Mi a TAC bevonatú alkatrészek speciális alkalmazása a félvezető mezőben?

A tantalum karbid (TAC) bevonat fizikai tulajdonságai

Tantalum karbid (TAC) bevonat alkalmazása a félvezető mezőben

1. epitaxiális növekedési reaktor komponensek

A TAC bevonatot széles körben használják a Gallium -nitrid (GaN) epitaxiális és szilícium -karbid (sIC) epitaxiális reaktor komponenseinek kémiai gőzlerakódásának (CVD) reaktorkomponenseinél, beleértveostyahordozók, műholdas ételek, fúvókák és érzékelők. Ezek az alkatrészek rendkívül magas tartósságot és stabilitást igényelnek magas hőmérsékleten és korrozív környezetben. A TAC bevonat hatékonyan meghosszabbíthatja szolgálati életét és javíthatja a hozamot.

2. Egyetlen kristály növekedési komponens

Az olyan anyagok egy kristálynövekedési folyamatában, mint a SIC, a GaN és az Alumínium -nitrid (AIN),Tac bevonatalkalmazzák a kulcsfontosságú alkatrészekre, például a keresztreciklusokra, a vetőmag -kristálytartókra, a vezetőgyűrűkre és a szűrőkre. A TAC bevonattal rendelkező grafit anyagok csökkenthetik a szennyeződés migrációját, javíthatják a kristály minőségét és csökkenthetik a hiba sűrűségét.

3. Magas hőmérsékletű ipari alkatrészek

A TAC bevonat magas hőmérsékletű ipari alkalmazásokban, például ellenálló fűtési elemekben, injekciós fúvókákban, árnyékológyűrűkben és forrasztó szerelvényekben is felhasználható. Ezeknek az alkatrészeknek meg kell tartaniuk a jó teljesítményt a magas hőmérsékletű környezetben, és a TAC hőállóságának és korrózióállóságának ideális választásnak kell lennie.

4. MOCVD rendszerekben fűtőberendezések

A TAC-bevonatú grafitfűtéseket sikeresen vezettek be a fémszervezeti kémiai gőzlerakódás (MOCVD) rendszerekben. A hagyományos PBN-vel bevont fűtésekkel összehasonlítva a TAC-melegítők jobb hatékonyságot és egységességet biztosíthatnak, csökkenthetik az energiafogyasztást és csökkenthetik a felületi emissziót, ezáltal javíthatják az integritást.

5. ostyahordozók

A TAC-bevonatú ostyahordozók fontos szerepet játszanak a harmadik generációs félvezető anyagok, például a SIC, AIN és a GAN előállításában. A tanulmányok kimutatták, hogy a korróziós arányTac bevonatokA magas hőmérsékletű ammóniában és a hidrogén környezetben sokkal alacsonyabb, mint aéSic bevonatok, ami a hosszú távú használat során jobb stabilitást és tartósságot mutat.