Web menü

Termékkeresés

Nyelv

Termékek

Tantál-karbid bevonat

A VeTek semiconductor a tantál-karbid bevonóanyagok vezető gyártója a félvezetőipar számára. Fő termékkínálatunkban megtalálhatók a CVD-tantál-karbid bevonat alkatrészek, a szinterezett TaC bevonat alkatrészek SiC kristálynövekedéshez vagy félvezető epitaxiás folyamathoz. Az ISO9001 tanúsítvánnyal rendelkező VeTek Semiconductor jól szabályozza a minőséget. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy újítóvá váljon a tantál-karbid bevonat iparban az iteratív technológiák folyamatos kutatása és fejlesztése révén.


A fő termékek aTaC bevonatú vezetőgyűrű, CVD TaC bevonatú háromszirom vezetőgyűrű, Tantál-karbid TaC bevonatú Halfmoon, CVD TaC bevonatú planetáris SiC epitaxiális szuszceptor, Tantál-karbid bevonógyűrű, Tantál-karbid bevonatú porózus grafit, TaC bevonat rotációs szuszceptor, Tantál-karbid gyűrű, TaC bevonat forgólap, TaC bevonatú ostya szuszceptor, TaC bevonatú terelőgyűrű, CVD TaC bevonat fedél, TaC bevonatú tokmánystb., a tisztaság 5 ppm alatt van, megfelel az ügyfelek igényeinek.


A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel való bevonásával állítják elő szabadalmaztatott vegyi gőzleválasztásos (CVD) eljárással. Az előny az alábbi képen látható:


Excellent properties of TaC coating graphite


A tantál-karbid (TaC) bevonat magas, akár 3880°C-ig terjedő olvadáspontja, kiváló mechanikai szilárdsága, keménysége és hősokkállósága miatt keltett figyelmet, így vonzó alternatívája a magasabb hőmérsékleti igényű összetett félvezető epitaxiás eljárásoknak. mint például az Aixtron MOCVD rendszer és az LPE SiC epitaxiás eljárás. Széles körben alkalmazható a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatában is.


Főbb jellemzők:

 ●Hőmérséklet stabilitás

 ●Ultra magas tisztaságú

 ●Ellenállás H2, NH3, SiH4,Si

 ●Hőanyaggal szembeni ellenállás

 ●Erős tapadás a grafithoz

 ●Konform bevonat lefedettség

 ● Méret akár 750 mm átmérőig (az egyetlen gyártó Kínában eléri ezt a méretet)


Alkalmazások:

 ●Ostyahordozó

 ● Induktív fűtési szuszceptor

 ● Ellenállásos fűtőelem

 ●Műholdas lemez

 ●Zuhanyfej

 ●Vezetőgyűrű

 ●LED Epi vevő

 ●Befecskendező fúvóka

 ●Maszkoló gyűrű

 ● Hővédő pajzs


Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:


the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating


A VeTek Semiconductor tantál-karbid bevonat paramétere:

A TaC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség 14,3 (g/cm³)
Fajlagos emissziós tényező 0.3
Hőtágulási együttható 6,3 10-6/K
Keménység (HK) 2000 HK
Ellenállás 1×10-5Ohm*cm
Hőstabilitás <2500 ℃
A grafit mérete megváltozik -10-20um
Bevonat vastagsága ≥20um tipikus érték (35um±10um)


TaC bevonat EDX adatok：

EDX data of TaC coating


TaC bevonat kristályszerkezeti adatok:

Elem Atom százalék
Pt. 1 Pt. 2 Pt. 3 Átlagos
C K 52.10 57.41 52.37 53.96
A M 47.90 42.59 47.63 46.04


View as  
 
Tantalum karbid vezető gyűrű

Tantalum karbid vezető gyűrű

A Vetek Semiconductor a kínai Tantalum Carbide Guide Ring Products profi gyártója és vezetője. Tantalum karbid (TAC) vezetőgyűrűnk egy nagyteljesítményű gyűrűs alkatrész, amely tantalum karbidból készül, amelyet általában félvezető feldolgozó berendezésekben használnak, különösen magas hőmérsékleten és erősen korrozív környezetben, például CVD, PVD, maratás és diffúzió. A Vetek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy fejlett technológiát és termékmegoldásokat biztosítson a félvezető ipar számára, és üdvözli további kérdéseit.
Mutass többet >> Kérdés küldése >>
TAC bevonat rotációs érzékeny

