SIC konzolos evezők

Ⅰ. Termékhasználat áttekintése

A SIC konzolos lapátokat elsősorban félvezető gyártóberendezésekben használják ostya -tartó és sebességváltó alkatrészekként. Alapvető funkciója a szilícium ostyák stabil és pontos feldolgozása szélsőséges folyamat körülmények között, mint például a magas hőmérséklet és a magas korrózió, biztosítva a sima és hatékony gyártási folyamatot.

Ⅱ. A SIC anyagok megsértése és jellemzői

A SIC egy fejlett kerámia anyag, amelynek kiváló fizikai tulajdonságai páratlan előnyt jelentenek a félvezető mezőben. Az alábbiakban a SIC konzolos evezőkkel kapcsolatos legfontosabb fizikai paraméterek:

● Magas tisztaság: A nagy tisztaságú SIC anyag használata minimalizálhatja a folyamat szennyeződését és javíthatja a termék hozamát.

● Kiváló, magas hőmérsékleti ellenállás: A SIC olvadási pontja 2830 ° C-ig terjed, ami lehetővé teszi a szerkezeti integritás fenntartását a szélsőséges hőmérsékleti környezetben, például a plazma maratás és a magas hőmérsékleten lágyítás, és a hosszú távú üzemi hőmérséklet több mint 1000 ° C-ot érhet el.

● Nagy keménység és kopásállóság: A MOHS keménysége 9-9,5, csak a gyémántnál második, így a SIC konzolos lapátok kiváló kopási ellenállással és fenntartva a méret stabilitását a magas frekvenciájú ostya átvitele során.

● Kiváló hővezető képesség: A SIC kerámia hővezető képessége akár 120-250 W/(m · K) (tipikus érték), amely gyorsan eloszlathatja a hőt és elkerülheti a helyi túlmelegedést, amely károsíthatja az ostyát.

● Alacsony termikus tágulási együttható: Az alacsony hőtágulási együttható (kb. 4,0 × 10⁻⁶ /k) biztosítja a dimenziós stabilitást, amikor a hőmérséklet megváltozik, elkerüli a hőtágulás és az összehúzódás által okozott stresszt, és ezáltal csökkenti a ostya károsodásának kockázatát.

Ⅲ. A SIC konzolos lapátok alkalmazási forgatókönyvei

A SIC konzolos lapátok egyedi tulajdonságai lehetővé teszik számukra, hogy kulcsszerepet játszhassanak a félvezető gyártás több linkjében:

● Plazma maratási berendezés: A plazma maratási kamrában a SIC konzolos evezők ostya -tartókként szolgálnak, amelyek ellenállnak a plazma bombázásnak és a korrozív gázeróziónak, miközben megőrzik a dimenziós stabilitást, biztosítva a maratási pontosságot és meghosszabbítva a berendezések élettartamát.

● Vékony film lerakódási berendezések (CVD/PVD): A kémiai gőzlerakódás (CVD) és a fizikai gőzlerakódás (PVD) folyamatában a SIC konzolos lapátokat használják az ostyák támogatására. Kiváló, magas hőmérsékletű ellenállásuk és hővezető képességük elősegíti az ostya egyenletes melegítését és a vékony film lerakódási eljárás során előforduló részecskék -szennyeződés megakadályozását.

● ostyaátviteli rendszer: Az automatizált ostyátviteli rendszerben a SIC konzolos evezők magas frekvenciájú mechanikai mozgást ellenállnak, nagy keménységük és kopás ellenállásuk miatt, biztosítva az ostyák pontos és gyors átvitelét a különböző folyamatkamrák között, csökkentve a ostya károsodása és a szennyeződés kockázatát.

● Magas hőmérsékletű lágyítási folyamat: A magas hőmérsékletű lágyító kemencében a SIC konzolos evezők ellenállnak az ultra-magas hőmérsékleti környezeteknek, stabil támogatást nyújtanak az ostyák számára, és biztosítják az izzítási folyamat egységességét és hatékonyságát.

A Vetekchemon jól ismeri a termékminőségre vonatkozó félvezető folyamatok szigorú követelményeit. Ezért támogatjuk a testreszabott szolgáltatásokat, és testreszabott SIC konzolos paddol -tervezést és gyártást nyújthatunk az Ön speciális berendezései és folyamatkövetelményei szerint. És ellenőrizni fogjuk a szigorú minőség -ellenőrzést is annak biztosítása érdekében, hogy minden termék szigorú minőségi ellenőrzésen menjen keresztül, hogy megfeleljen az iparág legmagasabb előírásainak.

Ennél is fontosabb, hogy a Vetek Semiconductor műszaki csapata átfogó műszaki konzultációt és termékmegoldásokat kínál Önnek. A SIC konzolos lapátunk kiválasztása azt jelenti, hogy a nagyobb termelési hatékonyságot, a hosszabb berendezések élettartamát és a jobb termékhozamot választjuk. Várom a további konzultációt.