Tömör szilícium-karbid fókuszáló gyűrű

A Veteksemicon tömör szilícium-karbid fókuszáló gyűrű a félvezetőgyártás kulcsfontosságú eleme, stratégiailag az ostyán kívül helyezkedik el, hogy fenntartsa a közvetlen kapcsolatot. A rákapcsolt feszültség felhasználásával ez a gyűrű fókuszálja a rajta áthaladó plazmát, ezáltal fokozza a folyamat egyenletességét az ostyán. A kizárólag vegyi gőzfázisú szilícium-karbidból (CVD SiC) készült fókuszgyűrű a félvezetőipar által megkövetelt kivételes tulajdonságokat testesíti meg. Mi, a Veteksemicon elkötelezett a nagy teljesítményű szilícium-karbid fókuszáló gyűrűk gyártásával és szállításával, amelyek a prémium minőséget a költséghatékonysággal ötvözik.

A termék előnyei

A hagyományoshoz képestSzilícium (Si) vagy szinterezett szilícium-karbid (szinterezett SiC) fókuszgyűrűk, termékünk a legfontosabb méretekben jeleskedik:

Figyelemre méltó, hogy a szilícium-karbid vezetőképessége és ionmaratással szembeni ellenállása nagyon hasonló a szilíciuméhoz, biztosítva a meglévő félvezető-gyártási folyamatokkal való kompatibilitást, miközben fokozott teljesítményt nyújt – így a Veteksemicon szilárd szilícium-karbid fókuszáló gyűrű ideális anyagválasztás ehhez a kritikus alkalmazáshoz.

A Veteksemicon tömör szilícium-karbid fókuszáló gyűrű a legmodernebb megoldás a félvezetőgyártás területén. Teljes mértékben kihasználja a CVD SiC egyedülálló anyagi előnyeit, hogy megkönnyítse a megbízható, nagy pontosságú és nagy hatékonyságú maratási folyamatokat, jelentősen hozzájárulva a következő generációs félvezető technológia fejlődéséhez.