Tantál-karbid bevonat

A VeTek semiconductor a tantál-karbid bevonóanyagok vezető gyártója a félvezetőipar számára. Fő termékkínálatunkban megtalálhatók a CVD-tantál-karbid bevonat alkatrészek, a szinterezett TaC bevonat alkatrészek SiC kristálynövekedéshez vagy félvezető epitaxiás folyamathoz. Az ISO9001 tanúsítvánnyal rendelkező VeTek Semiconductor jól szabályozza a minőséget. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy újítóvá váljon a tantál-karbid bevonat iparban az iteratív technológiák folyamatos kutatása és fejlesztése révén.

A fő termékek aTaC bevonatú vezetőgyűrű, CVD TaC bevonatú háromszirom vezetőgyűrű, Tantál-karbid TaC bevonatú Halfmoon, CVD TaC bevonatú planetáris SiC epitaxiális szuszceptor, Tantál-karbid bevonógyűrű, Tantál-karbid bevonatú porózus grafit, TaC bevonat rotációs szuszceptor, Tantál-karbid gyűrű, TaC bevonat forgólap, TaC bevonatú ostya szuszceptor, TaC bevonatú terelőgyűrű, CVD TaC bevonat fedél, TaC bevonatú tokmánystb., a tisztaság 5 ppm alatt van, megfelel az ügyfelek igényeinek.

A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel való bevonásával állítják elő szabadalmaztatott vegyi gőzleválasztásos (CVD) eljárással. Az előny az alábbi képen látható:

Excellent properties of TaC coating graphite

A tantál-karbid (TaC) bevonat magas, akár 3880°C-ig terjedő olvadáspontja, kiváló mechanikai szilárdsága, keménysége és hősokkállósága miatt keltett figyelmet, így vonzó alternatívája a magasabb hőmérsékleti igényű összetett félvezető epitaxiás eljárásoknak. mint például az Aixtron MOCVD rendszer és az LPE SiC epitaxiás eljárás. Széles körben alkalmazható a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatában is.

Főbb jellemzők:

●Hőmérséklet stabilitás

●Ultra magas tisztaságú

●Ellenállás H2, NH3, SiH4,Si

●Hőanyaggal szembeni ellenállás

●Erős tapadás a grafithoz

●Konform bevonat lefedettség

● Méret akár 750 mm átmérőig (az egyetlen gyártó Kínában eléri ezt a méretet)

Alkalmazások:

●Ostyahordozó

● Induktív fűtési szuszceptor

● Ellenállásos fűtőelem

●Műholdas lemez

●Zuhanyfej

●Vezetőgyűrű

●LED Epi vevő

●Befecskendező fúvóka

●Maszkoló gyűrű

● Hővédő pajzs

Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

A VeTek Semiconductor tantál-karbid bevonat paramétere:

A TaC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség	14,3 (g/cm³)
Fajlagos emissziós tényező	0.3
Hőtágulási együttható	6,3 10^-6/K
Keménység (HK)	2000 HK
Ellenállás	1×10^-5Ohm*cm
Hőstabilitás	<2500 ℃
A grafit mérete megváltozik	-10-20um
Bevonat vastagsága	≥20um tipikus érték (35um±10um)

TaC bevonat EDX adatok：

EDX data of TaC coating

TaC bevonat kristályszerkezeti adatok:

Elem	Atom százalék
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Átlagos
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
A M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC bevonatú tokmány TaC Coating Planetary Disk
TaC bevonatú lemez TaC bevonat forgólap TaC bevonat vevő CVD TaC bevonat fedél CVD TaC bevonógyűrű TaC bevonólemez

View as

TAC bevonatvezető gyűrűk

Mint a TAC bevonó útmutatógyűrűk Kínában vezető gyártója, a Vetek Semiconductor TAC bevonatú vezetékgyűrűk fontos alkotóelemei a MOCVD berendezésekben, biztosítva a pontos és stabil gázszállítást az epitaxiális növekedés során, és nélkülözhetetlen anyagok a félvezető epitaxiális növekedésében. Üdvözöljük, hogy konzultáljon velünk.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Tantalum karbid bevont gyűrű

