MOCVD epitaxiális ostya biztosítja

A moCVD epitaxiális ostya-érzékeny egy nagyteljesítményű epitaxiális ostya-érzékeny, amelyet MOCVD (fém-szerves kémiai gőzlerakódás) berendezésekhez terveztek. A Susceptor SGL grafit anyagból készül, és szilícium -karbid bevonattal borítva, amely ötvözi a grafit nagy hővezetőképességét a SIC kiváló magas hőmérséklete és korrózióállóságával, és alkalmas a magas hőmérsékletű, magas nyomású és korrozív gáz durva munkakörnyezetére az epitaxiális növekedés során.

Az SGL grafit anyag kiváló hővezető képességgel rendelkezik, ami biztosítja, hogy az epitaxiális ostya hőmérséklete egyenletesen oszlik meg a növekedési folyamat során, és javítja az epitaxiális réteg minőségét. A bevont SIC bevonat lehetővé teszi a Susceptor számára, hogy ellenálljon a több mint 1600 ℃ magas hőmérsékleten, és alkalmazkodjon a MOCVD -folyamat szélsőséges termikus környezetéhez. Ezenkívül a SIC bevonat hatékonyan ellenáll a magas hőmérsékletű reakciógázoknak és a kémiai korróziónak, meghosszabbítja a Susceptor élettartamát és csökkenti a szennyezést.

A Veteksemi MOCVD epitaxiális ostya -érzékenysége felhasználható a MOCVD berendezések beszállítóinak, például az AIXTRON kiegészítőinek helyettesítésére.

● Méret: Az ügyfelek igényeinek megfelelően testreszabható (szabványos méret áll rendelkezésre).

● Hitelkapacitás.

● Felszíni kezelés: SIC bevonat, korrózióállóság, oxidációs rezisztencia.

● Félvezető ipar: Az epitaxiális ostyák, például LED -ek, lézerdiódák és teljesítményű félvezetők növekedéséhez használják.

● Optoelektronikai ipar: Támogatja a kiváló minőségű optoelektronikus eszközök epitaxiális növekedését.

● csúcsminőségű anyagkutatás és fejlesztés: Új félvezetők és optoelektronikus anyagok epitaxiális előkészítésére alkalmazva.

Az ügyfél MOCVD berendezésének típusaitól és termelési igényeitől függően a Vetek Semiconductor testreszabott szolgáltatásokat nyújt, ideértve a Susceptor méretét, anyagát, felületkezelését stb.

CVD SIC film kristályszerkezet

A CVD SIC bevonat alapvető fizikai tulajdonságai

VeTek Semiconductor MOCVD epitaxiális ostya -érzelmi üzletek