PG (pirolitikus grafit) bevonatú gyűrű

Főbb jellemzők

• Rendkívül magas hővezető képesség – A pirolitikus grafit síkbeli hővezető képessége elérheti az 1000–1800 W/m·K értéket, ami azt jelenti, hogy a hő gyorsan és egyenletesen terjed a gyűrűben.

• Kiváló termikus térstabilitás – A kialakítás természetesen csökkenti a hőmérsékleti gradienst és elnyomja a helyi forró pontokat, még összetett, magas hőmérsékletű rendszerekben is.

• Kiváló hősokkállóság – Alacsony hőtágulási együtthatójával a gyűrű megőrzi alakját az ismételt fűtési és hűtési ciklusokon keresztül, vetemedés nélkül.

• Magas hőmérsékletű képesség – Megbízhatóan működik közömbös légkörben, 2500°C feletti hőmérsékleten.

• Nagy tisztaság, alacsony szennyeződés – A CVD-ből származó szénrétegek kivételesen tiszták, minimálisra csökkentve a fémes szennyeződéseket és a részecskék leválását.

• Hosszú élettartam – A jobb hőkezelés lassítja az anyagkopást, így az egyes alkatrészek hosszabb élettartamot biztosítanak.

• Testreszabható kialakítás – Átmérők, vastagságok és bevonat-specifikációk széles skáláját kínáljuk, hogy megfeleljenek a különböző félvezető szerszámoknak és folyamatszükségleteknek.

PG bevonatú gyűrű vs PyC bevonatú gyűrű

Válassza a PG-t, ha a hővezető képesség és a hőmérséklet egyenletessége a legfontosabb.

Válassza a PyC-t, ha jobban aggódik a korrózióállóság, a minimális részecskeképződés és a költséghatékonyság miatt.

Alkalmazások

Ezeket a PG bevonatú gyűrűket már a berendezések széles skáláján használják, beleértve:

• PVT SiC kristálynövesztő rendszerek

• Félvezető hőtér szerelvények

• SiC kristály növesztő eszközök

• Magas hőmérsékletű vákuumkemencék

• Rapid Thermal Processing (RTP) rendszerek

• Izzítókemencék

• Diffúziós kemencék

• Fűtésvédő szerkezetek

• Hővédő pajzsok

• Hőszigetelő kötegek

• És egyéb ultramagas hőmérsékletű félvezető eljárások

Miért érdemes a VETEK-kel dolgozni?

• Nem vagyunk közvetítők – a grafitmegmunkálástól a végső bevonatig mindent saját létesítményeinkben intézünk.

• Házon belüli képességeink kiterjednek a tisztításra, a CNC megmunkálásra, a bevonat felvitelére és a teljes ellenőrzésre – mindezt egy fedél alatt.

• Mély gyökereink vannak a félvezető- és teljesítményelektronikai anyagokban, így megértjük az Ön folyamatainak valós követelményeit.

• Bevonatportfóliónk SiC-t, TaC-t, PyC-t és egyedi hőmező-terveket tartalmaz – nem korlátozódunk egyetlen technológiára.

• Egyedi megoldásra van szüksége? Csak ossza meg rajzait vagy berendezési modelljét, és mérnöki csapatunk közvetlenül Önnel fog dolgozni.

• Stabil ellátási láncot és pontos szállítási eredményeket tartunk fenn ügyfeleink számára szerte a világon.

• A lényeg: egyetlen, megbízható forrást kínálunk a félvezető termikus térkomponensekhez és a fejlett szénalapú anyagokhoz, a koncepciótól a gyártásig.