Sic szélgyűrű

A félvezető gyártás területén a SIC Edge gyűrűk, mint az ostyafeldolgozó berendezések alapvető alkotóelemei, forradalmasítják az ipari tájat anyagi tulajdonságaikkal. A szilícium-karbid-egykristályokból készült precíziós komponens értéke nemcsak a csúcstechnológiájú tartalomban rejlik, hanem a hozam jelentős javulásában és a működési költségek optimalizálásában is, amelyeket a chipgyártók számára okozhat.

Sic szélgyűrű szerkezeti jellemzők

A szilícium-karbid élgyűrűk kulcsfontosságú fogyóeszközök a félvezető maratóberendezésekben, és nagy tisztességes szilícium-karbid anyagokból készülnek, amelyeket a kémiai gőzlerakódás (CVD) módszerrel készítenek. A gyűrűs szerkezet átmérője általában 200-450 mm, és a vastagságot 5-15 mm-en belül szabályozzák, a következő jellemzőkkel:

1. Extreme Tolerancia: Ellenőrizheti az 1500 ℃ magas hőmérsékleti környezetét

2. Plazma stabilitása: dielektromos állandó 9.7, bontási feszültség 3mV/cm

3. Geometriai pontosság: kerekségi hiba ≤0,05 mm, felületi érdesség Ra <0,2 μm

Áttörés a gyártási folyamatban

A modern előkészítési folyamat háromlépcsős módszert alkalmaz:

1. Mátrix kialakítása: Az izosztatikus préselés biztosítja az egységes sűrűségt

2. Magas hőmérsékletű szinterelés: sűrűség-kezelés inert légkörben 2100 ℃

3. Felület módosítása: A nanoméretű védőrétegek reaktív ionmaratáson (RIE) képződnek. A legfrissebb kutatások azt mutatják, hogy a szilícium -karbid szélgyűrűk élettartama 3% bórral adományozva 40% -kal növekszik, és az ostya szennyeződési sebessége 0,01ppm szintre csökken.

Alkalmazási forgatókönyvek

Az 5nm alatti folyamatokban pótolhatatlanságot mutat:

2. Rézkarizási egységesség: A maratási sebesség ± 1,5% -os maratási sebességét képes fenntartani a ostya szélén

3. Szennyezésellenőrzés: A fémszennyezést 92% -kal csökkenti a hagyományos kvarc anyagokhoz képest

4. Karbantartási ciklus: 1500 órán keresztül folyamatosan működhet CF4/O2 plazmában

A Vetekchemon áttörést ért el a SIC Edge gyűrűk hazai előállításában, amely sok költségköltséget takaríthat meg. Üdvözöljük, hogy bármikor vegye fel velünk a kapcsolatot!