Termékek
Szilícium -karbid robotkar
  • Szilícium -karbid robotkarSzilícium -karbid robotkar
  • Szilícium -karbid robotkarSzilícium -karbid robotkar

Szilícium -karbid robotkar

A szilícium-karbid (SIC) robotkarunkat nagy teljesítményű ostyakezeléshez terveztük fejlett félvezető gyártásban. A robotkar nagy tisztaságú szilícium-karbidból készült, kivételes ellenállást kínál a magas hőmérsékletekkel, a plazma korrózióval és a kémiai támadásokkal, biztosítva a megbízható működést az igényes tisztítószoba környezetben. Kivételes mechanikai szilárdsága és dimenziós stabilitása lehetővé teszi a pontos ostyakezelést, miközben minimalizálja a szennyeződés kockázatait, ideális választást jelent a MOCVD, az epitaxia, az ion implantáció és más kritikus ostyakezelő alkalmazások számára. Üdvözöljük kérdéseit.

A Vetekchechon szilícium-karbid-robotkarja egy csúcsminőségű, félvezető feldolgozási megoldás, amelyet kifejezetten durva ipari környezetre terveztek. A fejlett, nagy tisztaságú szilícium-karbid anyagtechnika felhasználásával kivételes stabilitást és tartósságot mutat magas hőmérsékleten, korrozív környezetben és rendkívül magas vákuum körülményekben. A ostyakezelés, a maratás és a lerakódási folyamatok kulcsfontosságú elemeként robotkarunk jelentősen javítja a termelékenységet és csökkenti a karbantartási költségeket.


Ⅰ. Műszaki paraméterek


Projekt
Paraméter
Anyag
Nagy tisztaságú sic
Felszíni keménység
2800-3200 HV
Terhelési kapacitás
3kg/5 kg/10 kg (különféle specifikációk rendelkezésre állnak)
Hővezető képesség
Hővezető képesség
Ellenállás
10^3-10^5 Ω; CM
Alkalmazható környezet
Magas hőmérséklet, plazma, maró gáz, rendkívül magas vákuum
Ismételje meg a helymeghatározási pontosságot
± 0,02 mm

Ⅱ. Vetekemicon szilícium karbid robot kar alapvető előnyei


1. Szélsőséges környezeti tolerancia

Robotkarunk egyedülállóan megfogalmazott SIC bevonatot használ, amely több magas hőmérsékletű lerakódási folyamaton megy keresztül, lehetővé téve a szerkezeti integritás fenntartását 1500 ° C tartós hőmérsékleten, és hatékonyan ellenáll a korróziónak a plazma bombázása és az erős sav- és lúgos környezet miatt. Ez alapvetően a hagyományos anyagok fájdalompontjaival foglalkozik, amelyek hajlamosak az öregedésre, és rövid élettartammal bírnak szélsőséges munkakörülmények mellett.


2. Kiváló mechanikai tulajdonságok

A grafit szubsztrát és a SIC bevonat kompozit szerkezetének elfogadásával elértük a fém anyagok által messze túllépő merevséget, miközben biztosítjuk, hogy a kar rendkívül könnyű legyen. Ez a kialakítás biztosítja, hogy a robotkar deformációja rendkívül kicsi legyen a nagysebességű viszonzó mozgás során, hatékonyan elnyomja a zaklatást, ezáltal határozottan szabályozva az ismételt pozicionálási pontosságot ± 0,02 mm-en belül, biztosítva a precíziós ostyák biztonságos átvitelét.


3. Rendkívül magas tisztaság

Megértjük, hogy a részecskék szennyeződése az első számú hozamgyilkos. Ezért minden robotkar precíziós polírozáson és speciális felületkezelésen megy keresztül, ami 0,1 μm -nél kisebb felületi durva RA -t eredményez. A bevonat biztonságosan tapad, megakadályozva a hámozás kockázatát. Termékeink 100% -ban tisztasággal teszteltek, teljes mértékben megfelelnek az ultra-magas tiszta szoba követelményeknek, és készen állnak a legmodernebb gyártósorokban való használatra.


4. Hosszú élettartam

A SIC 3000 HV -os keménységének és a kiváló kopásállóságnak köszönhetően a robotfegyvereinknek minimális teljesítmény -lebomlást tapasztalnak még több tízezer mozgási ciklus után. Szolgáltatási élettartamuk többszöröse a szokásos kerámia vagy alumíniumötvözet-alkatrészek élettartamát, jelentősen csökkentve a csere és a karbantartás leállási idejét, és ügyfeleink számára jelentős általános költséghatékonyságot biztosít.


Ⅲ. Fő alkalmazásmezők


Jelentkezési irány
Tipikus forgatókönyv
Semiconductor gyártás
Ostyakezelés, átadás és helymeghatározás
LED -produkció
MOCVD reakció kamra komponensek
Fotovoltaikus ipar
PECVD, diffúziós folyamat
Űrrepülés
Automatizált feldolgozás magas hőmérsékletű vizsgálati környezetben

A Vetekchemon Silicon Carbide Robot Arm 'ökológiai lánc -ellenőrzése lefedi a termelés nyersanyagát, átadta a nemzetközi szabványos tanúsítást, és számos szabadalmaztatott technológiával rendelkezik annak biztosítására, hogy megbízhatósága és fenntarthatósága a félvezető és az új energiamezőkön. Üdvözöljük, hogy bármikor konzultáljon velünk.


Veteksemicon products shop

Hot Tags: Szilícium -karbid robotkar
Kérdés küldése
Elérhetőségei
Ha kérdése van a szilícium-karbid bevonattal, a tantál-karbid bevonattal, a speciális grafittal vagy az árlistával kapcsolatban, kérjük, hagyja nekünk e-mail-címét, és 24 órán belül felvesszük Önnel a kapcsolatot.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept