Szilárd SIC lemez alakú zuhanyfej

A szilárd SIC korong alakú zuhanyfej szerepe a CVD-folyamatban az, hogy a reakciógáz egyenletes eloszlatása a lerakódási terület fölött, hogy a gáz egyenletesen elterjedhessen a reaktorban, hogy lapos és egységes filmet kapjon.

A szilárd SIC zuhanyfej a CVD kemence tetejére vagy a gázbemeneti nyílás közelében van beállítva. A reakciógáz a tárcsa alakú szerkezetbe lép be a zuhanyfejre elosztott lyukakon, és a zuhanyfej felülete mentén diffundál. A többcsatornás kialakítás és az egyenletesen elosztott aljzatok révén a reakciógáz egyenletesen áramolhat a teljes reaktor területére, elkerülve a koncentrációt vagy a turbulenciát, és biztosítva a szubsztráton lerakódott réteg vastagságának konzisztenciáját.

Ugyanakkor a félvezető tárcsa alakú zuhanyfej szerkezetének diffúziós hatása is van, amely hatékonyan csökkentheti a gáz áramlási sebességét, így a fúvóka kimenetén egyenletesen eloszlatható, és csökkentheti a helyi gázáramlások lerakódási hatásra gyakorolt ​​hatását. Segít elkerülni a szubsztrátra gyakorolt ​​közvetlen gáz hatását, és megakadályozza az egyenetlen lerakódás problémáját.

Az anyagok szempontjából a szilárd SIC gázzuhany feje magas hőmérsékletű, korrózióálló és nagy szilárd SIC anyagból készül, nagyon nagy stabilitással. Hosszú ideig stabilan működhet a CVD kemencében, és hosszú élettartamú.

A Vetek Semiconductor kiváló minőségű, testreszabott szolgáltatásokat nyújt. A szilárd SIC lemez alakú zuhanyfej alakja és lyuk elrendezése rugalmasan beállítható az ügyfél folyamatainak követelményei szerint, hogy alkalmazkodjanak a különböző gáztípusokhoz, áramlási sebességhez és lerakódási anyagokhoz. Különböző méretű reaktorok vagy szubsztrátméretek esetén a különböző átmérőjű és lyuk-eloszlású tárcsa alakú zuhanyfejek testreszabhatók a gázeloszlás-hatás optimalizálása érdekében.

A Vetek Semiconductor érett folyamatokkal és fejlett technológiákkal rendelkezik a szilárd SIC félvezető zuhanyfejű termékekhez, segítve számos ügyfelet a CVD folyamatok folyamatos előrehaladásában. A Vetek Semiconductor várja, hogy Kínában hosszú távú partnerévé váljon.

A szilárd SIC fizikai tulajdonságai

VeTek SemiconductorSzilárd SIC lemez alakú zuhanyfejű gyártóüzletek