TAC bevonat rotációs érzékeny

Professzionális gyártóként, újítóként és a TAC Coating Rotation Susceptor termékek vezetőjeként Kínában. A vetek félvezető TAC bevonási forgási susceptor -t általában kémiai gőzlerakódásba (CVD) és a molekuláris gerenda -epitaxis (MBE) berendezésekbe kell felszerelni, hogy támogassák és forgatják az ostyákat, hogy biztosítsák az egységes anyag lerakódását és a hatékony reakciót. Ez egy kulcsfontosságú elem a félvezető feldolgozásában. Üdvözöljük további konzultációját.
Mutass többet >> Kérdés küldése >>
CVD TAC bevonat tégely

CVD TAC bevonat tégely

A Vetek Semiconductor a Kínában a CVD TAC Coating Crucible Products professzionális gyártója és vezetője. A CVD TAC bevonat -tégely a tantalum szén (TAC) bevonására épül. A tantalum szénbevonat egyenletesen lefedi a tégely felületét kémiai gőzlerakódás (CVD) eljárás révén, hogy javítsa a hőállóságot és a korrózióállóságot. Ez egy anyagi eszköz, amelyet kifejezetten magas hőmérsékletű szélsőséges környezetben használnak. Üdvözöljük további konzultációját.
Mutass többet >> Kérdés küldése >>
CVD TAC bevonó ostyahordozó

CVD TAC bevonó ostyahordozó

Professzionális CVD TAC bevonó ostya -fuvarozó termékgyártóként és gyáraként Kínában a Vetek Semiconductor CVD TAC bevonó ostyahordozó egy olyan ostyahordozó szerszám, amelyet kifejezetten magas hőmérsékletű és korrozív környezetekhez terveztek a félvezető gyártásában. És a CVD TAC bevonó ostyahordozó nagy mechanikai szilárdsággal, kiváló korrózióállósággal és hőstabilitással rendelkezik, biztosítva a szükséges garanciát a kiváló minőségű félvezető eszközök gyártásához. További kérdéseit szívesen látjuk.
Mutass többet >> Kérdés küldése >>
TaC bevonatfűtő

TaC bevonatfűtő

A Vetek Semiconductor TAC bevonófűtőjének rendkívül magas olvadáspontja van (kb. 3880 ° C). A magas olvadáspont lehetővé teszi, hogy rendkívül magas hőmérsékleten működjön, különösen a Gallium -nitrid (GaN) epitaxiális rétegek növekedésében a fém szerves kémiai gőzlerakódási (MOCVD) folyamatban. A Vetek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy testreszabott termékmegoldásokkal rendelkezik az ügyfelek számára. Várjuk, hogy meghallgassuk Önt.
Mutass többet >> Kérdés küldése >>
CVD TAC bevonat

CVD TAC bevonat

A VeTek Semiconductor Kína vezető CVD TAC Coating termékek gyártója. Sok éven át a különböző CVD TAC bevonattermékekre összpontosítunk, mint például a CVD TaC bevonatburkolat, a CVD TaC bevonatgyűrű. A VeTek Semiconductor támogatja a személyre szabott termékszolgáltatásokat és a kielégítő termékárakat, és várja további konzultációját.
Mutass többet >> Kérdés küldése >>
Professzionális Tantál-karbid bevonat gyártóként és beszállítóként Kínában van saját gyárunk. Függetlenül attól, hogy testreszabott szolgáltatásokra van szüksége a régió konkrét igényeinek kielégítéséhez, vagy a Kínában gyártott fejlett és tartós Tantál-karbid bevonat -et szeretne vásárolni, üzenetet hagyhat nekünk.
Hírek Ajánlások
A maratási folyamat problémái
A maratási folyamat problémáiMutass többet >>
Szén alapú termikus téranyagok alkalmazása szilícium-karbid kristálynövekedésben
Szén alapú termikus téranyagok alkalmazása szilícium-karbid kristálynövekedésbenMutass többet >>
Mi a lépésvezérelt epitaxiális növekedés?
Mi a lépésvezérelt epitaxiális növekedés?Mutass többet >>
A chip gyártási folyamatának teljes magyarázata (2/2): A ostyától a csomagolásig és a tesztelésig
A chip gyártási folyamatának teljes magyarázata (2/2): A ostyától a csomagolásig és a tesztelésigMutass többet >>
A fizikai gőzlerakódás bevonatának alapelvei és technológiája (1/2) - Vetek félvezető
A fizikai gőzlerakódás bevonatának alapelvei és technológiája (1/2) - Vetek félvezetőMutass többet >>
Szilárd szilícium -karbid felhasználása
Szilárd szilícium -karbid felhasználásaMutass többet >>
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept