Termékek
Szilícium -karbid robotkar
  • Szilícium -karbid robotkarSzilícium -karbid robotkar
  • Szilícium -karbid robotkarSzilícium -karbid robotkar

Szilícium -karbid robotkar

A szilícium-karbid (SIC) robotkarunkat nagy teljesítményű ostyakezeléshez terveztük fejlett félvezető gyártásban. A robotkar nagy tisztaságú szilícium-karbidból készült, kivételes ellenállást kínál a magas hőmérsékletekkel, a plazma korrózióval és a kémiai támadásokkal, biztosítva a megbízható működést az igényes tisztítószoba környezetben. Kivételes mechanikai szilárdsága és dimenziós stabilitása lehetővé teszi a pontos ostyakezelést, miközben minimalizálja a szennyeződés kockázatait, ideális választást jelent a MOCVD, az epitaxia, az ion implantáció és más kritikus ostyakezelő alkalmazások számára. Üdvözöljük kérdéseit.

A Vetekchechon szilícium-karbid-robotkarja egy csúcsminőségű, félvezető feldolgozási megoldás, amelyet kifejezetten durva ipari környezetre terveztek. A fejlett, nagy tisztaságú szilícium-karbid anyagtechnika felhasználásával kivételes stabilitást és tartósságot mutat magas hőmérsékleten, korrozív környezetben és rendkívül magas vákuum körülményekben. A ostyakezelés, a maratás és a lerakódási folyamatok kulcsfontosságú elemeként robotkarunk jelentősen javítja a termelékenységet és csökkenti a karbantartási költségeket.


Ⅰ. Műszaki paraméterek


Projekt
Paraméter
Anyag
Nagy tisztaságú sic
Felszíni keménység
2800-3200 HV
Terhelési kapacitás
3kg/5 kg/10 kg (különféle specifikációk rendelkezésre állnak)
Hővezető képesség
Hővezető képesség
Ellenállás
10^3-10^5 Ω; CM
Alkalmazható környezet
Magas hőmérséklet, plazma, maró gáz, rendkívül magas vákuum
Ismételje meg a helymeghatározási pontosságot
± 0,02 mm

Ⅱ. Vetekemicon szilícium karbid robot kar alapvető előnyei


1. Szélsőséges környezeti tolerancia

Robotkarunk egyedülállóan megfogalmazott SIC bevonatot használ, amely több magas hőmérsékletű lerakódási folyamaton megy keresztül, lehetővé téve a szerkezeti integritás fenntartását 1500 ° C tartós hőmérsékleten, és hatékonyan ellenáll a korróziónak a plazma bombázása és az erős sav- és lúgos környezet miatt. Ez alapvetően a hagyományos anyagok fájdalompontjaival foglalkozik, amelyek hajlamosak az öregedésre, és rövid élettartammal bírnak szélsőséges munkakörülmények mellett.


2. Kiváló mechanikai tulajdonságok

A grafit szubsztrát és a SIC bevonat kompozit szerkezetének elfogadásával elértük a fém anyagok által messze túllépő merevséget, miközben biztosítjuk, hogy a kar rendkívül könnyű legyen. Ez a kialakítás biztosítja, hogy a robotkar deformációja rendkívül kicsi legyen a nagysebességű viszonzó mozgás során, hatékonyan elnyomja a zaklatást, ezáltal határozottan szabályozva az ismételt pozicionálási pontosságot ± 0,02 mm-en belül, biztosítva a precíziós ostyák biztonságos átvitelét.


3. Rendkívül magas tisztaság

Megértjük, hogy a részecskék szennyeződése az első számú hozamgyilkos. Ezért minden robotkar precíziós polírozáson és speciális felületkezelésen megy keresztül, ami 0,1 μm -nél kisebb felületi durva RA -t eredményez. A bevonat biztonságosan tapad, megakadályozva a hámozás kockázatát. Termékeink 100% -ban tisztasággal teszteltek, teljes mértékben megfelelnek az ultra-magas tiszta szoba követelményeknek, és készen állnak a legmodernebb gyártósorokban való használatra.


4. Hosszú élettartam

A SIC 3000 HV -os keménységének és a kiváló kopásállóságnak köszönhetően a robotfegyvereinknek minimális teljesítmény -lebomlást tapasztalnak még több tízezer mozgási ciklus után. Szolgáltatási élettartamuk többszöröse a szokásos kerámia vagy alumíniumötvözet-alkatrészek élettartamát, jelentősen csökkentve a csere és a karbantartás leállási idejét, és ügyfeleink számára jelentős általános költséghatékonyságot biztosít.


Ⅲ. Fő alkalmazásmezők


Jelentkezési irány
Tipikus forgatókönyv
Semiconductor gyártás
Ostyakezelés, átadás és helymeghatározás
LED -produkció
MOCVD reakció kamra komponensek
Fotovoltaikus ipar
PECVD, diffúziós folyamat
Űrrepülés
Automatizált feldolgozás magas hőmérsékletű vizsgálati környezetben

A Vetekchemon Silicon Carbide Robot Arm 'ökológiai lánc -ellenőrzése lefedi a termelés nyersanyagát, átadta a nemzetközi szabványos tanúsítást, és számos szabadalmaztatott technológiával rendelkezik annak biztosítására, hogy megbízhatósága és fenntarthatósága a félvezető és az új energiamezőkön. Üdvözöljük, hogy bármikor konzultáljon velünk.


Veteksemicon products shop

Hot Tags: Szilícium -karbid robotkar
Kérdés küldése
Elérhetőségei
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
X
Cookie-kat használunk, hogy jobb böngészési élményt kínáljunk, elemezzük a webhely forgalmát és személyre szabjuk a tartalmat. Az oldal használatával Ön elfogadja a cookie-k használatát.Adatvédelmi szabályzat