Alumínium-nitrid (AlN) kerámia elektrosztatikus tokmány

1.Előnyök

• Nagy tisztaságú AlN kerámia akár ~180 W/m·K hővezető képességgel a hatékony hőátadás és a hőmérséklet egyenletesség érdekében

• Erős elektromos szigetelés és nagy térfogatú ellenállás, amely támogatja a stabil rögzítést 1-3 kV-on (nagyobb feszültség elérhető)

• Egyedi dielektromos réteg anyagok és elektródaelrendezések: Coulomb vagy Johnsen–Rahbek (JR); egy- vagy többzónás

• Gyors be- és kioldási teljesítmény, jellemzően 0,1 másodperc alatt

• A felületi mikrostruktúrák ~300 μm átmérőig bemélyednek, így az érintkezési felület akár ~1%-ra csökken

• Magas síkossági képesség; tipikus globális síkság 0,5-3 μm PV nagyságrendű 300 mm-es osztályú platformokon

• Sűrű mikrostruktúra közel nulla vízfelvétellel és jó vegyszerállósággal a folyamatkörnyezetekben

2.Tipikus alkalmazások

Alumínium-nitrid kerámia elektrosztatikus tokmányokat olyan folyamatlépésekben használnak, amelyek megkövetelik a lapka biztonságos tartását és szabályozott hőkezelését:

• Száraz plazmamarás (ICP / RIE) és a kapcsolódó kamrás eljárások

• CVD, PEALD, termikus ALD és egyéb vékonyréteg-leválasztási szakaszok

• Egyenletes szelethőmérsékletet igénylő izzító és termikus folyamatmodulok

• Ellenőrzési, metrológiai és precíziós szakaszok, ahol az alacsony részecskeszint és a stabil rögzítés kritikus

3.AlN anyagminőségek – tipikus tulajdonságok

A VeTek többféle alumínium-nitrid minőséget kínál a hővezető képesség, a mechanikai szilárdság és az ESC-tervek költségeinek egyensúlyba hozása érdekében:

Mértékegységek: Hővezetőképesség W/(m·K); dielektromos szilárdság kV/mm-ben; térfogat-ellenállás Ω·cm-ben (25 °C); dielektromos állandó 1 MHz-en. Az értékek tipikusak, és a folyamattól és az alkatrész geometriától függően változhatnak.

4.Tipikus ESC tervezési paraméterek

5.Miért Choo?se VeTek AlN elektrosztatikus tokmányok?

A VeTek Semiconductor integrálja a fejlett AlN kerámiákat a precíziós ESC-gyártással olyan félvezető ügyfelek számára, akiknek hőteljesítményre és megbízható rögzítésre van szükségük:

• Több AlN minőség ~90 és ~180 W/m·K közötti hővezető képességgel, hogy megfeleljen a technológiai hőköltségvetésnek

• Rugalmas elektróda és dielektromos kialakítás a Coulomb vagy JR befogási viselkedéshez

• A síkság, a felületi mikrostruktúra és az elektromos szigetelési teljesítmény szigorú ellenőrzése

• Teljes életciklus támogatás: tervezés, új építés és többszintű felújítás

Az egyenletes laphőmérséklettől és a tiszta, megismételhető befogástól függő maratáshoz, lerakáshoz és termikus szerszámokhoz a VeTek alumínium-nitrid kerámia elektrosztatikus tokmányok nagy teljesítményű kerámia platformot biztosítanak, amelyet az alkalmazás-központú mérnöki támogatás támogat.