Mi az egy elektrosztatikus chuck (ESC)?

Az elektrosztatikus chuck (ESC), más néven az elektrosztatikus chuck (ESC, e-chuck), egy olyan lámpatest, amely az elektrosztatikus adszorpció elvét használja az adszorbeált anyag tartására és rögzítésére. Vákuum- és plazmakörnyezethez alkalmas. Fő funkciója az ultra-Tisztítsa meg a vékony lemezeket (például a szilícium ostyákat), és tartsa az adszorbeált anyagot jó síkban, ami gátolhatja az adszorbeált anyag deformációját a folyamat során, és beállíthatja az adszorbát hőmérsékletét.

Az elektrosztatikus chuck (ESC) egy speciális típusú Chuck, amely elektrosztatikus erőt használ a tárgyak (munkadarabok) tartásához, megnyomásához és felvételéhez. Bármely anyag pozitív és negatív töltéseket hordoz, amelyek szabad szemmel láthatatlanok. Amikor az anyagot az ESC -re helyezik, és bipoláris feszültséget alkalmaznak az ESC belső elektródjaira, a pozitív és a negatív töltések az anyagon belül mozognak, hogy megfeleljenek az ESC belső elektródjainak polaritásának. Ezt az ESC és az anyag közötti vonzerőt elektrosztatikus erőnek nevezzük, és ez szintén az alapelv a chucks mögött.

Termék előnyei

Széles működési hőmérsékleti tartománya van (-50–700 ℃)

Ezeknek az elektrosztatikus szívócsészéknek kiváló szilárdsága, hővezetőképessége és hőhatás -ellenállásuk van, és az NGK védett kerámia térfogat -ellenállásának szabályozásán keresztül széles hőmérsékleti tartományhoz tudnak alkalmazkodni.

Magas korrózióállóság

Ezek az elektrosztatikus szívócsészék kiváló korrózióállósággal rendelkeznek a halogéngázokkal szemben.

Alacsony részecske-feldolgozás

Az alacsony részecskék kezelése felületkezelés és speciális tisztítás révén érhető el

Nagy tisztaság

A 99,9% vagy annál magasabb tisztaságú termékek szintén rendelkezésre állnak.

Fűtési funkció

A nagy pontosságú fűtési elem beágyazási technológiája integrálható a fűtőkészülék funkciójával, és a ostya hőmérséklete ± 1%-on belül szabályozható.

Hűtési funkció

Ezeknek az elektrosztatikus szívócsészéknek rendkívül magas hűtési teljesítménye van, ha nagy hővezetőképességgel és hűtési lemezekkel köti be a kerámia lemezeket.

Rádiófrekvenciás elektród

A ömlesztett fém elektródák egyidejűleg stabil ostya -szorítást és a rádiófrekvenciás plazma generálását biztosíthatják.

Parmoter

1.A félvezető és az elektronikus gyártás területén: A félvezető és az elektronikus gyártási folyamatok során az elektrosztatikus szívócsészéket használják a vékony és törékeny szilícium ostyák, ostyák stb. Fixálására és kezelésére. Az előnyei erős adszorpciós erőben, nincs mechanikai feszültségben és egyszerű működésben, amelyek hatékonyan javítják a termelési hatékonyságot és a termék minőségét.

2. üveg- és kerámiaipar: Az üveg és a kerámia vágásának, őrlésének és kezelésének folyamatainak során az elektrosztatikus szívócsészék törékeny anyagokon nem roncsoló műveleteket végezhetnek, csökkentve a termék törési sebességét.

3. precíziós gépek és optikai alkatrészek gyártása: A precíziós gépek és optikai alkatrészek esetében az elektrosztatikus szívócsészék stabil adszorpciós erőt biztosíthatnak, megakadályozva a deformációt vagy a karcolást a feldolgozás során.

4. Automatizált gyártósorok: Az automatizált gyártósorokban az elektrosztatikus szívócsészéket széles körben használják az alkatrészek stb. Helyzetbe, kezelésére és összeszerelésére, javítva a gyártósor automatizálását és hatékonyságát.