Magas hőmérsékleti ellenállásával, kémiai tehetetlenségével és kiváló teljesítményével a Vetek Semiconductor TAC bevonatú chuck -okat félvezető kemencékhez tervezték. Hisszük, hogy termékeink fejlett technológiát és minőségi termékmegoldásokat hozhatnak Önnek.
A Vetek Semiconductor egy professzionális vezető, Kína TAC bevonatú chuck, TAC bevonatú cső, TAC bevonatú tartó, TAC bevonatú grafit tálca gyártója, kiváló minőségű és elfogadható áron. Üdvözöljük, hogy vegye fel velünk a kapcsolatot.
A Vetek Semiconductor TAC bevonatú chucks a félvezető gyártásban a nagy teljesítményű alkatrészek szerves részét képezi. A következő kulcsjellemzőktől függ:
● Magas vákuum integritás: A TAC bevonatú Chuck a teljes feldolgozási ciklus során magas szintű vákuum integritást tart fenn, hatékonyan csökkentve a kimeneti és szennyeződést, biztosítva a félvezető anyagok tisztaságát és minőségét.
● Magas hőmérséklet és kémiai ellenállás: A TAC bevonat rendkívül termikusan és kémiailag rezisztens, 2200 ° C -ig terjedő hőmérsékleten képes, és ellenáll a korrozív gázok, például a hidrogén, az ammónia és a szilíciumgőzök ellen.
● Hosszabb felszerelés élettartama: A kopás és a hőkancia kiemelkedő ellenállása miatt a TAC bevonatú Chuck jelentősen meghosszabbíthatja a berendezések élettartamát és csökkentheti a karbantartás szükségességét.
● Javított termelési hatékonyság: A szennyeződés csökkentésével és az anyagi tisztaság javításával a TAC bevonatú Chuck elősegíti a termelés hatékonyságát és a termék minőségét, és csökkenti a termelési költségeket.
Ezenkívül a TAC bevonó Chuck kiváló sokoldalúsággal rendelkezik, és képesek a félvezető szubsztrát méretének és geometriájának széles skálájának befogadására. Testreszabható kialakítása lehetővé teszi a TAC-bevonattal ellátott Chucks zökkenőmentesen integrálását a meglévő félvezető kemence rendszerekbe, jelentősen csökkentve az állásidőt és maximalizálva a termelékenységet. Ez a rugalmasság nem csak javítja a berendezések kompatibilitását, hanem biztosítja a termelési folyamat folytonosságát és hatékonyságát is, a félvezető gyártók számára megbízható és hatékony megoldásokat is biztosítva.
A Vetek Semiconductor TAC bevonó chucks teljesítmény- és alkalmazkodóképességének előnyei miatt a félvezető gyártásban nélkülözhetetlen és kritikus alkotóeleme.
A TAC bevonatú chuck termékparamétere:
A TAC bevonat fizikai tulajdonságai
TAC bevonat sűrűsége
14.3 (g/cm³)
Specifikus emisszióképesség
0.3
Hőtágulási együttható
6.3*10-6/K
TAC bevonat keménység (HK)
2000 HK
Ellenállás
1 × 10-5Ohm*cm
Hőstabilitás
<2500 ℃
Grafit méretű változások
-10 ~ -20um
Bevonat vastagsága
≥20um tipikus érték (35um ± 10um)
Gyártóüzletek:
A félvezető chip -epitaxia ipari láncának áttekintése:
For inquiries about Silicon Carbide Coating, Tantalum Carbide Coating, Special Graphite or price list, please leave your email to us and we will be in touch within 24 hours.
Cookie-kat használunk, hogy jobb böngészési élményt kínáljunk, elemezzük a webhely forgalmát és személyre szabjuk a tartalmat. Az oldal használatával Ön elfogadja a cookie-k használatát. Adatvédelmi szabályzat