióban és az oxidációban, elkerülve a helyi túlmelegedés vagy egyenetlen hőmérséklet által okozott termékhibákat.

Magas hőmérsékleti tolerancia: A SIC bevonat lehetővé teszi a fűtés számára, hogy ellenálljon a rendkívül magas hőmérsékleteknek, általában 1600 ° C-ig, amely alkalmas különféle magas hőmérsékletű feldolgozási folyamatokra.

Javítsa a hőállóságot: Mivel a bevonat ellenáll a rendkívül magas hőmérsékletnek, jól teljesít olyan folyamatokban, amelyek hosszú távú, magas hőmérsékleten működő működést igényelnek. Például a kémiai gőzlerakódás (CVD) folyamatokban a szilícium-karbid kerámia bevonófűtés biztosítja a berendezés hosszú távú stabil működését magas hőmérsékleten, és fenntarthatja a folyamatos fűtési teljesítményt, ezáltal javítva a folyamat megismételhetőségét és megbízhatóságát.

Kémiai korrózióállóság: A SIC bevonat rendkívül nagy ellenállást mutat a sav-, lúgos és korrozív gázokkal szemben, és hosszú ideig stabil maradhat egy összetett kémiai légköri környezetben, meghosszabbítva a berendezés élettartamát. 

A berendezés élettartamának meghosszabbítása: A SIC bevonat kiváló oxidációs rezisztenciával és korrózióállósággal rendelkezik, és hatékonyan ellenáll a kémiai eróziónak és az oxidációnak magas hőmérsékleten. Ez nagyon kritikus a félvezető gyártási folyamatában, különösen egy olyan környezetben, amely a korrozív gázokat és vegyi anyagokat kezeli. A bevonat védőhatása jelentősen meghosszabbíthatja a fűtőberendezés élettartamát, és csökkentheti a berendezések cseréjének és karbantartási költségeinek gyakoriságát.

A szilícium karbid kerámia bevonófűtés alapvető fizikai tulajdonságai:

Vetek félvezető szilícium karbid kerámia bevonófűtésboltok:

A Vetek Semiconductor chip -epitaxia ipari láncának áttekintése: