Az elektrosztatikus szívócsészék gyártási folyamatától a tömegtermelési gyártókig

AElektrosztatikus tekercsa munkafolyamat kulcsfontosságú része, amely magában foglalja az elektrosztatikus erő eliminációs és ostya felszabadulási mechanizmusait. Az alábbiakban egy részletes elemzés:

DeChuck magja az, hogy kiküszöbölje vagy semlegesítse az ostya által adszorbeált elektrosztatikus erőt, és a konkrét módszerek a következők:

Yodaoplaceholder0 vágja le az energiát

Hagyja abba az egyenáram -feszültség alkalmazását az elektródra, hogy fokozatosan kiküszöbölje az elektromos mezőt.

Yodaoplaceholder0 fordított feszültség vagy gázbefecskendezés ‌

Egyes rendszerek fordított feszültséget alkalmaznak, vagy inert gázokat (például ő, n₂) vezetnek be a töltés semlegesítése vagy a fizikai elválasztás felgyorsítása érdekében.

Hasonlítsuk össze az ESC produkciójának szakmai technikáit, és először nézzük meg, hogy a vállalat elérheti -e ilyen skálát.

A CAE elemzési technológia, a lemez funkcionális anyagok, az elektróda tervezése, az elemzési technológia, a hűtőcsatorna technológia, a fűtés -tervezési technológia, a félvezető berendezések vezető személyzete.

A japán és a dél -koreai társaságoknak teljes személyzettel kell rendelkezniük az ilyen releváns személyzettel. Ha nem, akkor nem kell beszélni a vállalat technológiájáról.

A chuck technológiát, az elektródokat, a lemezeket és még a He Flow elvet még nem tisztázták. Készítsünk egy durva elektrosztatikus szívócsészét. Az ilyen társaságokat közvetlenül továbbadják. Alapvetően a befektetők pénzének visszatartására használják őket. Ez a tudás alapszintje, hogyan. A befektetőknek feladniuk kell egy olyan társaságot is, amely kártyajátékokkal játszik, és nincs olyan alkalmazottja, aki több mint 10 éves tapasztalattal rendelkezik a maratási berendezésekben, mert ez nem egy olyan társaság, amely gyakorlati dolgokat végez.

Amikor az iparban porlövésről van szó, mindenki ugyanabban a mezőben van. Mindegyiknek megvan a saját egyedi képlete. Melyiknek nincs erőssége a szinterelt kerámia felületekkel? A befektetők továbbadhatják ezeket a konfigurációkat, vagy olyan vállalatokat is, amelyek nem teljes mértékben megragadták őket, mert alapvető logikájuk ugyanaz: a pénzszerzés, a termékek fejlesztése érdekében törekszenek.

A javítás szempontjából sok hazai vállalatnak most már rendelkeznie kell a megfelelő L1 -re az L3 -ra. Még akkor is, ha a képességek kissé hiányoznak, az L1 továbbra is képes kezelni. Az L3 -ra vagy annál magasabbak esetében vagy nem javítható, vagy alvállalkozás lehet. Mindenesetre még mindig van módja annak javítására.

L1 javítás a felületi javítás, a felületi érdesség javítása/síkképesség javítása/dudor regeneráció.

L2 javítás: ízületi rétegjavítás, a fém alap újjáélesztése és a kerámia lemez/az ízületréteg újratöltése.

L3 javító kerámia lemez cseréje, kerámia lemez gyártása/újjáélesztése a fém alap és a kerámia lemez.

Guangdong Haituo Innovation Precision Equipment Technology Co., Ltd

A társaság vezető pozíciója a háztartási elektrosztatikus chucks és berendezések tervezésében és előállításában, az elektrosztatikus chucks, mint alaptechnika alapján. Jelenleg a Haituo innováció elérte az elektrosztatikus szívócsészék kereskedelmi előállítását, és befejezte a 4 hüvelykes és 12 hüvelykes félvezető FAB elektrosztatikus chucks szállítását.

Peking Huazhuo Jingke Technology Co., Ltd

Az elektrosztatikus szívócsupák, amelyeket a társaság önállóan fejlesztett ki, megfelel a vonatkozó szabványoknak és a feldolgozásnakA félvezető ipar követelményei. A korai szakaszban kialakult 12 hüvelykes PVD alumínium-nitrid elektrosztatikus szívócsészék bizonyos mértékben megtörték a külföldi gyártók hosszú távú monopóliumát ezen a termék területén. Jelenleg Huazhuo Jingke alkalmazta az elektrosztatikus szívócsészék kapcsolódó technológiáját a termékgyártásban, és kis méretű tömegtermelést ért el. Testreszabott termékeket is biztosíthat az ügyfelek számára.

A 2016 -ban alapított a fejlett bevonó anyagok vezető szolgáltatója a félvezető ipar számára. Alapítónk, a Kínai Tudományos Akadémia Anyagok Intézetének volt szakértője létrehozta a társaságot, amelynek középpontjában az ipar számára élvonalbeli megoldások fejlesztése volt.

Fő termékkínálatunk a CVD szilícium-karbid (SIC) bevonatok, a tantalum karbid (TAC) bevonatok, az ömlesztett SIC, a SIC porok és a nagy tisztaságú SIC anyagok. A fő termékek a SIC bevonatú grafit -susceptor, az előmelegítő gyűrűk, a TAC bevonatú elterelő gyűrű, a HalfMoon alkatrészek stb.

Zhejiang Xinna Materials Technology Co., Ltd

Az IT által kifejlesztett elektrosztatikus szívócsészék teljesítménymutatókkal rendelkeznek, amelyek megfelelnek a chip -gyártó vállalkozások igényeinek. Kiváló tulajdonságokkal, például szabályozható hőmérsékleten, egyenletes adszorpciós erővel, karcolásokkal vagy ráncok nélkül, az adszorpció során, és nincs szélek kizárása az ostyákra. Olyan vezető hazai félvezető ipari vállalkozások, mint például a Yangze Memory Technologies, a Silan Microelectronics és az Észak -Kína innováció tanúsítvánnyal rendelkeznek, és elértek értékesítést. Megszakította a külföldi gyártók monopóliumát ezen a termék területén.

Hebei Zhongci Electronic Technology Co., Ltd

2022 -ben a társaság stratégiai lépéseket tett a precíziós kerámia alkatrészek területén, elérve a nagyon technikai precíziós alkatrészek, például fűtési lemezek és elektrosztatikus chucks lokalizációját. A Zhongci Electronics által kifejlesztett kerámia fűtési lemezek alapvető műszaki mutatói elérték a hasonló nemzetközi termékek szintjét, és a felhasználók ellenőrizték őket. Ezeket tételekben alkalmazták a kulcsfontosságú háztartási félvezető berendezésekben. A kerámia fűtési lemezeket ömlesztve szállították, és elektrosztatikus chuckokat küldtek a minták vizsgálatához.