TAC bevonó alkatrész

VeTek SemiconductorTAC bevonólemezegy speciális anyag, amelyet széles körben használnak afélvezetőgyártási folyamat. A TAC bevonólemez magas keménységével és kopásállóságával, magas hőmérsékleti ellenállásával, korrózióállóságával, alacsony súrlódási együtthatójával és jó hővezető képességével kombinálva a félvezető feldolgozás számos linkjében pótolhatatlan szerepet játszik.

Általában aTAC bevonatú lemezekA félvezető feldolgozása a következő:

● CVD/ALD növekedési szubsztrát: A magas hőmérséklet -ellenállás, a kémiai stabilitás és az alacsony súrlódási együttható a TAC bevonatú lemezek miatt ideális CVD/ALD növekedési szubsztrátokat. Stabil növekedési környezetet biztosíthat a film egységességének és sűrűségének biztosítása érdekében.

●  Marató maszklemez: A TAC bevonatú lemezek magas keménység- és korrózióállóságának lehetővé teszi számukra, hogy ellenálljanak a nagy energiájú folyamatoknak, például a plazma maratásként, mint marató maszklemezek, amelyek védik a mögöttes filmet.

●  CMP polírozó betét: A kopásállóság és a TAC bevonatú lemezek alacsony súrlódási együtthatója ideális anyagokat tesz a CMP polírozó párnákhoz, amelyek hatékonyan eltávolíthatják a részecskéket és hibákat a film felületén.

●  Magas hőmérsékletű kemencecső: A TAC bevonatú lemezek magas hőmérséklet -ellenállása és korrózióállósága lehetővé teszi őket, hogy kemencecsövekként használják magas hőmérsékletű kemencékben a magas hőmérsékletű lágyítás, a diffúzió és az egyéb folyamatok számára.

CVD TAC bevonat műszaki paraméterek：

Vetek Semiconductor TAC bevonat pótalkatrész termékek üzletek：