TAC bevonat rotációs érzékeny

A Vetek Semiconductor TAC bevonat forgása a Susceptor kulcseleme a ostyakezelésnek a félvezető feldolgozása során. AzTAC miA miénkKiváló magas hőmérsékletű toleranciával (olvadáspont 3880 ° C -ra), kémiai stabilitással és korrózióállósággal rendelkezik, amelyek nagy pontosságot és magas minőséget biztosítanak az ostyafeldolgozásban.

A TAC bevonó forgási susceptor (tantalum szénbevonat -forgási susceptor) egy kulcsfontosságú berendezés -összetevő, amelyet a félvezető feldolgozásához használnak. Általában telepítve vankémiai gőzlerakódás (CVD)és a molekuláris gerenda -epitaxis (MBE) berendezések az ostyák támogatására és forgatására az egyenletes anyag lerakódás és a hatékony reakció biztosítása érdekében. Az ilyen típusú termékek jelentősen javítják a berendezések élettartamát és teljesítményét magas hőmérsékleten és korrozív környezetben a szubsztrát bevonásávalTantalum szén (TAC) bevonat.

A TAC bevonat forgása A susceptor általában TAC bevonatból és grafitból vagy szilícium -karbidból áll, mint szubsztrát anyagból. A TAC egy rendkívül magas hőmérsékletű kerámia anyag, rendkívül magas olvadásponttal (olvadáspont akár 3880 ° C-ig), keménység (a Vickers keménysége körülbelül 2000 HK) és kiváló kémiai korrózióállóság. A Vetek Semiconductor hatékonyan és egyenletesen lefedi a szubsztrát anyag tantalum szénbevonatát a CVD technológián keresztül.

A forgószövetség általában nagy hővezetőképességből és nagy szilárdságú anyagokból készül (grafit vagyszilícium -karbid), amely jó mechanikai támasztást és hőstabilitást biztosíthat a magas hőmérsékletű környezetben. A kettő tökéletes kombinációja meghatározza a TAC bevonat -rotáció -érzékenység tökéletes teljesítményét a támadó és forgó ostyák számára.

A TAC bevonó forgási érzékenyek tartják és forgatják az ostyát a CVD -folyamatban. A TAC Vickers keménysége körülbelül 2000 HK, amely lehetővé teszi, hogy ellenálljon az anyag ismételt súrlódásának és jó támogató szerepet játszik, biztosítva ezzel a reakciógáz egyenletes eloszlását az ostya felületén, és az anyag egyenletesen lerakódik. Ugyanakkor a TAC bevonat magas hőmérsékleti toleranciája és korróziós ellenállása lehetővé teszi, hogy hosszú ideig használható magas hőmérsékleten és korrozív atmoszférában, ami ténylegesen elkerüli az ostya és a hordozó szennyeződését.

Sőt, a TAC hővezető képessége 21 W/M · K, amelynek jó hőátadása van. Ezért a TAC bevonat forgásának érzékenyje egyenletesen melegítheti az ostyát magas hőmérsékleti körülmények között, és biztosíthatja a gázlerakódási folyamat egységességét a forgási mozgás révén, ezáltal megőrizve a konzisztenciát és a magas színvonalatostyanövekedés.

Tantalum karbid (TAC) bevonat mikroszkopikus keresztmetszeten：

A TAC bevonat fizikai tulajdonságai：

TAC bevonat rotációs érzelmi üzletek: