Tantál-karbid bevonat

A VeTek semiconductor a tantál-karbid bevonóanyagok vezető gyártója a félvezetőipar számára. Fő termékkínálatunkban megtalálhatók a CVD-tantál-karbid bevonat alkatrészek, a szinterezett TaC bevonat alkatrészek SiC kristálynövekedéshez vagy félvezető epitaxiás folyamathoz. Az ISO9001 tanúsítvánnyal rendelkező VeTek Semiconductor jól szabályozza a minőséget. A VeTek Semiconductor elkötelezett amellett, hogy újítóvá váljon a tantál-karbid bevonat iparban az iteratív technológiák folyamatos kutatása és fejlesztése révén.

A fő termékek aTaC bevonatú vezetőgyűrű, CVD TaC bevonatú háromszirom vezetőgyűrű, Tantál-karbid TaC bevonatú Halfmoon, CVD TaC bevonatú planetáris SiC epitaxiális szuszceptor, Tantál-karbid bevonógyűrű, Tantál-karbid bevonatú porózus grafit, TaC bevonat rotációs szuszceptor, Tantál-karbid gyűrű, TaC bevonat forgólap, TaC bevonatú ostya szuszceptor, TaC bevonatú terelőgyűrű, CVD TaC bevonat fedél, TaC bevonatú tokmánystb., a tisztaság 5 ppm alatt van, megfelel az ügyfelek igényeinek.

A TaC bevonatú grafitot egy nagy tisztaságú grafit szubsztrátum felületének finom tantál-karbid réteggel való bevonásával állítják elő szabadalmaztatott vegyi gőzleválasztásos (CVD) eljárással. Az előny az alábbi képen látható:

Excellent properties of TaC coating graphite

A tantál-karbid (TaC) bevonat magas, akár 3880°C-ig terjedő olvadáspontja, kiváló mechanikai szilárdsága, keménysége és hősokkállósága miatt keltett figyelmet, így vonzó alternatívája a magasabb hőmérsékleti igényű összetett félvezető epitaxiás eljárásoknak. mint például az Aixtron MOCVD rendszer és az LPE SiC epitaxiás eljárás. Széles körben alkalmazható a PVT módszer SiC kristálynövekedési folyamatában is.

Főbb jellemzők:

●Hőmérséklet stabilitás

●Ultra magas tisztaságú

●Ellenállás H2, NH3, SiH4,Si

●Hőanyaggal szembeni ellenállás

●Erős tapadás a grafithoz

●Konform bevonat lefedettség

● Méret akár 750 mm átmérőig (az egyetlen gyártó Kínában eléri ezt a méretet)

Alkalmazások:

●Ostyahordozó

● Induktív fűtési szuszceptor

● Ellenállásos fűtőelem

●Műholdas lemez

●Zuhanyfej

●Vezetőgyűrű

●LED Epi vevő

●Befecskendező fúvóka

●Maszkoló gyűrű

● Hővédő pajzs

Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:

the microscopic cross-section of Tantalum carbide (TaC) coating

A VeTek Semiconductor tantál-karbid bevonat paramétere:

A TaC bevonat fizikai tulajdonságai
Sűrűség	14,3 (g/cm³)
Fajlagos emissziós tényező	0.3
Hőtágulási együttható	6,3 10^-6/K
Keménység (HK)	2000 HK
Ellenállás	1×10^-5Ohm*cm
Hőstabilitás	<2500 ℃
A grafit mérete megváltozik	-10-20um
Bevonat vastagsága	≥20um tipikus érték (35um±10um)

TaC bevonat EDX adatok：

EDX data of TaC coating

TaC bevonat kristályszerkezeti adatok:

Elem	Atom százalék
	Pt. 1	Pt. 2	Pt. 3	Átlagos
C K	52.10	57.41	52.37	53.96
A M	47.90	42.59	47.63	46.04

TaC bevonatú tokmány TaC Coating Planetary Disk
TaC bevonatú lemez TaC bevonat forgólap TaC bevonat vevő CVD TaC bevonat fedél CVD TaC bevonógyűrű TaC bevonólemez

