Tömör szilícium-karbid

A VeTek Semiconductor Solid Silicon Carbide fontos kerámiakomponens a plazmamarató berendezésekben, a szilárd szilícium-karbid (CVD szilícium-karbid) a maratóberendezés alkatrészei tartalmazzákfókuszáló gyűrűk, gázzuhanyfej, tálca, élgyűrűk stb. A szilárd szilícium-karbid (CVD szilícium-karbid) alacsony reakciókészsége és vezetőképessége klór- és fluortartalmú maratógázokkal szemben ideális anyag plazmamaratási berendezések fókuszgyűrűihez és egyéb alkatrészek.

Például a fókuszgyűrű fontos rész, amely az ostyán kívül van elhelyezve, és közvetlenül érintkezik az ostyával, mivel feszültséget ad a gyűrűre a gyűrűn áthaladó plazma fókuszálásához, ezáltal a plazmát az ostyára fókuszálja, hogy javítsa az ostya egyenletességét. feldolgozás. A hagyományos fókuszgyűrű szilikonból, illkvarc, vezetőképes szilícium, mint gyakori fókuszgyűrűs anyag, közel a szilícium lapkák vezetőképességéhez, de hiánya gyenge maratási ellenállás a fluortartalmú plazmában, maratási gépalkatrészek anyagában gyakran használt egy ideig, komoly lesz korróziós jelenség, amely jelentősen csökkenti a termelés hatékonyságát.

Svoltak SiC Focus RingMűködési elv：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

Az Si alapú fókuszáló gyűrű és a CVD SiC fókuszgyűrű összehasonlítása:

Az Si-alapú fókuszgyűrű és a CVD SiC fókuszáló gyűrű összehasonlítása
Tétel	És	CVD SiC
Sűrűség (g/cm³)	2.33	3.21
Sávköz (eV)	1.12	2.3
Hővezetőképesség (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
Rugalmassági modulus (GPa)	150	440
Keménység (GPa)	11.4	24.5
Kopás- és korrózióállóság	Szegény	Kiváló

A VeTek Semiconductor fejlett szilárd szilícium-karbid (CVD szilícium-karbid) alkatrészeket kínál, például SiC fókuszáló gyűrűket a félvezető berendezésekhez. Szilárd szilícium-karbid fókuszáló gyűrűink felülmúlják a hagyományos szilíciumot mechanikai szilárdság, vegyszerállóság, hővezető képesség, magas hőmérsékleti tartósság és ionmaratással szembeni ellenállás tekintetében.

ÉsC fókuszáló gyűrűink fő jellemzői a következők::

Nagy sűrűség a csökkentett marási sebességért.

Kiváló szigetelés nagy sávszélességgel.

Magas hővezető képesség és alacsony hőtágulási együttható.

Kiváló mechanikai ütésállóság és rugalmasság.

Magas keménység, kopásállóság és korrózióállóság.

felhasználásával gyártvaplazmával javított kémiai gőzleválasztás (PECVD)ÉsC fókuszáló gyűrűink megfelelnek a félvezetőgyártás maratási folyamatainak növekvő igényeinek. Úgy tervezték, hogy ellenálljanak a nagyobb plazmateljesítménynek és -energiának, különösen a belső térbenkapacitív csatolású plazma (CCP)rendszerek.

A VeTek Semiconductor SiC fókuszáló gyűrűi kivételes teljesítményt és megbízhatóságot biztosítanak a félvezető eszközök gyártásában. Válassza SiC alkatrészeinket a kiváló minőség és hatékonyság érdekében.

View as

CVD SIC blokk a SIC kristálynövekedéshez

A CVD SIC blokk a SIC kristálynövekedéshez, egy új, nagy tisztaságú nyersanyag, amelyet a Vetek Semiconductor fejlesztett ki. Magas bemeneti-kimeneti aránya van, és magas színvonalú, nagy méretű szilícium-karbid-egykristályokat is képes növelni, amely egy második generációs anyag, amely a mai piacon használt port helyettesíti. Üdvözöljük a műszaki kérdések megvitatásában.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

SIC kristálynövekedés új technológia

A Vetek Semiconductor rendkívül magas tisztaságú szilícium-karbid (SIC) kémiai gőzlerakódással (CVD) képződött, hogy forrásanyagként használják a szilícium-karbid kristályok termesztésére a fizikai gőz szállítással (PVT). A SIC kristálynövekedés új technológiájában a forrásanyag egy tégelybe van töltve, és szublimálódik egy vetőmagkristályra. Használja a magas tisztaságú CVD-SIC blokkokat, hogy forrásként szolgáljon a SIC kristályok termesztéséhez. Üdvözöljük, hogy partnerséget hozzunk létre velünk.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

CVD SIC zuhanyfej

A Vetek Semiconductor egy vezető CVD SIC zuhanyfej gyártója és újítója Kínában. Sok éven át a SIC anyagra szakosodott. Bízunk benne, hogy Kínában hosszú távú partnerré válhat.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Sic zuhanyfej

A Vetek Semiconductor egy vezető SIC zuhanyfej gyártója és újítója Kínában. Sok éven át a SIC anyagra szakosodott.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Szilárd SiC gáz zuhanyfej

A szilárd SIC gázzuhany fej nagy szerepet játszik a gáz egyenletessé a CVD -folyamatban, ezáltal biztosítva a szubsztrát egyenletes fűtését. A Vetek Semiconductor évek óta mélyen részt vesz a szilárd SIC eszközök területén, és képes az ügyfelek számára testreszabott szilárd SIC gázzuhany fejeket biztosítani. Nem számít, milyen követelményei vannak, várjuk a kérdését.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Kémiai gőzlerakódás folyamat szilárd sic szélgyűrű

A Vetek Semiconductor mindig is elkötelezte magát a fejlett félvezető anyagok kutatása és fejlesztése és gyártása iránt. Manapság a Vetek Semiconductor nagy előrelépést ért el a kémiai gőzlerakódási folyamatban, a szilárd SIC Edge gyűrűs termékek, és képesek biztosítani az ügyfelek számára, hogy nagyon testreszabott szilárd SIC Edge gyűrűt biztosítsanak. A szilárd SIC -gyűrűk jobb maratási egységességet és pontos ostya pozicionálást biztosítanak, ha elektrosztatikus Chuck -szal használják, biztosítva a következetes és megbízható maratási eredményeket. Várakozással tekint a kérdésedre, és egymás hosszú távú partnerévé válhat.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Professzionális Tömör szilícium-karbid gyártóként és beszállítóként Kínában van saját gyárunk. Függetlenül attól, hogy testreszabott szolgáltatásokra van szüksége a régió konkrét igényeinek kielégítéséhez, vagy a Kínában gyártott fejlett és tartós Tömör szilícium-karbid -et szeretne vásárolni, üzenetet hagyhat nekünk.

QR-kód

Rólunk

Termékek

Lépjen kapcsolatba velünk

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
Email
anny@veteksemi.com
Cím
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi megye, Jinhua City, Zhejiang tartomány, Kína

Web menü

Termékkeresés

Nyelv

Kilépés a menüből

Tömör szilícium-karbid

ÉsC fókuszáló gyűrűink fő jellemzői a következők::

CVD SIC blokk a SIC kristálynövekedéshez

SIC kristálynövekedés új technológia

CVD SIC zuhanyfej

Sic zuhanyfej

Szilárd SiC gáz zuhanyfej

Kémiai gőzlerakódás folyamat szilárd sic szélgyűrű

Kérdés küldése

QR-kód

Rólunk

Termékek

Lépjen kapcsolatba velünk

Telefon

Fax

Email

Cím