GaN epitaxiális grafitreceptor a G5-höz

A Vetek Semiconductor egy professzionális kínai GaN epitaxiális grafit -érzékeny a G5 gyártó és a szállító számára. A G5-es epitaxiális grafitszövetség egy kritikus komponens, amelyet az Aixtron G5 fém-szerves kémiai gőzlerakódás (MOCVD) rendszerben használnak a kiváló minőségű gallium-nitrid (GAN) vékony fóliák növekedéséhez, ez kritikus szerepet játszik az egységes hőmérséklet biztosítása során Eloszlás, hatékony hőátadás és minimális szennyeződés a növekedési folyamat során.

A vetek félvezető GaN epitaxiális grafit -érzékeny kulcsfontosságú jellemzői a G5 -hez:

-Nagy tisztaság: A szuszceptor nagy tisztaságú grafitból készül, CVD bevonattal, minimálisra csökkentve a növekvő GaN filmek szennyeződését.

-Kiváló hővezető képesség: A grafit magas hővezető képessége (150-300 W/(m·K)) egyenletes hőmérsékleteloszlást biztosít a szuszceptorban, ami egyenletes GaN filmnövekedést eredményez.

-Low hőtágulása: A Susceptor alacsony termikus tágulási együtthatója minimalizálja a termikus feszültséget és a repedést a magas hőmérsékleti növekedési folyamat során.

-Kémiai közömbösség: A grafit kémiailag inert, és nem lép reakcióba a GaN prekurzorokkal, megakadályozva a nem kívánt szennyeződéseket a kinőtt filmekben.

-Kompatibilitás az AIXTRON G5 -mel: A Susceptor -ot kifejezetten az AIXTRON G5 MOCVD rendszerben való felhasználásra tervezték, biztosítva a megfelelő illeszkedést és a funkcionalitást.

Alkalmazások:

Nagy fényerejű LED-ek: A GaN-alapú LED-ek nagy hatékonyságot és hosszú élettartamot kínálnak, így ideálisak általános világításhoz, autóvilágításhoz és kijelző alkalmazásokhoz.

Nagy teljesítményű tranzisztorok: A GaN tranzisztorok kiváló teljesítményt nyújtanak a teljesítménysűrűség, a hatékonyság és a kapcsolási sebesség tekintetében, így alkalmasak teljesítményelektronikai alkalmazásokhoz.

Lézeres diódák: A GaN-alapú lézerdiódok nagy hatékonyságot és rövid hullámhosszokat kínálnak, így ideálisak az optikai tárolási és kommunikációs alkalmazásokhoz.

A G5 epitaxiális grafitszövet termékparamétere a G5 -hez

Megjegyzés: Bevonás előtt az első tisztítást, a bevonat után a második tisztítást végezzük.

VeTek Semiconductor Production Shop：