View as

TaC bevonócső

A Vetek Semiconductor TAC bevonócsője kulcseleme a szilícium -karbid egykristályok sikeres növekedésének. Magas hőmérsékleti ellenállásával, kémiai tehetetlenségével és kiváló teljesítményével, amely biztosítja a kiváló minőségű kristályok előállítását, következetes eredményekkel. Bízzon az innovatív megoldásainkban, hogy javítsa a PVT módszer SIC kristálynövekedési folyamatát, és kiváló eredményeket érjen el.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

TAC bevonó alkatrész

A TAC bevonatot jelenleg elsősorban olyan folyamatokban használják, mint például a szilícium-karbid-egy kristálynövekedés (PVT módszer), az epitaxiális lemez (beleértve a szilícium-karbid-epitaxiát, a LED-epitaxiát) stb. Bízunk benne, hogy hosszú távú partnerünk lesz.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

GaN az EPI vevőn

A SIC EPI Susceptoron lévő GAN létfontosságú szerepet játszik a félvezető feldolgozásában kiváló hővezető képessége, magas hőmérséklet -feldolgozási képessége és kémiai stabilitása révén, és biztosítja a GaN epitaxiális növekedési folyamat nagy hatékonyságát és anyagminőségét. A Vetek Semiconductor a SIC EPI Susceptor kínai szakmai gyártója, őszintén várjuk a további konzultációt.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

CVD TAC bevonathordozó

A CVD TAC bevonathordozót elsősorban a félvezető gyártás epitaxiális folyamatára tervezték. A CVD TAC bevonathordozó ultra-magas olvadáspontja, kiváló korrózióállóság és kiemelkedő termikus stabilitás meghatározza ennek a terméknek a nélkülözhetetlenségét a félvezető epitaxiális folyamatban. Üdvözöljük további vizsgálatát.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

TAC bevonatú grafit támogatás

A Vetek Semiconductor TAC bevonatú grafitszövetelője kémiai gőzlerakódási (CVD) módszert alkalmaz a tantalum karbid bevonat előállítására a grafit alkatrészek felületén. Ez a folyamat a legérettebb és a legjobb bevonat tulajdonságai. A TAC bevonatú grafit -susceptor meghosszabbíthatja a grafitkomponensek élettartamát, gátolhatja a grafit szennyeződések migrációját, és biztosíthatja az epitaxis minőségét. Várakozással várjuk a vizsgálatát.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

TAC bevonat

A Vetek Semiconductor a TAC bevonat -érzékeny kivételes TAC bevonattal bemutatja, ez a Susceptor számos előnyt kínál, amelyek megkülönböztetik azt a hagyományos megoldásoktól. Zökkenőmentesen a meglévő rendszerekbe való beépítést a Vetek félvezető garanciájának és a hatékony működéshez. Megbízható teljesítménye és a kiváló minőségű TAC bevonat következetesen kivételes eredményeket hoz a SIC epitaxia folyamatokban. Elkötelezettek vagyunk a minőségi termékek számára versenyképes árakon, és várjuk, hogy hosszú távú partnere legyen Kínában.

Mutass többet >> Kérdés küldése >>

Professzionális Tantál-karbid bevonat gyártóként és beszállítóként Kínában van saját gyárunk. Függetlenül attól, hogy testreszabott szolgáltatásokra van szüksége a régió konkrét igényeinek kielégítéséhez, vagy a Kínában gyártott fejlett és tartós Tantál-karbid bevonat -et szeretne vásárolni, üzenetet hagyhat nekünk.

QR-kód

Rólunk

Termékek

Lépjen kapcsolatba velünk

Telefon
+86-18069220752
Fax
+86-579-87223657
Email
anny@veteksemi.com
Cím
Wangda Road, Ziyang Street, Wuyi megye, Jinhua City, Zhejiang tartomány, Kína

Web menü

Termékkeresés

Nyelv

Kilépés a menüből

Tantál-karbid bevonat

Főbb jellemzők:

Alkalmazások:

Tantál-karbid (TaC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten:

A VeTek Semiconductor tantál-karbid bevonat paramétere:

TaC bevonat EDX adatok：

TaC bevonat kristályszerkezeti adatok:

TaC bevonócső

TAC bevonó alkatrész

GaN az EPI vevőn

CVD TAC bevonathordozó

TAC bevonatú grafit támogatás

TAC bevonat

Kérdés küldése

QR-kód

Rólunk

Termékek

Lépjen kapcsolatba velünk

Telefon

Fax

Email

Cím