Szilárd SiC fókuszgyűrű

6.Fő alkalmazási területek

7. Veteksemi szilárd SiC fókuszgyűrű mag előnyei

Kiváló plazma korrózióállóság

Erősen korrozív, nagy sűrűségű plazmáknak, például CF4-nek, O2-nak és Cl2-nek való hosszan tartó expozíció esetén a hagyományos anyagok hajlamosak a gyors kopásra és részecskeszennyeződésre. Szilárd SiC fókuszgyűrűnk kiváló korrózióállóságot mutat, és sokkal alacsonyabb korróziós sebességgel rendelkezik, mint az olyan anyagoké, mint a kvarc vagy az alumínium-oxid. Ez azt jelenti, hogy idővel sima felületet tart fenn, jelentősen csökkentve az alkatrészkopásból eredő lapkahibák kockázatát, biztosítva a folyamatos és stabil tömeggyártást.

Kiváló magas hőmérsékleti stabilitás és hőkezelési teljesítmény

A félvezető maratási folyamata jelentős hőt termel, aminek következtében a kamraelemek drámai hőmérséklet-ingadozásokat tapasztalnak. Fókuszgyűrűink rendkívül alacsony hőtágulási együtthatóval rendelkeznek, akár 1600°C-ig képesek ellenállni az átmeneti hőmérsékleteknek repedés vagy deformáció nélkül. Ezen túlmenően magas hővezető képességük elősegíti a hő egyenletes és gyors eloszlását, hatékonyan javítva a hőmérséklet eloszlását az ostya szélén, ezáltal javítva a hőt.a kritikus méretek egységességének és konzisztenciájának maratása a teljes szeleten.

Rendkívüli anyagtisztaság és szerkezeti sűrűség

Szigorúan ellenőrizzük a szilícium-karbid nyersanyagok tisztaságát (≥99,999%), és kiküszöböljük a fémszennyeződést a szinterezési folyamat során, hogy megfeleljünk a fejlett gyártási folyamatok szigorú követelményeinek a szennyeződések nyomainak ellenőrzésére. A magas hőmérsékletű szinterezéssel kialakuló sűrű szerkezet rendkívül alacsony porozitású, szinte teljesen blokkolja a folyamatgázok és melléktermékek behatolását. Ez megakadályozza a teljesítményromlást és a részecskenövekedést, amelyet a belső anyagromlás okoz, így tiszta folyamatkamra-környezetet biztosít.

Hosszan tartó mechanikai élettartam és átfogó költséghatékonyság

A gyakori cserét igénylő hagyományos fogyóeszközökhöz képest a Veteksemi szilárd SiC fókuszgyűrűk kivételes tartósságot kínálnak. Stabil teljesítményt tartanak fenn élettartamuk során, többször meghosszabbítva a csereciklusokat. Ez nem csak közvetlenül csökkenti a pótalkatrészek beszerzési költségeit, hanem jelentősen javítja a gépek kihasználtságát is azáltal, hogy csökkenti a berendezések karbantartási leállási idejét, ami jelentős általános költségelőnyt eredményez az ügyfelek számára.

Pontos méretszabályozás és rugalmas testreszabási szolgáltatások

Tisztában vagyunk a különböző gépek és folyamatok fogyóeszközökkel szemben támasztott pontos követelményeivel. Mindegyik fókuszgyűrű precíziós megmunkáláson és szigorú tesztelésen esik át, hogy biztosítsák a kritikus mérettűréseket ±0,05 mm-en belül. Személyre szabott szolgáltatásokat is kínálunk, beleértve az egyedi méreteket, felületkezeléseket (polírozás Ra ≤ 0,2 μm-re) és vezetőképesség-beállításokat, hogy tökéletesen megfeleljenek az Ön speciális folyamatkövetelményeinek és alkalmazási forgatókönyveinek.

A részletes műszaki specifikációkért, a fehér könyvekért vagy a mintavizsgálati megállapodásokért forduljon műszaki támogatási csoportunkhoz, hogy megtudja, hogyan javíthatja a Veteksemi folyamatának hatékonyságát.