Szilícium -karbid SIC ostyacsónak

A Vetekchechon SIC ostyacsónak egy maghordozó, amelyet kifejezetten a magas hőmérsékletű félvezető folyamatokhoz terveztek. A nagy tisztaságú izosztatikusan préselt grafit szubsztrátjaként ez a termék szabadalmaztatott kémiai gőzlerakódási technológiát használ sűrű, nem porózus szilícium-karbid védőréteg kialakításához a felszínen.

Ez a réteg zökkenőmentesen ötvözi a grafit kiváló hővezető képességét a szilícium -karbid kivételes korrózióállóságával. A szigorúan szabályozott bevonat 80-120 μm vastagságát eredményezi, hatékonyan ellenállva a korróziónak a különféle savas és lúgos atmoszférákból, jelentősen csökkentve a fémszennyezés kockázatát. Még a magas hőmérsékletű környezetben is fenntartja a strukturális stabilitást és a dimenziós integritást, megbízható védelmet és támogatást biztosítva az ostyák számára olyan kritikus folyamatok során, mint az oxidáció, a diffúzió és az epitaxiális növekedés, hatékonyan meghosszabbítva a ostya élettartamát a hagyományos grafit hajók több mint háromszorosával.

Ⅰ. Műszaki paraméterek

Ⅱ. Vetekemicon sic ostyacsónak alapvető előnyei

• Kiváló korrózióállóság

A Vetekchemicon ostyacsónak SIC bevonatát szabadalmaztatott, magas hőmérsékletű CVD-eljárásunk felhasználásával helyezzük el, sűrű, egységes szerkezetet eredményezve, amely teljesen mentes a pórusoktól és a repedésektől. Ez a szilárd gát hatékonyan elkülöníti az ostyákat a kemence környezetétől. Az erős oxidáló atmoszférák, a fluortartalmú vegyületek és más korrozív gázok áthatolhatatlanok erre a védőrétegre. Ez azt jelenti, hogy az ostya védi a szennyeződéstől, míg a hajó megismételt szélsőséges folyamatok révén érintetlen marad, jelentősen meghosszabbítva szolgálati élettartamát.

• Rendkívül magas tisztaságú anyagok

Megértjük, hogy még a legkisebb szennyeződés is felhasználhatatlanná teheti az ostyák teljes tételét. Ezért a Vetekchemon szigorúan ellenőrzi a nyersanyagokat, az importált izosztatikusan préselt grafit felhasználásával, a szubsztrátként 99,995% -ot meghaladó tisztasággal. Az ezen a szubsztrátumon letétbe helyezett SIC bevonat 99,999% tisztaságot is elér, olyan kritikus szennyeződésekkel, mint a nátrium, kálium, vas és nehézfémek rendkívül alacsony szintre (PPB). Ez a szinte intrinsic tisztaság biztosítja, hogy a szennyező anyagok nem szabadulnak fel magas hőmérsékleten, alapvetően kiküszöbölve az eszköz teljesítményének lebomlásának kockázatát a hordozóval kapcsolatos problémák miatt.

• Kiváló hőstabilitás

A félvezető gyártáshoz rendkívül következetes termikus folyamatokat igényel. A Vetekchemon Wafer Boat termikus tágulási együtthatója aprólékosan úgy van kialakítva, hogy szorosan megfeleljen a szilícium ostyáknak. A gyors fűtés és a hűtés során a hajó és az ostya szinkronban mozog, jelentősen csökkentve a rácshibák és a termikus stressz okozta zavarok kockázatát. Ez képes ellenállni a folyamatos működési hőmérsékleteknek akár 1600 Ez biztosítja az megismételhetőséget és a megbízhatóságot minden folyamatban, szilárd alapot biztosítva a tolerancia -szabályozáshoz a chipgyártásban.

• Tartós mechanikai szilárdság

Termékeink értéke nemcsak a kezdeti beruházásban, hanem a tulajdonjog hosszú távú költségeiben is rejlik. A hagyományos kvarc vagy grafit alkatrészekhez képest a Vetekchemon SIC ostyacsónakok kivételes kopási és ütésállóságot kínálnak. Nagy felületi keménységük ellenáll a karcolásnak és a törmeléknek a kezelés és a tisztítás során. Ez a keménység lehetővé teszi számukra, hogy könnyen ellenálljanak több mint 200 magas hőmérsékleti folyamatciklusnak és a szükséges tisztítási eljárásoknak, jelentősen csökkentve a beszerzési költségeket, a készletköltségeket és a berendezések leállását a gyakori alkatrészek cseréjéhez.

• Ökológiai lánc -ellenőrzés jóváhagyása

A Vetekchemon SIC ostyacsónak ökológiai lánc -ellenőrzése lefedi a termelés nyersanyagát, átadta a nemzetközi szabványos tanúsítást, és számos szabadalmaztatott technológiával rendelkezik, hogy biztosítsa megbízhatóságát és fenntarthatóságát a félvezető és az új energiapezeleken.

Ⅲ. Fő alkalmazásmezők

A részletes műszaki előírások, a fehér papírok vagy a mintavesztési megállapodásokhoz vegye fel a kapcsolatot a műszaki támogatási csoportunkkal, hogy megvizsgálja, hogy a Vetekchemon hogyan javíthatja a folyamat hatékonyságát.

Vetekemicon Products Warehouse