Professzionális újítóként és a tantalum karbid bevont gyűrűs termékek vezetőjeként Kínában a Vetek Semiconductor Tantalum karbid bevont gyűrűje pótolhatatlan szerepet játszik a SIC kristály növekedésében, kiváló hőmérsékleti ellenállásával, kopásállóságával és kiváló hővezető képességével. Üdvözöljük további konzultációját.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Porózus tantalum karbid

A Vetek Semiconductor a kínai porózus tantalum karbid termékek profi gyártója és vezetője. A porózus tantalum karbidot általában kémiai gőzlerakódás (CVD) módszerrel állítják elő, biztosítva a pórusméret és eloszlás pontos ellenőrzését, és egy olyan anyagi eszköz, amely a magas hőmérsékletű szélsőséges környezetekhez kapcsolódik. Üdvözöljük további konzultációját.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

TAC bevonó vezető gyűrű

A VeTek Semiconductor TaC bevonatvezető gyűrűjét úgy hozták létre, hogy tantál-karbid bevonatot visznek fel a grafit alkatrészekre a kémiai gőzleválasztásnak (CVD) nevezett rendkívül fejlett technikával. Ez a módszer jól bevált, és kivételes bevonási tulajdonságokat kínál. A TaC Coating Guide Ring használatával a grafit alkatrészek élettartama jelentősen meghosszabbítható, a grafitszennyeződések mozgása elnyomható, a SiC és AIN egykristály minősége pedig megbízhatóan fenntartható. Üdvözöljük, hogy érdeklődjön tőlünk.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Tantalum karbidgyűrű

A Tantalum Carbide gyűrűs termékek fejlett gyártójaként és gyártóként Kínában a Vetek Semiconductor Tantalum karbidgyűrű rendkívül nagy keménységgel, kopásállósággal, magas hőmérsékletű ellenállással és kémiai stabilitással rendelkezik, és széles körben használják a félvezető gyártási területén. Különösen a CVD, a PVD, az ionimplantációs folyamat, a maratási folyamat, valamint az ostya feldolgozása és szállításában nélkülözhetetlen termék a félvezető feldolgozáshoz és gyártáshoz. Várom a további konzultációt.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Tantalum karbid bevonat

Professzionális tantalum -karbid -bevonat -támogató termékgyártóként és gyáraként Kínában a Vetek Semiconductor tantalum karbid bevonási támogatását általában használják a szerkezeti alkatrészek vagy a támogató alkatrészek felületi bevonására a félvezető berendezésekben, különös tekintettel a kulcsfontosságú berendezések felületének védelmére a félvezető gyártási folyamatokhoz, például a CVD -ben. Üdvözöljük további konzultációját.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Professzionális Tantál-karbid bevonat gyártóként és beszállítóként Kínában van saját gyárunk. Függetlenül attól, hogy testreszabott szolgáltatásokra van szüksége a régió konkrét igényeinek kielégítéséhez, vagy a Kínában gyártott fejlett és tartós Tantál-karbid bevonat -et szeretne vásárolni, üzenetet hagyhat nekünk.

QR-kód

Rólunk

Termékek

Lépjen kapcsolatba velünk

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
Email
anny@veteksemi.com
Cím
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi megye, Jinhua City, Zhejiang tartomány, Kína

Web menü

Termékkeresés

Nyelv

Kilépés a menüből

Tantál-karbid bevonat

Főbb jellemzők:

Alkalmazások:

Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:

A VeTek Semiconductor tantál-karbid bevonat paramétere:

TaC bevonat EDX adatok：

TaC bevonat kristályszerkezeti adatok:

TAC bevonatvezető gyűrűk

Tantalum karbid bevont gyűrű

Porózus tantalum karbid

TAC bevonó vezető gyűrű

Tantalum karbidgyűrű

Tantalum karbid bevonat

Kérdés küldése

QR-kód

Rólunk

Termékek

Lépjen kapcsolatba velünk

Telefon

Fax

Email

Cím